陰極アークイオンプレーティング技術の紹介

陰極アークイオンコーティング技術は、冷陰極アーク放電技術を用いています。コーティング分野における冷陰極アーク放電技術の最も初期の応用は、米国のマルチアーク社によるものでした。この技術の英語名はアークイオンプレーティング（AIP）です。

陰極アークイオンコーティング技術は、各種イオンコーティング技術の中でも金属イオン化率が最も高い技術です。膜粒子のイオン化率は60％～90％に達し、膜粒子の大部分は高エネルギーイオンの形でワーク表面に到達します。高エネルギーイオンは反応しやすく、TiNなどの硬質膜層が得られます。TiN蒸着温度を500℃以下に下げることで、蒸着速度が速く、陰極アーク源の設置位置が多様で、コーティング室の空間利用率が高く、大型部品の蒸着も可能になるなどの利点があります。現在、この技術は金型や重要な設備部品への硬質膜層、耐熱コーティング、装飾膜層の蒸着の主流技術となっています。

国防産業やハイエンド加工産業の発展に伴い、工具や金型へのハードコーティングの需要はますます高まっています。従来、切削加工される部品のほとんどは、硬度30HRC未満の普通炭素鋼でした。現在、加工対象材料には、ステンレス鋼、アルミニウム合金、チタン合金などの難削材や、硬度60HRCに達する高硬度材が含まれます。現在、CNC工作機械による加工では、高速加工、長寿命、無潤滑切削が求められており、切削工具のハードコーティングの性能に対する要求はますます高まっています。航空機ガスタービンブレード、コンプレッサーブレード、押出機スクリュー、自動車エンジンのピストンリング、鉱山機械などの部品も、膜の性能に対して新たな要求を突きつけています。こうした新たな要求は、陰極アークイオンプレーティング技術の発展を促進し、優れた性能を持つ様々な製品を生み出しています。

——この記事は、広東振華科技有限公司が発表した。光学コーティング機メーカー.