Электродын вакуум дулаан бүрээс нь вакуум орчинд электрод эсвэл бусад субстратыг бүрэх зориулалттай үйлдвэрлэлийн болон шинжлэх ухааны хэрэглээнд ашиглагддаг тусгай тоног төхөөрөмж бөгөөд ихэвчлэн дулааны боловсруулалт хийдэг. Энэ процессыг ихэвчлэн электроник, материал судлал, хагас дамжуулагч, оптик зэрэг салбарт электродын шинж чанарыг сайжруулах эсвэл янз бүрийн материал дээр нимгэн хальс үүсгэх зорилгоор ашигладаг. Үүний функц, хэрэглээ, технологийн задаргааг энд харуулав.
1. Вакуум орчин
Зорилго: Вакуум орчин нь бүрэх чанарт нөлөөлж болзошгүй хүчилтөрөгч, азот зэрэг агаар мандлын хийн бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхэд зайлшгүй шаардлагатай. Энэ нь мөн материалыг доройтуулж болох исэлдэлт болон бусад химийн урвалыг бууруулдаг.
Давуу тал: Хагас дамжуулагч эсвэл оптик эд анги зэрэг эмзэг хэрэглээнд зориулж өндөр цэвэршилттэй бүрэх, материалын нарийн тунадасжилтыг баталгаажуулдаг.
2. Халаалтын механизм
Дулааны боловсруулалт: Энэхүү систем нь бүрэх процессын өмнө, явцад эсвэл дараа нь субстратыг дулаанаар боловсруулах хяналттай халаалтын механизмыг агуулдаг. Энэ нь бүрхүүлийн наалдацыг сайжруулж, материалын шинж чанарыг өөрчлөх эсвэл тодорхой төрлийн хуримтлуулах процессыг идэвхжүүлж болно.
Температурын хяналт: Температурын нарийн хяналт нь субстрат эсвэл бүрэх материалын дулааны шинж чанарыг нарийн тохируулах, дамжуулах чанар, механик бат бөх чанар болон бусад шинж чанарыг оновчтой болгох боломжийг олгодог.
3. Бүрэх техник
Электродын вакуум дулаан бүрээс нь хэрэглээнээс хамааран янз бүрийн бүрэх технологийг дэмжих боломжтой.
Физик уурын хуримтлал (PVD): Вакуум бүрээсний нийтлэг арга бөгөөд бүрэх материалыг ууршуулж, субстрат дээр хяналттай байлгадаг. Шүрших, дулааны ууршуулах зэрэг техникийг өргөн ашигладаг.
Химийн уурын хуримтлал (CVD): Энэ техникээр вакуум камерт оруулсан хийн хооронд химийн урвал явагдах бөгөөд үүний үр дүнд субстрат дээр нимгэн хальс үүсдэг.
Дулааны ууршилт: Бүрхүүлгийн материалыг уурших хүртэл халааж, уур нь субстрат дээр өтгөрдөг бөгөөд нимгэн давхарга үүсгэдэг.
4. Хэрэглээ
Электрон: Цахилгаан хэлхээний самбар, батерейны электрод болон бусад электрон эд ангиудад дамжуулагч давхаргыг байрлуулахад ашигладаг.
Хагас дамжуулагч: Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт энэ төхөөрөмж нь чип болон нэгдсэн хэлхээнд хэт нимгэн дамжуулагч эсвэл тусгаарлагч давхаргыг байрлуулахад маш чухал юм.
Оптик: Цацруулахаас хамгаалах бүрээс, шүүлтүүр эсвэл хамгаалалтын давхарга бүхий бүрэх линз, толь, оптик мэдрэгч.
Эрчим хүчний хадгалалт: Лити-ион эсвэл хатуу төлөвт батерей зэрэг батерейнд зориулсан электродын бүрээс нь гүйцэтгэл, урт наслалтад материалын нарийн тунадас зайлшгүй шаардлагатай байдаг.
Мэдрэгч: Тодорхой цахилгаан, дулааны эсвэл оптик шинж чанарыг шаарддаг мэдрэгчийн бүрээсийг бий болгох.
5. Гүйцэтгэлийн гол үзүүлэлтүүд
Бүрээсний зузаан: Энэхүү систем нь ихэвчлэн нанометр эсвэл микрометрээр хэмжигддэг хуримтлагдсан давхаргын зузааныг нарийн хянах боломжийг олгодог.
Нэгдмэл байдал: Бүрээсийг субстрат дээр жигд түрхэх нь электрон эсвэл оптик хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой.
Наалдамхай байдал: Бүрхүүл нь дулааны боловсруулалт, гадаргууг бэлтгэх арга техникээр дамжуулан хуримтлагдсан давхаргын наалдацыг сайжруулдаг.
Материалын цэвэр байдал: Вакуум орчинд ажиллах нь бохирдлыг багасгаж, өндөр цэвэршилттэй бүрхүүлийг баталгаажуулдаг.
6. Электродын үйлдвэрлэлтэй нэгтгэх
Вакуум дулаан бүрээсийг ихэвчлэн батерей (литийн ион батерей гэх мэт), түлшний эсүүд болон конденсаторуудад электродын үйлдвэрлэлийн шугамд нэгтгэдэг. Эдгээр хэрэглээнд цахилгаан дамжуулагч материалын (никель, зэс эсвэл бусад металлын исэл гэх мэт) өндөр чанартай нимгэн хальсыг электродууд дээр байрлуулж, тэдгээрийн цахилгаан дамжуулах чанар, химийн тогтвортой байдал, ерөнхий гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
7. Давуу тал
Сайжруулсан бүрхүүлийн чанар: Вакуум орчин нь маш сайн наалддаг өндөр чанартай, согоггүй бүрээсийг баталгаажуулдаг.
Хяналттай тунадас: Бүрхүүлгийн зузаан, жигд байдал, материалын шинж чанарын нарийвчлал нь бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
Сайжруулсан бат бөх чанар: Вакуум болон дулааны боловсруулалтын дор үйлдвэрлэсэн бүрээс нь ихэвчлэн илүү бат бөх бөгөөд исэлдэлт, зэврэлт зэрэг байгаль орчны доройтолд тэсвэртэй байдаг.
8. Бэрхшээл
Зардал: Өндөр вакуум, температурыг нарийн хянах төхөөрөмж нь анхны хөрөнгө оруулалт болон засвар үйлчилгээний хувьд үнэтэй байж болно.
Нарийн төвөгтэй байдал: Ийм системийг ажиллуулахын тулд чадварлаг техникч, оновчтой үр дүнг баталгаажуулахын тулд нарийн тохируулга хийх шаардлагатай.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 9-р сарын 28