본 장비는 음극 아크 이온 코팅 기술을 채택하고 최첨단 IET 에칭 시스템을 갖추고 있습니다. 처리 후, 제품은 전이층 없이 직접 경질 코팅을 증착할 수 있습니다. 동시에, 기존 아크 기술은 영구 자석 및 전자기 코일 스캐닝 기술로 업그레이드되었습니다. 이 기술은 이온 에너지를 효과적으로 향상시키고, 이온화율과 타겟 활용률을 개선하며, 아크 스팟 이동 속도를 가속화하고, 액적 생성을 효과적으로 억제하며, 박막의 거칠기를 줄이고, 박막의 마찰 계수를 낮춥니다. 특히 알루미늄 타겟의 경우, 작업물의 수명을 크게 향상시킬 수 있습니다. 최신 경량 3D 고정구를 장착하여 균일성과 안정성이 더욱 향상되었습니다.
이 장비는 AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN 및 기타 고온 초경질 코팅으로 코팅할 수 있으며, 이는 금형, 절삭 공구, 펀치, 자동차 부품, 플런저 및 기타 제품에 널리 사용됩니다.
1. 강화된 플라스마, 강력한 전자기 회전 스캐닝 이동 냉음극, 강한 회절, 밀도 높은 필름.
2. 스퍼터링 거리가 길고, 에너지가 높으며 접착력이 좋습니다.
3. 아크가 양극에 닿는 거리는 유지보수를 위해 전원을 끄지 않고도 조절할 수 있습니다.
4. 턴오버 트랙 구조는 콜드 캐소드의 교체 및 유지관리에 편리합니다.
5. 아크 스팟 위치가 제어 가능하며, 다양한 재료에 따라 다양한 자기장 모드를 조정할 수 있습니다.
| 코팅 | 두께(um) | 경도(HV) | 최대 온도(℃) | 색상 | 애플리케이션 |
| 타-C | 1-2.5 | 4000-6000 | 400 | 검은색 | 흑연, 탄소 섬유, 복합재, 알루미늄 및 알루미늄 합금 |
| 티신 | 1-3 | 3500 | 900 | 청동 | 55-60HRC 스테인리스 스틸 절단, 정밀 마감 |
| 알틴-C | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | 청회색 | 저경도 스테인리스강 절단, 성형금형, 스탬핑금형 |
| CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | 회색 | 중절삭 및 스탬핑 금형 |
| CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | 회색 | 55-60HRC 스테인리스 스틸 절단, 정밀 마감, 건식 절단 |
| HDA0806 | HDA1112 |
| φ850*H600(mm) | φ1100*H1200(mm) |