ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಹೀಟ್ ಕೋಟರ್

ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಹೀಟ್ ಕೋಟರ್ ಎನ್ನುವುದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮತ್ತು ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಇತರ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಲೇಪಿಸಲು ಬಳಸುವ ವಿಶೇಷ ಸಾಧನವಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಸೈನ್ಸ್, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್‌ನಂತಹ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್‌ಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಅಥವಾ ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲೆ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅದರ ಕಾರ್ಯಗಳು, ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು ಮತ್ತು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ವಿವರ ಇಲ್ಲಿದೆ:

1. ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರ
ಉದ್ದೇಶ: ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕದಂತಹ ವಾತಾವರಣದ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರ ಅತ್ಯಗತ್ಯ, ಇದು ಲೇಪನದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು. ಇದು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ವಸ್ತುವನ್ನು ಕೆಡಿಸುವ ಇತರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಸಹ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಯೋಜನಗಳು: ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಲೇಪನಗಳು ಮತ್ತು ವಸ್ತುಗಳ ನಿಖರವಾದ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕಗಳು ಅಥವಾ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳಂತಹ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ.
2. ತಾಪನ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನ
ಉಷ್ಣ ಚಿಕಿತ್ಸೆ: ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೊದಲು, ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ನಂತರ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಉಷ್ಣವಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ನಿಯಂತ್ರಿತ ತಾಪನ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಇದು ಲೇಪನದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು, ವಸ್ತುವಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಮಾರ್ಪಡಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಕೆಲವು ರೀತಿಯ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಬಹುದು.
ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ: ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವು ತಲಾಧಾರ ಅಥವಾ ಲೇಪನ ವಸ್ತುವಿನ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿ ಶ್ರುತಿಗೊಳಿಸಲು, ವಾಹಕತೆ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಅಥವಾ ಇತರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
3. ಲೇಪನ ತಂತ್ರಗಳು
ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಹೀಟ್ ಕೋಟರ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ವಿವಿಧ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ:

ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD): ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಲೇಪನ ವಸ್ತುವನ್ನು ಆವಿಯಾಗಿಸಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಾನ. ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಉಷ್ಣ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯಂತಹ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD): ಈ ತಂತ್ರದಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗೆ ಪರಿಚಯಿಸಲಾದ ಅನಿಲಗಳ ನಡುವೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ತೆಳುವಾದ ಪದರವು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಉಷ್ಣ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ: ಲೇಪನ ವಸ್ತುವನ್ನು ಆವಿಯಾಗುವವರೆಗೆ ಬಿಸಿ ಮಾಡುವ ವಿಧಾನ, ಮತ್ತು ಆವಿಯು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಘನೀಕರಣಗೊಂಡು ತೆಳುವಾದ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.
4. ಅರ್ಜಿಗಳು
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್: ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೋರ್ಡ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ವಾಹಕ ಪದರಗಳನ್ನು, ಬ್ಯಾಟರಿಗಳಿಗೆ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಇತರ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕಗಳು: ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಚಿಪ್ಸ್ ಮತ್ತು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ಅತಿ ತೆಳುವಾದ ವಾಹಕ ಅಥವಾ ನಿರೋಧನ ಪದರಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಈ ಉಪಕರಣವು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.
ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ: ಪ್ರತಿಫಲಿತ-ವಿರೋಧಿ ಲೇಪನಗಳು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಪದರಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಲೇಪನ ಮಸೂರಗಳು, ಕನ್ನಡಿಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಂವೇದಕಗಳು.
ಶಕ್ತಿ ಸಂಗ್ರಹಣೆ: ಲಿಥಿಯಂ-ಐಯಾನ್ ಅಥವಾ ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಬ್ಯಾಟರಿಗಳಂತಹ ಬ್ಯಾಟರಿಗಳಿಗೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಲೇಪನ, ಅಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯಕ್ಕೆ ನಿಖರವಾದ ವಸ್ತು ಶೇಖರಣೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ.
ಸಂವೇದಕಗಳು: ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿದ್ಯುತ್, ಉಷ್ಣ ಅಥವಾ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸಂವೇದಕಗಳಿಗೆ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ರಚಿಸುವುದು.
5. ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮಾಪನಗಳು
ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ: ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಠೇವಣಿ ಪದರದ ದಪ್ಪದ ಮೇಲೆ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಏಕರೂಪತೆ: ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅಥವಾ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾದ, ತಲಾಧಾರದಾದ್ಯಂತ ಲೇಪನವನ್ನು ಸಮವಾಗಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗಿದೆಯೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು.
ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ: ಕೋಟರ್ ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ತಯಾರಿಕೆಯ ತಂತ್ರಗಳ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಪದರದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ವಸ್ತು ಶುದ್ಧತೆ: ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವುದರಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
6. ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ತಯಾರಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಏಕೀಕರಣ
ನಿರ್ವಾತ ಶಾಖದ ಕೋಟರ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ ಸಂಯೋಜಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಬ್ಯಾಟರಿಗಳು (ಲಿಥಿಯಂ-ಐಯಾನ್ ಬ್ಯಾಟರಿಗಳು), ಇಂಧನ ಕೋಶಗಳು ಮತ್ತು ಕೆಪಾಸಿಟರ್‌ಗಳಿಗೆ. ಈ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ (ನಿಕಲ್, ತಾಮ್ರ ಅಥವಾ ಇತರ ಲೋಹದ ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳಂತಹ) ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಅವುಗಳ ವಿದ್ಯುತ್ ವಾಹಕತೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

7. ಅನುಕೂಲಗಳು
ಸುಧಾರಿತ ಲೇಪನ ಗುಣಮಟ್ಟ: ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ, ದೋಷ-ಮುಕ್ತ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿಯಂತ್ರಿತ ಶೇಖರಣೆ: ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ, ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿನ ನಿಖರತೆಯು ಉತ್ಪನ್ನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ವರ್ಧಿತ ಬಾಳಿಕೆ: ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ಶಾಖ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾದ ಲೇಪನಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವವು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಅಥವಾ ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವಂತಹ ಪರಿಸರ ನಾಶಕ್ಕೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ.
8. ಸವಾಲುಗಳು
ವೆಚ್ಚ: ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಉಪಕರಣಗಳು ಆರಂಭಿಕ ಹೂಡಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ ಎರಡರಲ್ಲೂ ದುಬಾರಿಯಾಗಬಹುದು.
ಸಂಕೀರ್ಣತೆ: ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅಂತಹ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ನುರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞರು ಮತ್ತು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ