ZCL1417

Thiết bị này có cấu trúc cửa đôi thẳng đứng. Đây là thiết bị tổng hợp tích hợp công nghệ phủ màng bằng phương pháp phún xạ magnetron DC, công nghệ phủ màng bằng phương pháp bay hơi điện trở, công nghệ phủ màng CVD và hệ thống làm sạch ion tần số trung bình. Thiết bị này phù hợp với việc chuyển đổi quy trình sản xuất sản phẩm phức tạp của khách hàng. Quá trình sản xuất màng kim loại và màng bảo vệ có thể được hoàn thành trong buồng chân không cùng một lúc để ngăn ngừa ô nhiễm quy trình thứ cấp.