Электрод вакуум җылылык пальто - вакуум мохитендә электродларны яки башка субстратларны каплау өчен сәнәгать һәм фәнни кулланмаларда кулланылган махсус җиһаз кисәге, еш кына җылылык белән эшкәртелә. Бу процесс гадәттә электроника, материаллар фәннәре, ярымүткәргечләр, оптика кебек өлкәләрдә кулланыла, электродларның үзлекләрен арттыру яки төрле материалларга нечкә пленкалар урнаштыру. Менә аның функцияләрен, кушымталарын, технологияләрен бүлү:
1. Вакуум мохите
Максат: Вакуум мохите кислород һәм азот кебек атмосфера газларыннан пычрануны булдырмас өчен бик мөһим, бу каплау сыйфатына тәэсир итә ала. Ул шулай ук оксидлашуны һәм материалны киметә торган башка химик реакцияләрне киметә.
Уңай яклары: югары чисталык каплауларын һәм материалларның төгәл урнашуын тәэмин итә, аеруча ярымүткәргечләр яки оптик компонентлар кебек сизгер кушымталар өчен.
2. atingылыту механизмы
Rылылык белән эшкәртү: Система контроль җылыту механизмын үз эченә ала, субстратны каплау процессына кадәр, вакытында яки аннан соң. Бу каплауның ябышуын яхшырта, материалның үзлекләрен үзгәртә ала, яисә кайбер төр чүпләү процессларына мөмкинлек бирә.
Температураны контрольдә тоту: Температураны төгәл контрольдә тоту субстратның яки каплау материалының җылылык үзлекләрен яхшы көйләргә, үткәрүчәнлекне, механик көчне яки башка үзлекләрне оптимальләштерергә мөмкинлек бирә.
3. Каплау техникасы
Электрод вакуум җылылык каплавы кушымтага карап төрле каплау технологияләренә ярдәм итә ала:
Физик парны чүпләү (ПВД): вакуум каплагычларда киң таралган ысул, анда каплау материалы парланган һәм контроль рәвештә субстратка салынган. Чәчү яки җылылык парга әйләнү кебек техника киң кулланыла.
Химик пар парламенты (CVD): Бу техникада вакуум камерасына кертелгән газлар арасында химик реакция барлыкка килә, нәтиҗәдә субстратта нечкә пленка барлыкка килә.
Rылылык парга әйләнү ысулы: каплау материалы парга әйләнгәнче җылытыла торган ысул, һәм пар субстратта конденсатор булып нечкә катлам барлыкка китерә.
4. Кушымталар
Электроника: үткәргеч катламнарны электр такталарына, батарейкалар өчен электродларга һәм башка электрон компонентларга урнаштыру өчен кулланыла.
Ярымүткәргечләр: Ярымүткәргеч тармагында бу җиһаз чипларга һәм интеграль схемаларга ультра-нечкә үткәргеч яки изоляцион катламнарны урнаштыру өчен бик мөһим.
Оптика: каплау линзалары, көзгеләр, оптик сенсорлар анти-чагылдыргыч каплагычлар, фильтрлар яки саклагыч катламнар.
Энергия саклау: Батарейкалар өчен электрод каплау, мәсәлән, литий-ион яки каты дәүләт батарейкалары, монда төгәл материал эшкәртү һәм озын гомер өчен кирәк.
Сенсорлар: билгеле электр, җылылык яки оптик үзлекләр таләп итә торган сенсорлар өчен каплау ясау.
5. Төп күрсәткечләр
Каплау калынлыгы: система нанометрларда яки микрометрларда үлчәнгән катламның калынлыгын төгәл контрольдә тотарга мөмкинлек бирә.
Бердәмлек: Электрон яки оптик кушымталар өчен бик мөһим булган субстрат аша каплауның тигез кулланылуын тәэмин итү.
Ябыштыру: Котер җылылык белән эшкәртү һәм өслекне әзерләү техникасы ярдәмендә салынган катламның субстратка ябышуын яхшырта.
Материаль чисталык: вакуумда эшләү пычрануны киметә һәм югары чисталык каплауларын тәэмин итә.
6. Электрод җитештерү белән интеграция
Вакуум җылылык катламы еш кына электрод җитештерү линияләренә интеграцияләнә, аеруча батареялар (литий-ион батареялары кебек), ягулык күзәнәкләре, конденсаторлар өчен. Бу кушымталарда үткәргеч материалларның югары сыйфатлы нечкә пленкалары (никель, бакыр яки башка металл оксидлары кебек) электродларга урнаштырыла, бу аларның электр үткәрүчәнлеген, химик тотрыклылыгын һәм гомуми эшләвен яхшырта.
7. Уңай яклары
Яхшыртылган каплау сыйфаты: Вакуум мохите яхшы ябышу белән югары сыйфатлы, кимчелексез каплауларны тәэмин итә.
Контроль контроль: каплау калынлыгында, бертөрлелектә, материаль үзлекләрдә төгәллек продукт җитештерүчәнлеген арттыра.
Көчле ныклык: вакуум һәм җылылык белән эшкәртү астында ясалган капламалар ешрак ныграк һәм экологик бозылуга чыдам, мәсәлән, оксидлашу яки коррозия.
8. Авырлыклар
Кыйммәт: югары вакуум һәм төгәл температураны контрольдә тоту җиһазлары башлангыч инвестицияләр һәм хезмәт күрсәтү ягыннан кыйммәт булырга мөмкин.
Катлаулылык: Мондый системаларны эшләтеп җибәрү оптималь нәтиҗәләрне тәэмин итү өчен оста техниклар һәм сак калибрлау таләп итә.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 28-2024 сентябрь