Lits'ebetsong tsa ho beoa ha vacuum, ho khomarela filimi ke e 'ngoe ea liparamente tsa bohlokoa ka ho fetisisa tse susumetsang ts'ebetso ea sehlahisoa le ts'epo. Ebang ke liphahlong tse khabisitsoeng, lifiliming tse sebetsang, kapa lits'ebetsong tse nepahetseng tsa mahlo le tsa elektroniki, ho khomarela ho matla pakeng tsa phahlo le substrate ho bohlokoa bakeng sa ho netefatsa botsitso ba nako e telele. Empa ho koahela vacuum ho ama ho khomarela joang hantle? Mekhoa ea motheo le lintlha tsa bohlokoa tse susumetsang ke life? Sengoloa sena se fana ka kakaretso ea tekheniki e hlophisitsoeng.
1. Ho Khomarela Filimi ke Eng?
Ho khomarela filimi ho bolela matla a ho kopana pakeng tsa filimi e tšesaane le bokaholimo ba substrate. Ho khomarela ho sa lekaneng ho ka lebisa ho aroloeng ha lesela, ho petsoha, kapa ho phatloha ha matheba, e leng se behang boleng ba ho tšoarella le botle ba sehlahisoa kotsing. Ho aroloeng ha vacuum, ho khomarela ha ho akarelletse feela ho khomarela 'meleng (matla a van der Waals), empa hape le ho sebelisana ha matla a bokaholimo, sebopeho sa sebopeho, bongata ba filimi le matla a ho aroloa.
2. Mekhoa eo ka eonaSekoahelo sa lephakaLitšusumetso tsa ho Khomarela
2.1 Bohloeki le Ts'ebetso ea Bokaholimo ba Sebaka
Ditshila dife kapa dife tse hodima bokahodimo ba substrate—tse kang lerōle, di-oxide, kapa masalla a tlhaho—di ka fokotsa ho kgomarela ha filimi haholo. Bongata ba ditsamaiso tsa ho kwahela ka vacuum di na le di-module tsa ho hlwekisa ka plasma kapa tsa ho hlwekisa ka thuso ya mahlasedi a ion. Ditsamaiso tsena di sebedisa ho phatloha ha ion ka matla a mangata ho tlosa ditshila tsa bokahodimo ka katleho le ho kenya tshebetsong substrate, ka hona di ntlafatsa matla a ho kopanya sebopeho.
2.2 Matla a ho Aroloa le Kinetics ea Likaroloana
Matla a kinetic a mofuta o kentsweng a fapana ho ya ka mokhoa wa ho bewa. Ho sputtering ya magnetron, diathomo tse sputtering di na le matla a phahameng a kinetic, e leng se nolofalletsang ho hokahana ha athomo le ho hokellana ha sebopeho, e leng se ntlafatsang haholo ho kgomarela ha mechini pakeng tsa filimi le substrate. Ka lehlakoreng le leng, mouoane wa mocheso o hlahisa dikarolwana tse nang le matla a tlase, hangata di fellang ka matla a tlase a ho kgomarela.
2.3 Ho lumellana ha mocheso le khatello ea maikutlo
Mocheso oa ho boloka le ho se lumellane ha katoloso ea mocheso pakeng tsa filimi le substrate le tsona li ka ama ho khomarela. Mocheso o phahameng haholo oa ho boloka kapa khatello ea mocheso e bokellaneng e ka lebisa ho qheleng ka thoko ha ho pholile. Sena se ka fokotsoa ka ho ntlafatsa ts'ebetso kapa ho hlahisa mekhahlelo ea buffer e hlophisitsoeng ho fokotsa khatello ea interfacial.
2.4 Botebo ba Filimi le Taolo e Phethahetseng ea Liphoso
Liaparo tse teteaneng, tse se nang masoba a pinnete li thibela ka katleho ho kena ha mongobo le lik'hemik'hale, ka hona li ntlafatsa ho khomarela ha nako e telele. Mekhoa e tsoetseng pele joalo ka Ion-Assisted Deposition (IAD) kapa High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) e ka ntlafatsa haholo bongata ba filimi le ho khothaletsa botsitso bo phahameng ba ho kopanya sebopeho.
3. Mekhoa e Tloaelehileng ea ho Ntlafatsa Khomarelo
Mekhoa ea pele ho kalafo: Ho phatloha ha mahlaseli a ion, ho hloekisa plasma, ho futhumatsa substrate bakeng sa ho ntša khase.
Moralo oa Mealo e Kopaneng: Kenyelletso ea mealo e khothalletsang ho khomarela (mohlala, Cr, Si, Ti) lipakeng tsa substrate le lifilimi tse sebetsang.
Ntlafatso ea Ts'ebetso: Taolo e hlokolosi ea sekhahla sa ho beha, khatello ea ts'ebetso, le motlakase oa sepheo ho netefatsa tikoloho e tsitsitseng le e ts'oanang ea plasma.
Boenjiniere ba ho Bea Mealo e Mengata: Tšebeliso ea meaho e nang le mekhahlelo ho laola khatello ea ka hare le tsitsipano ea sebopeho lifiliming tse fapaneng.
4. Litlhoko tsa ho khomarela liindastering tsa bohlokoa
Liaparo tsa Ka Hare tsa Likoloi: E tlameha ho feta litekong tse matla tse kenyeletsang mongobo o phahameng, potoloho ea mocheso, le litšitiso tsa mocheso, tse hlokang ts'epo e ikhethang ea ho khomarela.
Liaparo tsa Optical: Esita le ho qhelelana hanyane feela ho ka senya ho hlaka le ho nepahala ha optical lipontšong le likarolong tsa laser.
Lifilimi tse Sebetsang tsa Elektroniki: Ho khomarela hantle ho netefatsa botšepehi ba sebopeho le ts'ebetso e tsitsitseng ea motlakase, ho thibela mathata a kang ho phahamisa filimi kapa ho hloleha ha potoloho.
Ho koaheloa ka vacuum ho na le tšusumetso e kholo ts'ebetsong ea ho khomarela ha lifilimi tse tšesaane. Ntlha ea bohlokoa e ho ntlafatso ea ts'ebetso ea pele ho kalafo, matla a ho beha, sebopeho sa filimi, le boenjiniere ba sebopeho. Bakeng sa bahlahisi ba ikemiselitseng ho koahela ka boleng bo holimo le bo tšepahalang, ho khothaletsoa ho amohela litsamaiso tse tsoetseng pele tsa ho beha ka vacuum tse nang le theknoloji e thusoang ke ion le taolo ea likaroloana tse nang le matla a mangata, ho netefatsa ts'ebetso ea filimi le ho khomarela ho matla.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Phuptjane-30-2025