ການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດໃນອຸປະກອນສວມໃສ່ໄດ້ອັດສະລິຍະ

1. ບົດນຳ: ວິວັດທະນາການຂອງອຸປະກອນສວມໃສ່ອັດສະລິຍະ

ໃນຂະນະທີ່ອຸປະກອນສວມໃສ່ອັດສະລິຍະມີຄວາມກະທັດຮັດ, ມີຫຼາຍໜ້າທີ່ ແລະ ເນັ້ນການອອກແບບຫຼາຍຂຶ້ນ, ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບການເຄືອບໜ້າຜິວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ຟິມບາງໆທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນ. ຕັ້ງແຕ່ຂອບໂມງໂລຫະ ແລະ ຝາປິດເຊັນເຊີ ຈົນເຖິງກອບຕົກແຕ່ງ ແລະ ການເຄືອບແສງ, ເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບສູນຍາກາດໄດ້ກາຍເປັນຕົວກະຕຸ້ນທີ່ສຳຄັນທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງຄວາມທົນທານ, ຄວາມງາມ ແລະ ປະສິດທິພາບການຮັບຮູ້ຂອງອຸປະກອນສວມໃສ່ທີ່ທັນສະໄໝ.

ບໍ່ວ່າຈະເປັນໂມງອັດສະລິຍະ, ເຄື່ອງຕິດຕາມການອອກກຳລັງກາຍ, ແວ່ນຕາ AR/VR, ຫຼື ອຸປະກອນທີ່ສາມາດຟັງໄດ້, ຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ — ລວມທັງ PVD (ການເຄືອບໄອນ້ຳທາງກາຍະພາບ) ແລະ CVD (ການເຄືອບໄອນ້ຳທາງເຄມີ) — ຈະສົ່ງສານເຄືອບທີ່ບາງກວ່າ, ແຂງກວ່າ ແລະ ສອດຄ່ອງກວ່າວິທີການເຄືອບ ຫຼື ການສີດພົ່ນແບບທຳມະດາ.

2. ຂໍ້ກຳນົດດ້ານໜ້າທີ່ຂອງການເຄືອບທີ່ສວມໃສ່ໄດ້

ອຸປະກອນສວມໃສ່ອັດສະລິຍະນຳສະເໜີການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານເຕັກນິກ ແລະ ຄວາມງາມ:

ຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ຮອຍຂີດຂ່ວນເພື່ອຄວາມທົນທານໃນການໃຊ້ງານປະຈຳວັນ.

ຕ້ານການກັດກ່ອນ ແລະ ເຫື່ອ ເພື່ອຕ້ານທານກັບການສຳຜັດກັບຜິວໜັງ ແລະ ການສຳຜັດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ.

ຄວາມໂປ່ງໃສທາງດ້ານແສງ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງສີສຳລັບເຊັນເຊີ, ຈໍສະແດງຜົນ ແລະ ເລນຕ່າງໆ.

ການສະທ້ອນແສງຕໍ່າ ແລະ ປະສິດທິພາບຕ້ານຮອຍນິ້ວມືສໍາລັບປະສົບການຂອງຜູ້ໃຊ້ທີ່ດີຂຶ້ນ.

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງຊີວະພາບສຳລັບສ່ວນປະກອບທີ່ສຳຜັດໂດຍກົງກັບຜິວໜັງ.

ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການເຫຼົ່ານີ້ຜ່ານການຄວບຄຸມສ່ວນປະກອບຂອງຟິມທີ່ຊັດເຈນ, ການແຈກຢາຍຄວາມໜາທີ່ເປັນເອກະພາບ, ແລະ ການປະມວນຜົນດ້ວຍອຸນຫະພູມຕ່ຳ, ຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບວັດສະດຸພື້ນຖານທີ່ຫຼາກຫຼາຍເຊັ່ນ: ເຫຼັກສະແຕນເລດ, ເຊລາມິກ, ແກ້ວ, ແລະ ວັດສະດຸປະສົມໂພລີເມີ.

3. ຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດຫຼັກໃນອຸປະກອນສວມໃສ່ໄດ້
(1) ການເຄືອບ PVD ແບບຕົກແຕ່ງ

ໂດຍການໃຊ້ການສະເປຣດເຕີຣິນແມກເນຕຣອນ ຫຼື ການລະເຫີຍດ້ວຍກະແສໄຟຟ້າ, ການເຄືອບຕົກແຕ່ງເຊັ່ນ TiN, CrN, ZrN, ແລະ DLC (ຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ) ໃຫ້ສີສັນສົດໃສ — ຕັ້ງແຕ່ສີດຳເຂັ້ມ ແລະ ຄຳສີບົວ ຈົນເຖິງເງິນກະຈົກ — ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມແຂງກະດ້າງຈຸລະພາກ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່. ການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ເສີມຂະຫຍາຍທັງຄວາມດຶງດູດໃຈທາງສາຍຕາ ແລະ ການປົກປ້ອງພື້ນຜິວສຳລັບຕົວເຮືອນໂມງ ແລະ ຂອບໂມງ.

(2) ຟິມບາງທາງແສງ ແລະ ຟິມທີ່ໃຊ້ງານໄດ້

ຈໍສະແດງຜົນອັດສະລິຍະ ແລະ ໜ້າຕ່າງເຊັນເຊີຕ້ອງການການເຄືອບທາງແສງທີ່ຊັດເຈນເພື່ອຄວບຄຸມການສະທ້ອນ, ການສົ່ງຜ່ານ, ແລະ ດັດຊະນີການຫັກເຫ. ຟິມໄດອີເລັກຕຣິກຫຼາຍຊັ້ນ (ເຊັ່ນ: SiO₂, TiO₂, ITO) ຖືກຝາກຜ່ານການສະເປເຕີຣິ່ງແມກນີຕຣອນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄຸນສົມບັດຕ້ານການສະທ້ອນ (AR), ຕ້ານແສງຈ້າ (AG), ຫຼື ຄຸນສົມບັດໂປ່ງໃສທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້. ຊັ້ນເຫຼົ່ານີ້ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມຊັດເຈນຂອງໜ້າຈໍ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງເຊັນເຊີ.

(3) ຟິມປ້ອງກັນ ແລະ ຟິມທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ທາງຊີວະພາບ

ສຳລັບສ່ວນປະກອບທີ່ສຳຜັດກັບຜິວໜັງ, ການເຄືອບ DLC ຫຼື SiC ທີ່ຝັງຢູ່ໃນສູນຍາກາດເຮັດໜ້າທີ່ເປັນສິ່ງກີດຂວາງປ້ອງກັນ, ເຊິ່ງສະເໜີຄວາມเฉื่อยชาຂອງສານເຄມີ, ແຮງສຽດທານຕ່ຳ, ແລະ ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງຊີວະພາບ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນຄວາມສະດວກສະບາຍ ແລະ ຄວາມປອດໄພໃນໄລຍະຍາວ ພ້ອມທັງປ້ອງກັນການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງໄອອອນໂລຫະ ຫຼື ການຜຸພັງ.

4. ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ ແລະ ຂະບວນການສຳລັບຊັ້ນຮອງພື້ນທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວ

ຊັ້ນຮອງອຸປະກອນທີ່ສວມໃສ່ໄດ້ມັກຈະປະກອບມີໂພລີເມີ, ແກ້ວປະສົມ, ຫຼື ເຊລາມິກ — ວັດສະດຸທີ່ສາມາດປ່ຽນຮູບ ຫຼື ແຕກໄດ້ພາຍໃຕ້ພາລະຄວາມຮ້ອນສູງ. ດັ່ງນັ້ນ, ລະບົບການເຄືອບທີ່ກ້າວໜ້າຈຶ່ງໃຊ້:

ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນທີ່ອຸນຫະພູມຕ່ຳສຳລັບຊັ້ນຮອງໂພລີເມີ.

ການຄວບຄຸມເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມຫຼາຍເຂດເພື່ອຮັກສາຄວາມຮ້ອນໃຫ້ເປັນເອກະພາບ.

ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍ plasma ໃນຕົວເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການຍຶດຕິດໂດຍບໍ່ມີການປະຕິບັດສານເຄມີລ່ວງໜ້າ.

ການຕິດຕາມກວດກາຂະບວນການແບບວົງຈອນປິດສຳລັບຄວາມໜາຂອງຟິມ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ, ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງສີ.

ການຄວບຄຸມດັ່ງກ່າວຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳການເຄືອບສູງ ແລະ ຜົນຜະລິດການຜະລິດ, ເຊິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຜະລິດເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກຈຳນວນຫຼາຍ.

5. ການເຊື່ອມໂຍງກັບການອອກແບບ ແລະ ການຜະລິດ

ການເຄືອບສູນຍາກາດໃນປັດຈຸບັນມີບົດບາດສຳຄັນໃນການເຊື່ອມໂຍງການອອກແບບອຸດສາຫະກຳ. ຄວາມສາມາດໃນການວາງຟິມທີ່ມີໂທນສີທີ່ກຳນົດເອງ, ລະດັບຄວາມເງົາງາມ, ແລະ ຜົນກະທົບທາງແສງຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນອອກແບບສາມາດຮັບຮູ້ພື້ນຜິວທີ່ມີນ້ຳໜັກເບົາ, ເບິ່ງຄືໂລຫະໂດຍບໍ່ມີການຫຼຸດຜ່ອນການເຮັດວຽກ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ລະບົບການສະເປຣດເຕີໃນສາຍຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຊ່ວຍໃຫ້ການເຄືອບອົງປະກອບທີ່ສວມໃສ່ໄດ້ດ້ວຍຜົນຜະລິດສູງ ແລະ ອັດຕະໂນມັດ - ສອດຄ່ອງກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸດສາຫະກຳໄປສູ່ການຜະລິດທີ່ຍືນຍົງ ແລະ ບໍ່ມີຕົວລະລາຍ.

6. ສະຫຼຸບ: ການເປີດໃຊ້ອຸປະກອນສວມໃສ່ລຸ້ນຕໍ່ໄປ

ໃນຂະນະທີ່ອຸປະກອນສວມໃສ່ອັດສະລິຍະສືບຕໍ່ລວມເອົາເທັກໂນໂລຢີເຂົ້າກັບແຟຊັ່ນ, ເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບສູນຍາກາດໃຫ້ຂົວເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ສຳຄັນລະຫວ່າງຄວາມຄິດສ້າງສັນດ້ານການອອກແບບ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳດ້ານວິສະວະກຳ.
ໂດຍການສະໜອງການເຄືອບທີ່ທົນທານ, ມີປະໂຫຍດ, ແລະ ໂດດເດັ່ນທາງດ້ານສາຍຕາ, ຂະບວນການສູນຍາກາດຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ຜະລິດສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສຳລັບການປັບແຕ່ງສ່ວນບຸກຄົນ, ການຫຍໍ້ຂະໜາດ, ແລະ ການປະຕິບັດຕາມສິ່ງແວດລ້ອມ.

ຈາກຄວາມງາມທາງດ້ານການຕົກແຕ່ງໄປຈົນເຖິງໜ້າທີ່ຂອງເຊັນເຊີ, ວິສະວະກຳຟິມບາງໄດ້ກາຍເປັນປັດໄຈທີ່ກຳນົດໃນປະສິດທິພາບ ແລະ ເອກະລັກຂອງອຸປະກອນສວມໃສ່ໄດ້ລຸ້ນຕໍ່ໄປ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua