E-suihkutyhjiöpinnoitus eli elektronisuihkufysikaalinen höyrypinnoitus (EBPVD) on prosessi, jota käytetään ohuiden kalvojen tai pinnoitteiden kerrostamiseen erilaisille pinnoille. Siinä elektronisuihkua käytetään pinnoitemateriaalin (kuten metallin tai keraamin) lämmittämiseen ja höyrystämiseen korkeatyhjiökammiossa. Höyrystynyt materiaali tiivistyy sitten kohdealustalle muodostaen ohuen, tasaisen pinnoitteen.
Keskeiset komponentit:
- Elektronisuihkulähde: Keskitetty elektronisuihku lämmittää pinnoitemateriaalia.
- Pinnoitemateriaali: Yleensä metallia tai keramiikkaa, joka asetetaan upokkaaseen tai tarjottimeen.
- Tyhjiökammio: Ylläpitää matalapaineista ympäristöä, joka on ratkaisevan tärkeää kontaminaation estämiseksi ja höyrystyneen materiaalin suoraviivaisen kulkeutumisen mahdollistamiseksi.
- Substraatti: Pinnoitettava kappale, joka on sijoitettu keräämään höyrystyneen materiaalin.
Edut:
- Erittäin puhtaat pinnoitteet: Tyhjiöympäristö minimoi kontaminaation.
- Tarkka säätö: Pinnoitteen paksuutta ja tasaisuutta voidaan säätää tarkasti.
- Laaja materiaaliyhteensopivuus: Sopii metalleille, oksideille ja muille materiaaleille.
- Vahva tarttuvuus: Prosessi johtaa erinomaiseen tarttumiseen pinnoitteen ja alustan välillä.
Sovellukset:
- Optiikka: Linssien ja peilien heijastamattomat ja suojaavat pinnoitteet.
- Puolijohteet: Ohuet metallikerrokset elektroniikkaan.
- Ilmailu: Suojaavat pinnoitteet turbiinien lapoille.
- Lääkinnälliset laitteet: Bioyhteensopivat pinnoitteet implanteille.
–Tämä artikkeli on julkaistu by tyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 25. syyskuuta 2024