E-izpi hutseko estaldura, edo elektroi-izpi bidezko lurrun-deposizio fisikoa (EBPVD), gainazal desberdinetan film meheak edo estaldurak jartzeko erabiltzen den prozesu bat da. Elektroi-izpi bat erabiltzean datza estaldura-material bat (metala edo zeramika, adibidez) berotu eta lurrundu huts-ganbera altu batean. Lurrundutako materiala substratu baten gainean kondentsatzen da, estaldura mehe eta uniforme bat osatuz.
Osagai nagusiak:
- Elektroi-izpien iturria: Elektroi-izpi fokatu batek estaldura-materiala berotzen du.
- Estaldura-materiala: Normalean metalak edo zeramikak, arrago edo erretilu batean jarrita.
- Hutseko ganbera: Presio baxuko ingurunea mantentzen du, eta hori ezinbestekoa da kutsadura saihesteko eta lurrundutako materiala lerro zuzenetan bidaiatzeko.
- Substratua: Estaltzen ari den objektua, lurrundutako materiala biltzeko kokatuta.
Abantailak:
- Purutasun handiko estaldurak: Hutsean dagoen inguruneak kutsadura minimizatzen du.
- Kontrol zehatza: Estalduraren lodiera eta uniformetasuna fin-fin kontrola daitezke.
- Materialen bateragarritasun zabala: metaletarako, oxidoetarako eta beste material batzuetarako egokia.
- Itsaspen sendoa: Prozesuak estalduraren eta substratuaren arteko lotura bikaina sortzen du.
Aplikazioak:
- Optika: Lente eta ispiluetan islatzearen aurkako eta babes-estaldurak.
- Erdieroaleak: Elektronikarako metalezko geruza meheak.
- Aeroespaziala: Turbina-paletarako babes-estaldurak.
- Gailu medikoak: Inplanteetarako estaldura biobateragarriak.
–Artikulu hau argitaratu da by hutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko irailaren 25a