Elektronų pluošto vakuuminis dengimas arba elektronų pluošto fizikinis garų nusodinimas (EBPVD) yra procesas, naudojamas plonoms plėvelėms ar dangoms nusodinti ant įvairių paviršių. Tai apima elektronų pluošto naudojimą dengimo medžiagai (pvz., metalui ar keramikai) kaitinti ir garinti aukšto vakuumo kameroje. Išgarinta medžiaga tada kondensuojasi ant tikslinio pagrindo, sudarydama ploną, vienodą dangą.
Pagrindiniai komponentai:
- Elektronų pluošto šaltinis: fokusuotas elektronų pluoštas kaitina dangos medžiagą.
- Dangos medžiaga: Paprastai metalai arba keramika, dedami į tiglį arba dėklą.
- Vakuuminė kamera: palaiko žemo slėgio aplinką, kuri yra labai svarbi siekiant išvengti užteršimo ir leisti garuojančiai medžiagai judėti tiesiomis linijomis.
- Substratas: dengiamas objektas, pastatytas taip, kad surinktų išgarintą medžiagą.
Privalumai:
- Didelio grynumo dangos: vakuuminė aplinka sumažina užterštumą.
- Tikslus valdymas: Dangos storį ir vienodumą galima tiksliai kontroliuoti.
- Platus medžiagų suderinamumas: tinka metalams, oksidams ir kitoms medžiagoms.
- Stiprus sukibimas: Šis procesas užtikrina puikų sukibimą tarp dangos ir pagrindo.
Paraiškos:
- Optika: neatspindinčios ir apsauginės lęšių bei veidrodžių dangos.
- Puslaidininkiai: Ploni metaliniai sluoksniai elektronikai.
- Aviacija ir kosmosas: Apsauginės dangos turbinų menčių gabenimui.
- Medicinos prietaisai: biologiškai suderinamos implantų dangos.
– Šis straipsnis yra publikuojamas by vakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. rugsėjo 25 d.