Технологийн тасралтгүй дэвшил гарч буй ертөнцөд плазмын цэвэрлэгээний зарчим нь тоглоомын дүрмийг өөрчилсөн. Энэхүү хувьсгалт цэвэрлэгээний технологи нь үр ашиг, үр ашгийнхаа ачаар салбар бүрт алдартай болсон. Өнөөдөр бид плазмын цэвэрлэгчдийн ард байгаа зарчмууд болон тэдгээр нь бидний цэвэрлэх арга барилыг хэрхэн өөрчилж болохыг судлах болно.
Плазмын цэвэрлэгч нь уламжлалт цэвэрлэгээний аргуудаас ялгардаг өвөрмөц зарчмаар ажилладаг. Бага даралттай хий болон цахилгаан оронг хослуулснаар плазмын цэвэрлэгч нь гадаргуугийн бохирдол болон хольцыг арилгах чадвартай өндөр энергийн орчинг бүрдүүлдэг. Энэ процессыг плазмын цэвэрлэгээ гэж нэрлэдэг.
Плазмын цэвэрлэгээний тухай ойлголт нь хийн ионжуулалтад суурилдаг. Аргон эсвэл хүчилтөрөгч гэх мэт нам даралтын хий нь цахилгаан оронтой холбогдоход ионжиж, плазм үүсгэдэг. Бодисын дөрөв дэх төлөв гэж нэрлэгддэг плазм нь чөлөөт электрон, ион, төвийг сахисан атомуудыг агуулсан энергийн хийнээс бүрдэнэ.
Плазм цэвэрлэгчийн гаргаж авсан плазм нь өвөрмөц цэвэрлэх шинж чанартай. Нэгдүгээрт, энэ нь металл, шил, керамик, полимер зэрэг янз бүрийн гадаргуугаас органик болон органик бус бохирдлыг үр дүнтэй арилгаж чаддаг. Хоёрдугаарт, плазм нь материалын гадаргуугийн шинж чанарыг өөрчилж, наалдамхай чанарыг нь сайжруулж, илүү сайн норгож, дараагийн бүрэх эсвэл холбох процессыг хөнгөвчилдөг.
Плазмын цэвэрлэгчээр цэвэрлэх үйл явц нь хэд хэдэн үе шатаас бүрдэнэ. Нэгдүгээрт, цэвэрлэх гадаргууг вакуум камерт байрлуулна. Дараа нь бага даралттай хий камерт оруулж, цахилгаан орон ашиглан плазм үүсгэнэ. Плазм нь гадаргуутай харилцан үйлчилж, хэд хэдэн химийн урвалаар бохирдуулагч бодисыг задалдаг. Эдгээр урвалын дайвар бүтээгдэхүүнийг дараа нь камернаас гаргаж, цэвэр, үлдэгдэлгүй гадаргуу үлдээдэг.
Плазмын цэвэрлэгчийг электроникоос эхлээд сансар судлал хүртэл олон салбарт ашигладаг. Электроникийн салбарт плазмын цэвэрлэгээг органик үлдэгдлийг зайлуулахад ашигладаг.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 9-р сарын 2