د الیکټروډ ویکیوم تودوخې کوټر د تجهیزاتو یوه ځانګړې ټوټه ده چې په صنعتي او ساینسي غوښتنلیکونو کې د خلا چاپیریال لاندې د الیکټروډونو یا نورو سبسټریټونو پوښلو لپاره کارول کیږي، ډیری وختونه د تودوخې درملنې سره یوځای کیږي. دا پروسه معمولا د الکترونیک، موادو ساینس، سیمیکمډکټرونو، او آپټیکس په څیر برخو کې کارول کیږي ترڅو د الیکټروډونو ملکیتونه لوړ کړي یا په مختلفو موادو باندې پتلي فلمونه زیرمه کړي. دلته د هغې د دندو، غوښتنلیکونو او ټیکنالوژۍ لنډیز دی:
۱. د خلا چاپیریال
موخه: د خلا چاپیریال د اتموسفیر ګازونو لکه اکسیجن او نایتروجن څخه د ککړتیا مخنیوي لپاره اړین دی، کوم چې کولی شي د پوښ کیفیت اغیزمن کړي. دا د اکسیډیشن او نورو کیمیاوي تعاملاتو کمول هم کوي چې کولی شي مواد خراب کړي.
ګټې: د لوړ پاکوالي پوښښ او د موادو دقیق زیرمه کول ډاډمن کوي، په ځانګړي توګه د حساسو غوښتنلیکونو لکه سیمیکمډکټرونو یا آپټیکل اجزاو لپاره.
۲. د تودوخې میکانیزم
حرارتي درملنه: په دې سیسټم کې د تودوخې کنټرول شوی میکانیزم شامل دی چې د پوښښ پروسې دمخه، په جریان کې یا وروسته د سبسټریټ تودوخې درملنه کوي. دا کولی شي د پوښښ چپکولو ته وده ورکړي، د موادو ځانګړتیاوې تعدیل کړي، یا د زیرمه کولو ځینې ډولونه فعال کړي.
د تودوخې کنټرول: د تودوخې دقیق کنټرول د سبسټریټ یا د پوښ کولو موادو د تودوخې ملکیتونو ښه کولو، چالکتیا، میخانیکي ځواک، یا نورو ملکیتونو غوره کولو ته اجازه ورکوي.
۳. د پوښښ تخنیکونه
د الیکټروډ ویکیوم تودوخې کوټر کولی شي د مختلفو کوټینګ ټیکنالوژیو ملاتړ وکړي، د غوښتنلیک پورې اړه لري:
د فزیکي بخاراتو زیرمه کول (PVD): په ویکیوم کوټرونو کې یوه عامه طریقه چیرې چې د پوښ مواد بخار کیږي او په کنټرول شوي ډول سبسټریټ ته زیرمه کیږي. د سپټر کولو یا تودوخې تبخیر په څیر تخنیکونه په پراخه کچه کارول کیږي.
د کیمیاوي بخاراتو زیرمه (CVD): په دې تخنیک کې، د خلا چیمبر ته د داخل شویو ګازونو ترمنځ کیمیاوي تعامل واقع کیږي، چې په پایله کې په سبسټریټ باندې یو پتلی فلم جوړیږي.
حرارتي تبخیر: یوه طریقه چې د پوښ مواد تر هغه وخته پورې تودوخه کیږي چې تبخیر شي، او بخار په سبسټریټ باندې متمرکز کیږي ترڅو یو پتلی طبقه جوړه کړي.
۴. غوښتنلیکونه
الیکترونیکونه: د سرکټ بورډونو، د بیټریو لپاره الکترودونو، او نورو الیکترونیکي برخو کې د چلونکي طبقو د زیرمه کولو لپاره کارول کیږي.
نیمهسیمهکاران: د نیمهسیمهکارانو په صنعت کې، دا تجهیزات په چپس او مدغم سرکټونو کې د الټرا-نیل کنډکټیو یا انسولیټیو طبقو د زیرمه کولو لپاره خورا مهم دي.
اپټیکس: د لینزونو، هندارو، او اپټیکل سینسرونو پوښل د انعکاس ضد پوښښونو، فلټرونو، یا محافظتي طبقو سره.
د انرژۍ ذخیره کول: د بیټریو لپاره د الکترود پوښښ، لکه د لیتیم آیون یا جامد حالت بیټریو کې، چیرې چې د فعالیت او اوږد عمر لپاره د موادو دقیق زیرمه کول اړین دي.
سینسرونه: د سینسرونو لپاره د پوښښونو جوړول چې ځانګړي بریښنایی، حرارتي یا نظري ملکیتونو ته اړتیا لري.
۵. د فعالیت کلیدي معیارونه
د پوښ ضخامت: دا سیسټم د زیرمه شوي طبقې ضخامت باندې دقیق کنټرول ته اجازه ورکوي، چې ډیری وختونه په نانومیټرونو یا مایکرومیټرونو کې اندازه کیږي.
یوشانوالی: ډاډ ترلاسه کول چې پوښ په مساوي ډول د سبسټریټ په اوږدو کې پلي کیږي، کوم چې د بریښنایی یا نظري غوښتنلیکونو لپاره خورا مهم دی.
چپکېدل: کوټر د تودوخې درملنې او سطحې چمتو کولو تخنیکونو له لارې د زیرمه شوي طبقې چپکېدل ښه کوي.
د موادو پاکوالی: په خلا کې کار کول ککړتیا کموي او د لوړ پاکوالي پوښښ ډاډمن کوي.
۶. د الکترود تولید سره یوځای کول
د ویکیوم تودوخې کوټر اکثرا د الکترود تولید لینونو کې مدغم کیږي، په ځانګړې توګه د بیټریو (لکه لیتیم آئن بیټرۍ)، د سونګ حجرو، او کیپسیټرونو لپاره. په دې غوښتنلیکونو کې، د چلونکي موادو (لکه نکل، مس، یا نور فلزي اکسایډونه) لوړ کیفیت لرونکي پتلي فلمونه په الکترودونو کې زیرمه کیږي، کوم چې د دوی بریښنایی چالکتیا، کیمیاوي ثبات، او ټولیز فعالیت ښه کوي.
۷. ګټې
د پوښښ کیفیت ښه شوی: د خلا چاپیریال د لوړ کیفیت، عیب څخه پاک پوښښونه د غوره چپکولو سره ډاډمن کوي.
کنټرول شوی زیرمه: د پوښ ضخامت، یووالي، او د موادو ځانګړتیاو کې دقت د محصول فعالیت لوړوي.
د دوامدارۍ زیاتوالی: هغه پوښونه چې د خلا او تودوخې درملنې لاندې تولید شوي اکثرا ډیر دوامدار او د چاپیریالي تخریب په وړاندې مقاومت لري، لکه اکسیډیشن یا زنګ.
۸. ننګونې
لګښت: د لوړ خلا او دقیق تودوخې کنټرول تجهیزات کیدای شي ګران وي، د لومړني پانګونې او ساتنې دواړو له پلوه.
پېچلتیا: د داسې سیسټمونو چلول ماهر تخنیکرانو او محتاط کیلیبریشن ته اړتیا لري ترڅو غوره پایلې یقیني کړي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: سپتمبر-۲۸-۲۰۲۴
