Na usoro nkwụnye anwụrụ ọkụ anụ ahụ (PVD) dabere naikuku okpomọkụ,A naghị ekpebi ịdị mma nke ihe nkiri ahụ site na ọkwa ikuku, ihe e ji mee ihe n'okpuru ala, ma ọ bụ paramita usoro. Nhazi nhazi nke isi iyi ikuku na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkọwa nkwụsi ike nke ihe e tinyere n'ime ya, otu ihe nkiri ahụ si dị, obere nhazi, na imeghachi usoro ogologo oge.
Ka ngwa mkpuchi na-aga n'ihu na-agbasa n'ime ihe ndị na-egosi ụgbọala, ihe mkpuchi mma, ihe nkiri nchekwa bara uru, na elu nke nwere ọkwa anya, ihe achọrọ maka ịdị n'otu na ntụkwasị obi nke ihe nkiri aghọọla ihe siri ike. N'okpuru ọnọdụ ndị a, nhazi isi iyi ikuku abụghịzi ihe a na-atụle nke abụọ—ọ bụ isi ihe dị mkpa na injinia usoro.
1. Isi Iyi Mmiri Dị Ka Mmalite nke Nhazi Ihe Nkiri
Na sistemu evaporation okpomọkụ, isi iyi evaporation na-arụ ọrụ dị ka isi mmalite nke vapor flux, na-ekpebi ozugbo:
Nkwụsi ike nke ọnụego uzuoku
Nkesa akụkụ nke ụdị anụmanụ ndị a na-ekupụ apụ
Nkesa ike nke ihe ndị na-ekuru uzuoku
Nkwụsi ike nwa oge nke mmepụta ihe
Enweghị ike ma ọ bụ mmachi nhazi ọ bụla n'ọkwa isi mmalite ga-agbasa n'oge usoro ntinye ihe niile, na-apụta dịka mgbanwe ọkpụrụkpụ ihe nkiri, njikọ na-adịghị mma, ma ọ bụ ntụpọ microstructural.
2. Nhazi ihe owuwu na nkwụsi ike nke ikuku na-efe efe
2.1 Nha nhata okpomọkụ na nnyefe okpomọkụ
Ebe e si ekpofu ihe nke ọma mee ka okpomọkụ kesaa n'otu ebe n'elu ihe e ji ekpofu ihe. Okpomọkụ na-adịghị mma nwere ike ibute oke okpomọkụ n'ógbè, ịgbụpụ ihe, ma ọ bụ mmebi tupu oge eruo, nke na-eduga na:
Ọnụego nkwụnye ego na-agbanwe agbanwe
Mmetọ nke ihe ndị dị ndụ
Mmụba nke elu
Usoro nhazi nke isi mmalite kachasị mma, yana ihe ndị kwesịrị ekwesị maka ịkụnye ihe na nhazi ihe na-ekpo ọkụ, na-enyere aka ịnọgide na-enwe uzuoku kwụsiri ike n'oge usoro mkpuchi ogologo.
2.2 Nri na arụmọrụ ojiji ihe
Ihe ndị a na-atụle dịka nhazi ihe dị iche iche, omimi nke ihe e ji ebu ibu, na nhazi uzuoku na-emetụta arụmọrụ ojiji ihe ndị a. Isi mmalite ndị a na-anaghị emepụta nke ọma nwere ike ịkpata nsogbu:
Mmiri na-ezughị ezu nke ihe onwunwe
Mkpọpụta na mgbanwe n'ime isi iyi ahụ
Mbelata mkpụrụ mkpuchi na ọnụ ahịa ọrụ dị elu
Isi iyi ikuku kachasị mma na-eme ka oriri ihe a na-achịkwa na omume a na-atụ anya itinye n'ime ya, nke dị mkpa maka mmepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
3. Nkesa Vapor Flux na Nha nhata nke ihe nkiri
3.1 Nhazi na Nkesa Akụkụ
Mmekọrịta geometric dị n'etiti isi iyi evaporation na substrate na-ekpebi nkesa akụkụ nke ikuku evaporation. Nhazi isi mmalite na-ezighi ezi nwere ike ibute:
Ọkpụrụkpụ ihe nkiri na-abụghị otu nha n'ofe nnukwu mpaghara
Ịdị mkpụmkpụ ma ọ bụ ịdị arọ n'etiti akụkụ
Ọdịdị anya ma ọ bụ ihe ịchọ mma na-adịghị agbanwe agbanwe
A na-emepụta usoro ebe a na-esi amịpụ ihe dị elu iji nye uzuoku kwụsiri ike ma nwee ike ịchịkwa, na-eme ka e nwee otu ebe a na-etinye ihe ọbụladị na ihe ndị dị mgbagwoju anya ma ọ bụ akụkụ atọ.
3.2 Mmekọrịta ya na mmegharị ihe ndị dị n'okpuru ala
N'ime sistemụ mkpuchi nke oge a, a ga-ejikọta nhazi isi iyi ikuku na ntụgharị nke ihe ndị dị n'okpuru ala, mmegharị mbara ala, ma ọ bụ usoro njem kwụ ọtọ. Ebumnuche bụ inweta ọkpụrụkpụ na nhazi ihe nkiri na-adịgide adịgide n'ofe ihe niile dị n'elu ala, n'agbanyeghị ọnọdụ ha n'ime ụlọ ahụ.
4. Mmetụta na Microstructure na Nrapado nke ihe nkiri
Isi iyi nke uzuoku na-emetụta usoro ihe nkiri ahụ n'ụzọ na-apụtaghị ìhè site n'ịchịkwa ike kinetic na ọnụego mbata nke uzuoku. Ọnọdụ uzuoku kwụsiri ike na-eso eme ka:
Nhazi ihe nkiri dị oke arọ
Mbelata ntụpọ uto columnar
Njikọ ihu ka mma
N'ọrụ dịka mkpuchi oriọna ụgbọala ma ọ bụ ihe mkpuchi nchebe, ebe njikọta na ịdịte aka dị oke mkpa, isi iyi ikuku nke ọma dị mkpa iji nweta arụmọrụ a pụrụ ịtụkwasị obi.
5. Mmeghachi omume na ntụkwasị obi nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe
Site n'echiche ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ịdị mma mkpuchi ga-abụrịrị nke a pụrụ imegharị, nke a pụrụ ịtụ anya ya, na nke a pụrụ ịchịkwa. Ọdịdị ebe uzuoku na-esi apụta nke na-enwe nsogbu mgbanwe, okpomọkụ na-adịghị agbanwe agbanwe, ma ọ bụ ihe ndị e ji mee ihe ga-ebute mgbanwe usoro ka oge na-aga.
Nhazi isi iyi ikuku dị elu na-elekwasị anya na:
Ịkwụsi ike n'usoro ogologo oge
Mfe nke mmezi na nnọchi ihe onwunwe
Arụmọrụ na-adịgide adịgide n'ọtụtụ usoro mmepụta
Ihe ndị a na-emetụta kpọmkwem oge ọrụ akụrụngwa, ọnụego mmepụta, na ọnụ ahịa zuru oke nke nwe.
6. Mmechi
N'ime sistemu mkpuchi ikuku nke dabere na okpomọkụ, isi iyi ikuku karịrị ihe eji ejide ihe ma ọ bụ ihe na-ekpo ọkụ. Ọ bụ ihe dị mkpa na-akọwapụta usoro nke na-emetụta kpọmkwem ịdị mma nke ihe nkiri, nkwụsi ike mmepụta, na ntụkwasị obi nke mkpuchi.
Ka teknụzụ mkpuchi na-agbanwe gaa n'ọrụ dị elu na nnabata siri ike, nhazi nke usoro isi iyi ikuku aghọọla ihe dị oke mkpa. Maka ndị nrụpụta na-achọ ihe nkiri dị gịrịgịrị na-agbanwe agbanwe na ngwa ndị siri ike, itinye ego na nhazi isi iyi ikuku ekpo ọkụ kachasị mma abụghị nhọrọ - ọ dị mkpa.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụ onye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Jenụwarị-16-2026