Az E-sugaras vákuumos bevonatolás, vagy elektronsugaras fizikai gőzfázisú leválasztás (EBPVD) egy olyan eljárás, amelyet vékony filmek vagy bevonatok különböző felületekre történő felvitelére használnak. Ez magában foglalja egy elektronsugár használatát a bevonóanyag (például fém vagy kerámia) nagyvákuumú kamrában történő melegítésére és elpárologtatására. Az elpárologtatott anyag ezután a célfelületre kondenzálódik, vékony, egyenletes bevonatot képezve.
Főbb összetevők:
- Elektronsugár forrás: Egy fókuszált elektronsugár melegíti a bevonóanyagot.
- Bevonóanyag: Általában fémek vagy kerámiák, olvasztótégelybe vagy tálcába helyezve.
- Vákuumkamra: Alacsony nyomású környezetet tart fenn, ami kritikus fontosságú a szennyeződés megelőzése és a párologtatott anyag egyenes vonalú mozgásának lehetővé tétele érdekében.
- Hordozóanyag: A bevonandó tárgy, amelyet úgy helyeznek el, hogy összegyűjtse az elpárologtatott anyagot.
Előnyök:
- Nagy tisztaságú bevonatok: A vákuumkörnyezet minimalizálja a szennyeződést.
- Precíz szabályozás: A bevonat vastagsága és egyenletessége finoman szabályozható.
- Széleskörű anyagkompatibilitás: Alkalmas fémekhez, oxidokhoz és más anyagokhoz.
- Erős tapadás: Az eljárás kiváló kötést biztosít a bevonat és az aljzat között.
Alkalmazások:
- Optika: Tükrök és tükrök tükröződésmentesítő és védőbevonatai.
- Félvezetők: Vékony fémrétegek elektronikához.
- Repülőgépipar: Védőbevonatok turbinalapátokhoz.
- Orvostechnikai eszközök: Biokompatibilis bevonatok implantátumokhoz.
– Ez a cikk megjelent by vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. szeptember 25.