ඉලෙක්ට්රෝඩ රික්ත තාප ආලේපනයක් යනු කාර්මික හා විද්යාත්මක යෙදීම්වල රික්ත පරිසරයක් යටතේ ඉලෙක්ට්රෝඩ හෝ අනෙකුත් උපස්ථර ආලේප කිරීම සඳහා භාවිතා කරන විශේෂිත උපකරණ කැබැල්ලකි, බොහෝ විට තාප පිරියම් කිරීම සමඟ සම්බන්ධ වේ. මෙම ක්රියාවලිය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, ද්රව්ය විද්යාව, අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ විද්යාව වැනි ක්ෂේත්රවල ඉලෙක්ට්රෝඩවල ගුණාංග වැඩි දියුණු කිරීමට හෝ විවිධ ද්රව්ය මත තුනී පටල තැන්පත් කිරීමට බහුලව භාවිතා වේ. එහි ක්රියාකාරිත්වය, යෙදුම් සහ තාක්ෂණය පිළිබඳ බිඳවැටීමක් මෙන්න:
1. රික්තක පරිසරය
අරමුණ: ඔක්සිජන් සහ නයිට්රජන් වැනි වායුගෝලීය වායූන්ගෙන් දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා රික්ත පරිසරය අත්යවශ්ය වන අතර එමඟින් ආලේපනයේ ගුණාත්මක භාවයට බලපෑම් ඇති විය හැකිය. එය ඔක්සිකරණය සහ ද්රව්යය පිරිහීමට ලක් කළ හැකි අනෙකුත් රසායනික ප්රතික්රියා ද අඩු කරයි.
ප්රතිලාභ: විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක හෝ දෘශ්ය සංරචක වැනි සංවේදී යෙදුම් සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ආලේපන සහ ද්රව්යවල නිරවද්ය තැන්පත් වීම සහතික කරයි.
2. තාපන යාන්ත්රණය
තාප පිරියම් කිරීම: ආලේපන ක්රියාවලියට පෙර, අතරතුර හෝ පසුව උපස්ථරය තාප පිරියම් කිරීම සඳහා පාලිත තාපන යාන්ත්රණයක් පද්ධතියට ඇතුළත් වේ. මෙය ආලේපනයේ ඇලවීම වැඩි දියුණු කිරීමට, ද්රව්යයේ ගුණාංග වෙනස් කිරීමට හෝ ඇතැම් ආකාරයේ තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලීන් සක්රීය කිරීමට හැකිය.
උෂ්ණත්ව පාලනය: නිරවද්ය උෂ්ණත්ව පාලනය මඟින් උපස්ථරයේ හෝ ආලේපන ද්රව්යයේ තාප ගුණාංග සියුම් ලෙස සකස් කිරීමට, සන්නායකතාවය, යාන්ත්රික ශක්තිය හෝ වෙනත් ගුණාංග ප්රශස්ත කිරීමට ඉඩ සලසයි.
3. ආලේපන ශිල්පීය ක්රම
ඉලෙක්ට්රෝඩ රික්ත තාප කබාය යෙදුම මත පදනම්ව විවිධ ආලේපන තාක්ෂණයන්ට සහාය විය හැකිය:
භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PVD): රික්තක ආලේපනවල බහුලව භාවිතා වන ක්රමයක් වන අතර එහිදී ආලේපන ද්රව්ය වාෂ්පීකරණය කර පාලිත ආකාරයකින් උපස්ථරය මත තැන්පත් කරනු ලැබේ. ඉසීම හෝ තාප වාෂ්පීකරණය වැනි ශිල්පීය ක්රම බහුලව භාවිතා වේ.
රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD): මෙම තාක්ෂණයේදී, රික්ත කුටියට හඳුන්වා දුන් වායූන් අතර රසායනික ප්රතික්රියාවක් සිදු වන අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස උපස්ථරය මත තුනී පටලයක් සෑදේ.
තාප වාෂ්පීකරණය: ආලේපන ද්රව්ය වාෂ්ප වන තෙක් රත් කර, වාෂ්ප උපස්ථරය මත ඝනීභවනය වී තුනී ස්ථරයක් සාදන ක්රමයකි.
4. අයදුම්පත්
ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ: පරිපථ පුවරු මත සන්නායක ස්ථර, බැටරි සඳහා ඉලෙක්ට්රෝඩ සහ අනෙකුත් ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග තැන්පත් කිරීම සඳහා භාවිතා වේ.
අර්ධ සන්නායක: අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දී, චිප්ස් සහ ඒකාබද්ධ පරිපථ මත අතිශය තුනී සන්නායක හෝ පරිවාරක ස්ථර තැන්පත් කිරීම සඳහා මෙම උපකරණය අත්යවශ්ය වේ.
දෘෂ්ටි විද්යාව: ප්රති-පරාවර්තක ආලේපන, පෙරහන් හෝ ආරක්ෂිත ස්ථර සහිත කාච, දර්පණ සහ දෘශ්ය සංවේදක ආලේප කිරීම.
බලශක්ති ගබඩා කිරීම: ලිතියම්-අයන හෝ ඝන-තත්ව බැටරි වැනි බැටරි සඳහා ඉලෙක්ට්රෝඩ ආලේපනය, එහිදී කාර්ය සාධනය සහ දීර්ඝ ආයු කාලය සඳහා නිරවද්ය ද්රව්ය තැන්පත් වීම අත්යවශ්ය වේ.
සංවේදක: නිශ්චිත විද්යුත්, තාප හෝ දෘශ්ය ගුණාංග අවශ්ය වන සංවේදක සඳහා ආලේපන නිර්මාණය කිරීම.
5. ප්රධාන කාර්ය සාධන මිනුම්
ආලේපන ඝණකම: පද්ධතිය තැන්පත් කරන ලද ස්ථරයේ ඝණකම නිවැරදිව පාලනය කිරීමට ඉඩ සලසයි, බොහෝ විට එය නැනෝමීටර හෝ මයික්රෝමීටර වලින් මනිනු ලැබේ.
ඒකාකාරිත්වය: ඉලෙක්ට්රොනික හෝ දෘශ්ය යෙදුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වන උපස්ථරය පුරා ආලේපනය ඒකාකාරව යෙදීම සහතික කිරීම.
ඇලවීම: තාප පිරියම් කිරීම සහ මතුපිට සකස් කිරීමේ ශිල්පීය ක්රම මගින් කබාය උපස්ථරයට තැන්පත් කරන ලද ස්ථරයේ ඇලීම වැඩි දියුණු කරයි.
ද්රව්ය සංශුද්ධතාවය: රික්තයක් තුළ ක්රියා කිරීමෙන් දූෂණය අවම වන අතර ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ආලේපන සහතික කෙරේ.
6. ඉලෙක්ට්රෝඩ නිෂ්පාදනය සමඟ ඒකාබද්ධ වීම
රික්ත තාප කබාය බොහෝ විට ඉලෙක්ට්රෝඩ නිෂ්පාදන රේඛාවලට ඒකාබද්ධ කර ඇත, විශේෂයෙන් බැටරි (ලිතියම්-අයන බැටරි වැනි), ඉන්ධන සෛල සහ ධාරිත්රක සඳහා. මෙම යෙදුම් වලදී, සන්නායක ද්රව්යවල (නිකල්, තඹ හෝ වෙනත් ලෝහ ඔක්සයිඩ වැනි) උසස් තත්ත්වයේ තුනී පටල ඉලෙක්ට්රෝඩ මත තැන්පත් කරනු ලබන අතර එමඟින් ඒවායේ විද්යුත් සන්නායකතාවය, රසායනික ස්ථායිතාව සහ සමස්ත ක්රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු වේ.
7. වාසි
වැඩිදියුණු කළ ආලේපන ගුණාත්මකභාවය: රික්ත පරිසරය මඟින් උසස් තත්ත්වයේ, දෝෂ රහිත ආලේපන විශිෂ්ට ඇලීමක් සහිතව සහතික කෙරේ.
පාලිත තැන්පත් කිරීම: ආලේපන ඝණකම, ඒකාකාරිත්වය සහ ද්රව්ය ගුණාංගවල නිරවද්යතාවය නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරයි.
වැඩිදියුණු කළ කල්පැවැත්ම: රික්තකය සහ තාප පිරියම් කිරීම යටතේ නිපදවන ආලේපන බොහෝ විට කල් පවතින අතර ඔක්සිකරණය හෝ විඛාදනය වැනි පාරිසරික හායනයන්ට ප්රතිරෝධී වේ.
8. අභියෝග
පිරිවැය: ඉහළ රික්තකයක් සහ නිරවද්ය උෂ්ණත්ව පාලන උපකරණ, මූලික ආයෝජනය සහ නඩත්තුව යන දෙකෙහිම මිල අධික විය හැකිය.
සංකීර්ණතාව: ප්රශස්ත ප්රතිඵල සහතික කිරීම සඳහා එවැනි පද්ධති ක්රියාත්මක කිරීම සඳහා දක්ෂ කාර්මිකයන් සහ ප්රවේශමෙන් ක්රමාංකනය කිරීම අවශ්ය වේ.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයාGuangdong Zhenhua
පළ කිරීමේ කාලය: සැප්තැම්බර්-28-2024