Пӯшиши вакуумӣ як навъи пешрафтаи системаи пӯшиш аст, ки барои муҳитҳои истеҳсолии пайваста ва баландсифат тарҳрезӣ шудааст. Бар хилофи рӯйпӯшкунакҳои партиявӣ, ки субстратҳоро дар гурӯҳҳои алоҳида коркард мекунанд, рӯйпӯшкунакҳои дохилихаттӣ ба субстратҳо имкон медиҳанд, ки дар марҳилаҳои гуногуни раванди рӯйпӯшкунӣ пайваста ҳаракат кунанд. Дар ин ҷо шарҳи муфассали тарзи кори рӯйпӯшкунаки дохилихати вакуумӣ ва татбиқи он оварда шудааст:
Ҷузъҳои асосӣ ва раванд
Истгоҳҳои боркунӣ/борфарорӣ: Субстратҳо дар аввал ба система бор карда мешаванд ва дар охир борфарорӣ карда мешаванд. Инро барои афзоиши иқтидори боркунӣ автоматӣ кардан мумкин аст.
Системаи интиқол: Конвейер ё механизми монанд субстратҳоро тавассути марҳилаҳои гуногуни раванди рӯйпӯшкунӣ ҳаракат медиҳад.
Камераҳои вакуумӣ: Рӯйпӯшкунанда аз якчанд камераҳои вакуумии пайвастшуда иборат аст, ки ҳар кадоме барои қисми мушаххаси раванди рӯйпӯшкунӣ пешбинӣ шудаанд. Ин камераҳо дар зери вакууми баланд нигоҳ дошта мешаванд, то таҳшиншавии тоза ва назоратшавандаро таъмин кунанд.
Истгоҳҳои коркарди пешакӣ: Субстратҳо метавонанд аз истгоҳҳои тозакунӣ ё кандакорӣ гузаранд, то ифлоскунандаҳоро тоза кунанд ва сатҳро барои пӯшиш омода кунанд.
Истгоҳҳои пошидан ё бухоркунӣ: Ин истгоҳҳо ҷое мебошанд, ки пӯшиши воқеӣ ба амал меояд. Ҳадафҳои пошидан ё манбаъҳои бухоркунӣ барои гузоштани маводи дилхоҳ ба зеризаминӣ истифода мешаванд.
Истгоҳҳои хунуккунӣ: Пас аз пӯшиш, барои таъмини устуворӣ ва часпиши плёнкаи тунук, субстратҳоро хунук кардан лозим аст.
Санҷиш ва назорати сифат: Системаҳои ҳамгирошуда барои мониторинг ва санҷиши вақти воқеӣ кафолат медиҳанд, ки пӯшишҳо ба мушаххасоти зарурӣ мувофиқат мекунанд.
Бартариҳо
Иқтидори баланди коркард: Коркарди пайваста имкон медиҳад, ки миқдори зиёди субстратҳо зуд пӯшонида шаванд.
Рӯйпӯшҳои якхела: Назорати дақиқи раванди таҳшинкунӣ боиси пайдоиши плёнкаҳои тунуки якхела ва босифат мегардад.
Миқёспазирӣ: Барои истеҳсоли миқёси калон мувофиқ аст, ки онро барои барномаҳои саноатӣ беҳтарин мегардонад.
Имконияти истифода: Барои ҷойгир кардани доираи васеи маводҳо, аз ҷумла металлҳо, оксидҳо ва нитридҳо истифода бурдан мумкин аст.
Барномаҳо
Истеҳсоли нимноқилҳо: Барои гузоштани қабатҳои гуногун дар истеҳсоли схемаҳои интегралӣ истифода мешавад.
Ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ: Пӯшонидани маводҳо барои панелҳои офтобӣ барои баланд бардоштани самаранокии онҳо.
Пӯшишҳои оптикӣ: Истеҳсоли рӯйпӯшҳои зиддиинъикосӣ, оинаҳо ва линзаҳо.
Бастабандӣ: Истифодаи рӯйпӯшҳои монеакунанда ба маводҳои бастабандии чандир.
Технологияи намоиш: Пӯшонидани субстратҳо, ки дар LCD, OLED ва дигар намудҳои дисплейҳо истифода мешаванд.
Пӯшишҳои дохилии вакуумӣ барои соҳаҳое, ки ба плёнкаҳои тунуки баландсифат бо хосиятҳои якхела ниёз доранд, муҳиманд ва онҳо дар равандҳои истеҳсолии муосир нақши муҳим мебозанд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 12 июли соли 2024