Electrode Vacuum Heat Coater គឺជាឧបករណ៍ឯកទេសដែលប្រើក្នុងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម និងវិទ្យាសាស្រ្តសម្រាប់ថ្នាំកូតអេឡិចត្រូត ឬស្រទាប់ខាងក្រោមផ្សេងទៀតនៅក្រោមបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ ដែលជារឿយៗត្រូវបានផ្សំជាមួយការព្យាបាលកំដៅ។ ដំណើរការនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់ជាទូទៅក្នុងវិស័យដូចជា អេឡិចត្រូនិក វិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក និងអុបទិក ដើម្បីបង្កើនលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់អេឡិចត្រូត ឬដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងលើវត្ថុធាតុផ្សេងៗ។ នេះជាការវិភាគមុខងារ កម្មវិធី និងបច្ចេកវិទ្យារបស់វា៖
1. បរិស្ថានខ្វះចន្លោះ
គោលបំណង៖ បរិយាកាសខ្វះចន្លោះគឺចាំបាច់សម្រាប់ការពារការចម្លងរោគពីឧស្ម័នបរិយាកាស ដូចជាអុកស៊ីហ្សែន និងអាសូត ដែលអាចប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃថ្នាំកូត។ វាក៏កាត់បន្ថយអុកស៊ីតកម្ម និងប្រតិកម្មគីមីផ្សេងទៀត ដែលអាចធ្វើឲ្យសម្ភារៈខូចគុណភាព។
អត្ថប្រយោជន៍៖ ធានាបាននូវថ្នាំកូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងការទុកដាក់សម្ភារៈយ៉ាងជាក់លាក់ ជាពិសេសសម្រាប់កម្មវិធីដែលងាយរងគ្រោះដូចជា semiconductors ឬ optical components។
2. យន្តការកំដៅ
ការព្យាបាលកំដៅ៖ ប្រព័ន្ធរួមបញ្ចូលទាំងយន្តការកំដៅដែលគ្រប់គ្រងដើម្បីព្យាបាលស្រទាប់ខាងក្រោមកំដៅមុន កំឡុងពេល ឬក្រោយដំណើរការថ្នាំកូត។ នេះអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្អិតជាប់នៃថ្នាំកូត កែប្រែលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសម្ភារៈ ឬបើកដំណើរការនៃប្រភេទមួយចំនួននៃស្រទាប់។
ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព៖ ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពយ៉ាងជាក់លាក់អនុញ្ញាតឱ្យមានការកែតម្រូវលក្ខណៈកម្ដៅនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ឬសម្ភារៈថ្នាំកូត ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពចរន្ត កម្លាំងមេកានិច ឬលក្ខណៈសម្បត្តិផ្សេងទៀត។
3. បច្ចេកទេសថ្នាំកូត
Electrode Vacuum Heat Coater អាចគាំទ្របច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតផ្សេងៗ អាស្រ័យលើកម្មវិធី៖
ការទម្លាក់ចំហាយរូបវិទ្យា (PVD)៖ វិធីសាស្ត្រទូទៅមួយនៅក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលី ដែលសម្ភារៈថ្នាំកូតត្រូវបានចំហាយ និងដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងលក្ខណៈគ្រប់គ្រង។ បច្ចេកទេសដូចជា sputtering ឬការហួតកម្ដៅត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។
ការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD)៖ នៅក្នុងបច្ចេកទេសនេះ ប្រតិកម្មគីមីកើតឡើងរវាងឧស្ម័នដែលបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលី ដែលបណ្តាលឱ្យមានខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការរំហួតដោយកម្ដៅ៖ វិធីសាស្ត្រមួយដែលសម្ភារៈថ្នាំកូតត្រូវបានកំដៅរហូតដល់វាហួត ហើយចំហាយទឹកនោះចុះមកលើស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ស្តើង។
4. កម្មវិធី
អេឡិចត្រូនិក៖ ប្រើសម្រាប់ដាក់ស្រទាប់ conductive នៅលើបន្ទះសៀគ្វី អេឡិចត្រូតសម្រាប់អាគុយ និងសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចផ្សេងទៀត។
Semiconductors: នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ឧបករណ៍នេះគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ conductive ឬ insulative ស្តើងបំផុតនៅលើបន្ទះឈីប និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។
អុបទិក៖ កញ្ចក់ស្រោប កញ្ចក់ និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុបទិក ជាមួយនឹងថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង តម្រង ឬស្រទាប់ការពារ។
ការផ្ទុកថាមពល៖ ថ្នាំកូតអេឡិចត្រូតសម្រាប់អាគុយ ដូចជានៅក្នុងថ្មលីចូម-អ៊ីយ៉ុង ឬរដ្ឋរឹង ដែលការទុកដាក់សម្ភារៈច្បាស់លាស់មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ។
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា៖ ការបង្កើតថ្នាំកូតសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលទាមទារលក្ខណៈសម្បត្តិជាក់លាក់នៃចរន្តអគ្គិសនី កម្ដៅ ឬអុបទិក។
5. សូចនាករការអនុវត្តសំខាន់ៗ
កម្រាស់ស្រទាប់៖ ប្រព័ន្ធអនុញ្ញាតឱ្យមានការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងច្បាស់លាស់លើកម្រាស់នៃស្រទាប់ដែលបានដាក់ ដែលជារឿយៗត្រូវបានវាស់ជា nanometers ឬ micrometers ។
ឯកសណ្ឋាន៖ ធានាថាថ្នាំកូតត្រូវបានអនុវត្តស្មើៗគ្នានៅទូទាំងស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីអេឡិចត្រូនិក ឬអុបទិក។
ការស្អិតជាប់៖ ថ្នាំកូតធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្អិតរបស់ស្រទាប់ដែលបានដាក់ទៅស្រទាប់ខាងក្រោម តាមរយៈការព្យាបាលកំដៅ និងបច្ចេកទេសរៀបចំផ្ទៃ។
ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈ៖ ប្រតិបត្តិការក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលីកាត់បន្ថយការចម្លងរោគ និងធានានូវភាពបរិសុទ្ធនៃថ្នាំកូត។
6. ការរួមបញ្ចូលជាមួយការផលិតអេឡិចត្រូត
ជារឿយៗឧបករណ៍កម្តៅសុញ្ញកាសត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មអេឡិចត្រូត ជាពិសេសសម្រាប់អាគុយ (ដូចជាអាគុយលីចូម-អ៊ីយ៉ុង) កោសិកាប្រេងឥន្ធនៈ និងកុងទ័រ។ នៅក្នុងកម្មវិធីទាំងនេះ ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៃវត្ថុធាតុដើម (ដូចជានីកែល ទង់ដែង ឬអុកស៊ីដលោហៈផ្សេងទៀត) ត្រូវបានដាក់នៅលើអេឡិចត្រូត ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវចរន្តអគ្គិសនី ស្ថេរភាពគីមី និងដំណើរការទាំងមូល។
7. គុណសម្បត្តិ
ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវគុណភាពថ្នាំកូត៖ បរិយាកាសខ្វះចន្លោះធានានូវគុណភាពខ្ពស់ ថ្នាំកូតគ្មានពិការភាព ជាមួយនឹងភាពស្អិតជាប់ដ៏ល្អ។
ការទម្លាក់វត្ថុដែលបានត្រួតពិនិត្យ៖ ភាពជាក់លាក់នៃភាពជាក់លាក់នៃកម្រាស់នៃថ្នាំកូត ភាពឯកសណ្ឋាន និងលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈជួយបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតផល។
ភាពធន់បានប្រសើរឡើង៖ ថ្នាំកូតដែលផលិតក្រោមការបូមធូលី និងការព្យាបាលកំដៅ ច្រើនតែប្រើប្រាស់បានយូរ និងធន់នឹងការរិចរិលនៃបរិស្ថាន ដូចជាអុកស៊ីតកម្ម ឬច្រេះ។
8. បញ្ហាប្រឈម
ថ្លៃដើម៖ ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងច្បាស់លាស់អាចមានតម្លៃថ្លៃ ទាំងការវិនិយោគដំបូង និងការថែទាំ។
ភាពស្មុគស្មាញ៖ ដំណើរការប្រព័ន្ធបែបនេះត្រូវការអ្នកបច្ចេកទេសដែលមានជំនាញ និងការក្រិតតាមខ្នាតដោយប្រុងប្រយ័ត្ន ដើម្បីធានាបាននូវលទ្ធផលល្អបំផុត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៨ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២៤