L'equipaggiu adotta una struttura di cuncepimentu mudulare verticale è hè dotatu di porte d'accessu multiple per facilità l'installazione è a manutenzione indipendente di a cavità, l'assemblea è l'aghjurnamentu futuru. Equipatu cù un sistema di trasportu di materiale purificatu cumpletamente chjusu per evità a contaminazione di a pezza. A pezza pò esse rivestita da una o da e duie parte, principalmente per deposità film culuratu otticu o film metallicu.
A stanza di rivestimentu di l'equipaggiu mantene un statu di altu vacuum per un bellu pezzu, cù menu gas d'impurità, alta purezza di u rivestimentu è un bonu indice di rifrazione. U sistema di cuntrollu à ciclu chjusu speedflo cumpletamente automaticu hè cunfiguratu per migliurà a velocità di deposizione di u film. I parametri di u prucessu ponu esse tracciati, è u prucessu di pruduzzione pò esse monitoratu in tuttu u prucessu per facilità u tracciamentu di i difetti di pruduzzione. L'equipaggiu hà un altu gradu di automatizazione. Pò esse adupratu inseme cù u manipulatore per cunnette i prucessi anteriori è posteriori è riduce u costu di u travagliu.
A linea di pruduzzione di rivestimentu pò esse aduprata per rivestisce Nb2O5, SiO2, TiO2, in, Cu, Cr, Ti, SUS, Ag è altri ossidi è ancu materiali metallichi simplici. Hè principalmente adupratu in u prucessu di film culuratu otticu di superposizione di metallu è materiali ottici. Hè adattatu per prudutti piatti fatti di vetru, PC,PETè altri materiali. Hè statu largamente utilizatu in film PET / piastra cumposta, piastra di copertura di vetru, schermu di visualizazione è altri prudutti.