Elektron şüa vakuum örtüyü və ya elektron şüa fiziki buxar çökməsi (EBPVD), müxtəlif səthlərə nazik filmlər və ya örtüklər qoymaq üçün istifadə olunan bir prosesdir. Bu, yüksək vakuum kamerasında bir örtük materialını (metal və ya keramika kimi) qızdırmaq və buxarlamaq üçün elektron şüanın istifadəsini əhatə edir. Buxarlanmış material daha sonra nazik, vahid bir örtük meydana gətirərək hədəf substratda kondensasiya olunur.
Əsas komponentlər:
- Elektron Şüa Mənbəsi: Fokuslanmış elektron şüa örtük materialını qızdırır.
- Kaplama materialı: Adətən metallar və ya keramika, pota və ya nimçəyə yerləşdirilir.
- Vakuum kamerası: çirklənmənin qarşısını almaq və buxarlanmış materialın düz xətlərdə hərəkət etməsinə imkan verən aşağı təzyiqli mühiti saxlayır.
- Substrat: Örtülən obyekt, buxarlanmış materialı toplamaq üçün yerləşdirilir.
Üstünlükləri:
- Yüksək Saflıqlı Kaplamalar: Vakuum mühiti çirklənməni minimuma endirir.
- Dəqiq Nəzarət: Kaplamanın qalınlığı və vahidliyi incə şəkildə idarə oluna bilər.
- Geniş Material Uyğunluğu: Metallar, oksidlər və digər materiallar üçün uyğundur.
- Güclü Yapışma: Proses örtük və substrat arasında əla birləşməyə gətirib çıxarır.
Tətbiqlər:
- Optika: Linzalar və güzgülər üzərində əks əks etdirən və qoruyucu örtüklər.
- Yarımkeçiricilər: Elektronika üçün nazik metal təbəqələr.
- Aerokosmik: Turbin qanadları üçün qoruyucu örtüklər.
- Tibbi Cihazlar: İmplantlar üçün biouyğun örtüklər.
- Bu məqalə dərc olunub by vakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 25 sentyabr 2024-cü il