Вакуум дотор бүрэх бүрэгч нь тасралтгүй, өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлийн орчинд зориулагдсан дэвшилтэт төрлийн бүрэх систем юм. Субстратыг тусдаа бүлгээр боловсруулдаг багц бүрэх бүрэгчээс ялгаатай нь дотор бүрэх бүрэгч нь субстратыг бүрэх үйл явцын янз бүрийн үе шатаар тасралтгүй хөдөлгөх боломжийг олгодог. Вакуум дотор бүрэх бүрэгч хэрхэн ажилладаг болон түүний хэрэглээний талаар дэлгэрэнгүй авч үзье.
Гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд ба үйл явц
Ачаалах/Буулгах станцууд: Суурь материалыг эхэнд нь системд ачаалж, төгсгөлд нь буулгадаг. Үүнийг нэвтрүүлэх чадварыг нэмэгдүүлэхийн тулд автоматжуулж болно.
Тээврийн систем: Конвейер эсвэл үүнтэй төстэй механизм нь субстратыг бүрэх үйл явцын янз бүрийн үе шатуудаар дамжуулдаг.
Вакуум камер: Бүрэгч нь бүрэх процессын тодорхой хэсэгт зориулагдсан хэд хэдэн холбогдсон вакуум камеруудаас бүрдэнэ. Эдгээр камеруудыг цэвэр, хяналттай тунадасжуулалтыг хангахын тулд өндөр вакуум дор байлгадаг.
Урьдчилан боловсруулах станцууд: Бохирдлыг арилгах, гадаргууг бүрэх ажилд бэлтгэхийн тулд суурь материалыг цэвэрлэх эсвэл сийлэх станцуудаар дамжуулж болно.
Шүрших буюу Ууршуулах Станцууд: Эдгээр станцууд нь жинхэнэ бүрхүүл явагддаг газар юм. Хүссэн материалыг суурь дээр байрлуулахын тулд шүрших бай буюу ууршуулах эх үүсвэрийг ашигладаг.
Хөргөх станцууд: Бүрээсний дараа нимгэн хальсны тогтвортой байдал болон наалдацыг хангахын тулд суурь материалыг хөргөх шаардлагатай байж магадгүй.
Хяналт шалгалт ба чанарын хяналт: Бодит цагийн хяналт, шалгалтын нэгдсэн системүүд нь бүрхүүл нь шаардлагатай техникийн үзүүлэлтүүдийг хангаж байгааг баталгаажуулдаг.
Давуу талууд
Өндөр бүтээмж: Тасралтгүй боловсруулалт нь их хэмжээний субстратыг хурдан бүрэх боломжийг олгодог.
Жигд бүрхүүл: Тунадасжуулах үйл явцыг нарийн хянах нь жигд, өндөр чанартай нимгэн хальс үүсгэдэг.
Өргөтгөх чадвар: Том хэмжээний үйлдвэрлэлд тохиромжтой тул үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд тохиромжтой.
Олон талт байдал: Металл, исэл, нитрид зэрэг олон төрлийн материалыг тунадасжуулахад ашиглаж болно.
Аппликейшнүүд
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл: Интеграл хэлхээ үйлдвэрлэхэд янз бүрийн давхаргыг хуримтлуулахад ашигладаг.
Фотоволтайк эсүүд: Нарны хавтангийн үр ашгийг нэмэгдүүлэхийн тулд материалыг бүрэх.
Оптик бүрхүүл: Гэрэл тусгалаас хамгаалах бүрхүүл, толь, линз үйлдвэрлэх.
Сав баглаа боодол: Уян хатан сав баглаа боодлын материалд саад тотгорын бүрхүүл түрхэх.
Дэлгэцийн технологи: LCD, OLED болон бусад төрлийн дэлгэцүүдэд ашигладаг суурь гадаргууг бүрэх.
Вакуум доторлогоотой бүрэгч нь тогтвортой шинж чанартай өндөр чанартай нимгэн хальс шаарддаг үйлдвэрүүдэд зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд орчин үеийн үйлдвэрлэлийн процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 7-р сарын 12