TLHALOSO EA SEHLAHISOA

ITO / ISI e tsitsitseng e tsoelang pele ea tlhahiso ea ho roala mohala ke sesebelisoa se seholo sa planar magnetron sputtering e tsoelang pele ea tlhahiso, e amohelang moralo oa modular ho thusa ho atolosa le ho ntlafatsa nakong e tlang. E na le lihlopha tse ngata tsa li-cathode tse kholo tsa magnetron, e ka sebelisoa ho kopanya mekhoa e mengata ea membrane. Taolo ea othomathike ka botlalo le sistimi ea phetisetso e tsitsitseng e phahameng, e ka hokahanngoang ntle le seam le manipulator ho hlokomela ts'ebetso e tsoelang pele le e tsitsitseng ea mohala oa kopano. Lebelo la tlhahiso e potlakileng le matla a maholo a tlhahiso.
Mohala oa ho roala o loketse ho roala ITO, AZO, TCO le lifilimi tse ling tse hlakileng tsa conductive, hammoho le lisebelisoa tsa motheo tsa Ti, Ag, Cu, Al, Cr, Ni le lisebelisoa tse ling. E sebelisoa haholo-holo ka phanele e bohlale ea lapeng, skrineng sa ponts'o, skrineng sa ho ama, khalase ea koloi, phanele ea photovoltaic le lihlahisoa tse ling.