Wakuum içerki örtük, üznüksiz, ýokary öndürijilikli gurşaw üçin döredilen örtük ulgamynyň ösen görnüşidir. Aýry-aýry toparlarda substratlary gaýtadan işleýän partiýa örtüklerinden tapawutlylykda, içerki örtükler substratlara örtük prosesiniň dürli etaplarynda yzygiderli hereket etmäge mümkinçilik berýär. Wakuum içerki örtüginiň işleýşine we ulanylyşyna jikme-jik serediň:
Esasy komponentler we amal
Stansiýalary ýüklemek / düşürmek: Substratlar başda ulgama ýüklenýär we ahyrynda düşürilýär. Geçirijiligini ýokarlandyrmak üçin bu awtomatlaşdyrylyp bilner.
Ulag ulgamy: konweýer ýa-da şuňa meňzeş mehanizm substratlary örtük prosesiniň dürli etaplaryndan geçirýär.
Wakuum kameralary: Palto birnäçe birikdirilen vakuum kameralaryndan ybarat bolup, hersi örtük prosesiniň belli bir bölegine bagyşlanýar. Bu otaglar arassa we gözegçilikde saklanmagy üpjün etmek üçin ýokary vakuumda saklanýar.
Bejerginiň deslapky stansiýalary: Hapalaýjylary aýyrmak we üstüni örtmek üçin substratlar arassalamak ýa-da arassalamak stansiýalaryndan geçip biler.
Tüýkürmek ýa-da bugarmak stansiýalary: Bu stansiýalar hakyky örtügiň ýüze çykýan ýeri. Tüweleý nyşanlary ýa-da bugarmak çeşmeleri islenýän materialy substratlara goýmak üçin ulanylýar.
Sowadyjy stansiýalar: Örtükden soň inçe filmiň durnuklylygyny we ýelmeşmegini üpjün etmek üçin substratlary sowatmak zerur bolup biler.
Barlag we hil gözegçiligi: Hakyky wagtda gözegçilik we gözden geçirmek üçin toplumlaýyn ulgamlar örtükleriň zerur talaplara laýyk gelmegini üpjün edýär.
Üstünlikleri
Throughokary geçiş: Üznüksiz gaýtadan işlemek köp mukdarda substratlary çalt örtmäge mümkinçilik berýär.
Iformeke-täk örtükler: Depolýasiýa prosesine takyk gözegçilik birmeňzeş we ýokary hilli inçe filmlere getirýär.
Göwrümliligi: Uly önümçilik üçin amatly, önümçilik goşundylary üçin amatly.
Köpdürlüligi: metallar, oksidler we nitridler ýaly köp sanly material goýmak üçin ulanylyp bilner.
Goýmalar
Ondarymgeçiriji önümçiligi: Integrirlenen zynjyrlaryň önümçiliginde dürli gatlaklary goýmak üçin ulanylýar.
Fotowoltaik öýjükleri: Gün netijeliligi üçin materiallary örtmek, olaryň netijeliligini ýokarlandyrmak.
Optiki örtükler: Anti-şöhlelendiriji örtükleri, aýnalary we linzalary öndürmek.
Gaplamak: Çeýe gaplama materiallaryna barýer örtüklerini ulanmak.
Ekran tehnologiýasy: LCD, OLED we beýleki görnüşli displeýlerde ulanylýan substratlaryň örtügi.
Wakuum içerki örtükler yzygiderli häsiýetli ýokary hilli inçe filmleri talap edýän pudaklar üçin zerurdyr we häzirki zaman önümçilik işlerinde möhüm rol oýnaýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Iýul-12-2024