E-beam vacuum coating, ຫຼື electron beam vapor deposition (EBPVD), ແມ່ນຂະບວນການທີ່ໃຊ້ໃນການຝາກຮູບເງົາບາງໆຫຼືການເຄືອບໃສ່ພື້ນຜິວຕ່າງໆ. ມັນກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຊ້ລໍາແສງອິເລັກໂທຣນິກເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະ vaporize ອຸປະກອນການເຄືອບ (ເຊັ່ນ: ໂລຫະຫຼືເຊລາມິກ) ຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດສູງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ວັດສະດຸທີ່ເຮັດເປັນໄອແລ້ວຈະ condenses ໃສ່ substrate ເປົ້າຫມາຍ, ກອບເປັນຈໍານວນເຄືອບບາງ, ເປັນເອກະພາບ.
ອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ:
- ແຫຼ່ງຂອງ Electron Beam: ລໍາແສງເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ສຸມໃສ່ເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸເຄືອບ.
- ວັດສະດຸເຄືອບ: ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນໂລຫະຫຼືເຊລາມິກ, ວາງໄວ້ໃນ crucible ຫຼືຖາດ.
- ຫ້ອງສູນຍາກາດ: ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະອະນຸຍາດໃຫ້ອຸປະກອນການ vaporized ໄປເປັນເສັ້ນຊື່.
- Substrate: ວັດຖຸທີ່ຖືກເຄືອບ, ຕໍາແຫນ່ງເພື່ອເກັບກໍາວັດສະດຸ vaporized.
ຂໍ້ດີ:
- ການເຄືອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ.
- ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ: ຄວາມຫນາແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງເຄື່ອງເຄືອບສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ລະອຽດ.
- ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວັດສະດຸກວ້າງ: ເຫມາະສໍາລັບໂລຫະ, ຜຸພັງ, ແລະວັດສະດຸອື່ນໆ.
- ການຍຶດເກາະທີ່ເຂັ້ມແຂງ: ຂະບວນການນໍາໄປສູ່ການຜູກມັດທີ່ດີເລີດລະຫວ່າງການເຄືອບແລະ substrate.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
- Optics: ປ້ອງກັນແສງສະທ້ອນ ແລະເຄືອບປ້ອງກັນໃນເລນ ແລະກະຈົກ.
- Semiconductors: ຊັ້ນໂລຫະບາງໆສໍາລັບເອເລັກໂຕຣນິກ.
- Aerospace: ການເຄືອບປ້ອງກັນສໍາລັບແຜ່ນໃບຄ້າຍຄື turbine.
- ອຸປະກອນການແພດ: ການເຄືອບ biocompatible ສໍາລັບການປູກຝັງ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາເມື່ອ by ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: ກັນຍາ-25-2024