ציפוי ואקום באמצעות קרן אלקטרונית, או שקיעת אדים פיזיקלית באמצעות קרן אלקטרונים (EBPVD), הוא תהליך המשמש להנחת שכבות דקות או ציפויים על משטחים שונים. הוא כרוך בשימוש בקרן אלקטרונים לחימום ואידוי של חומר ציפוי (כגון מתכת או קרמיקה) בתא ואקום גבוה. החומר המאודה מתעבה לאחר מכן על גבי מצע מטרה, ויוצר ציפוי דק ואחיד.
רכיבים מרכזיים:
- מקור קרן אלקטרונים: קרן אלקטרונים ממוקדת מחממת את חומר הציפוי.
- חומר ציפוי: בדרך כלל מתכות או קרמיקה, מונחים בכור היתוך או במגש.
- תא ואקום: שומר על סביבה בלחץ נמוך, שהיא קריטית למניעת זיהום ומאפשרת לחומר המאודה לנוע בקווים ישרים.
- מצע: האובייקט המצופה, ממוקם לאיסוף החומר המאודה.
יתרונות:
- ציפויים בעלי טוהר גבוה: סביבת הוואקום ממזערת זיהום.
- שליטה מדויקת: ניתן לשלוט היטב בעובי ובאחידות הציפוי.
- תאימות חומרים רחבה: מתאים למתכות, תחמוצות וחומרים אחרים.
- הידבקות חזקה: התהליך מוביל לקשר מצוין בין הציפוי למצע.
יישומים:
- אופטיקה: ציפויים נוגדי השתקפות ומגנים על עדשות ומראות.
- מוליכים למחצה: שכבות מתכת דקות לאלקטרוניקה.
- תעופה וחלל: ציפויי הגנה ללהבי טורבינה.
- מכשור רפואי: ציפויים ביו-תואמים לשתלים.
–מאמר זה פורסם by יצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהוa
זמן פרסום: 25 בספטמבר 2024