Hauv cov txheej txheem nqus tsev, kev nplaum zaj duab xis yog ib qho tseem ceeb tshaj plaws uas cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov khoom thiab kev ntseeg tau. Txawm hais tias nyob rau hauv cov txheej txheem kho kom zoo nkauj, cov yeeb yaj kiab ua haujlwm, lossis cov ntawv thov kho qhov muag thiab hluav taws xob siab, kev nplaum zoo ntawm cov txheej txheem thiab cov khoom siv hauv qab yog qhov tseem ceeb rau kev ua kom ruaj khov mus sij hawm ntev. Tab sis cov txheej txheem nqus tsev cuam tshuam li cas rau kev nplaum? Dab tsi yog cov txheej txheem hauv qab thiab cov yam tseem ceeb uas cuam tshuam? Tsab xov xwm no muab cov lus qhia txog kev siv tshuab.
1. Zaj duab xis nplaum yog dab tsi?
Kev nplaum zaj duab xis yog hais txog lub zog ntawm kev sib txuas ntawm zaj duab xis nyias thiab qhov chaw ntawm lub substrate. Kev nplaum tsis txaus tuaj yeem ua rau delamination, tawg, lossis blistering ntawm lub txheej, ua rau puas tsuaj rau ob qho tib si lub zog thiab qhov zoo nkauj ntawm cov khoom. Hauv kev tso dej hauv lub tshuab nqus tsev, kev nplaum tsis yog tsuas yog kev nplaum lub cev (van der Waals forces), tab sis kuj tseem muaj kev sib cuam tshuam ntawm lub zog ntawm qhov chaw, kev sib txuas morphology, qhov ceev ntawm zaj duab xis, thiab lub zog tso dej.
2. Cov txheej txheem los ntawm uasTxheej Tshuab Nqus TsevKev cuam tshuam rau kev nplaum
2.1 Kev Huv Si thiab Kev Ua Kom Nto Zoo
Tej yam tsis huv ntawm qhov chaw ntawm lub substrate—xws li plua plav, oxides, lossis cov organic residues—tuaj yeem txo qhov kev nplaum ntawm zaj duab xis. Feem ntau cov tshuab nqus tsev muaj cov plasma cleaning lossis ion beam-assisted cleaning modules. Cov tshuab no siv cov ion bombardment muaj zog heev los tshem tawm cov khoom tsis huv ntawm qhov chaw thiab ua kom lub substrate ua haujlwm, yog li txhim kho lub zog sib txuas ntawm interface.
2.2 Lub Zog Tso Tawm thiab Kev Ua Si ntawm Cov Khoom Me Me
Lub zog kinetic ntawm cov hom tso tawm sib txawv nrog cov txheej txheem tso tawm. Hauv magnetron sputtering, cov atoms sputtered muaj lub zog kinetic siab, ua rau atomic interlocking thiab interface entanglement, uas ua rau muaj kev sib txuas ntawm cov zaj duab xis thiab substrate. Qhov sib txawv, thermal evaporation tsim cov khoom me me uas tsis muaj zog, feem ntau ua rau lub zog adhesion qis dua.
2.3 Kev Sib Piv ntawm Kub thiab Kev Nyuaj Siab
Qhov kub ntawm cov zaj duab xis thiab qhov sib txawv ntawm cov thermal expansion ntawm zaj duab xis thiab cov substrate kuj tseem tuaj yeem cuam tshuam rau kev nplaum. Qhov kub ntawm cov zaj duab xis siab dhau lossis kev ntxhov siab thermal uas tau sib sau ua ke yuav ua rau muaj kev sib cais thaum txias. Qhov no tuaj yeem txo tau los ntawm kev ua kom zoo dua qub lossis kev qhia txog cov txheej txheem buffer kom txo tau kev ntxhov siab ntawm cov interfacial.
2.4 Kev Tswj Xyuas Qhov Ceev ntawm Zaj Duab Xis thiab Qhov Tsis Zoo
Cov txheej txheem tuab thiab tsis muaj qhov pinhole zoo tiv thaiv kev nkag mus ntawm cov dej noo thiab cov tshuaj lom neeg, yog li txhim kho kev sib txuas mus ntev. Cov txheej txheem siab heev xws li Ion-Assisted Deposition (IAD) lossis High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) tuaj yeem ua rau cov zaj duab xis ntom ntom dua thiab txhawb kev ruaj khov ntawm kev sib txuas interface.
3. Cov Txheej Txheem Siv Los Txhim Kho Kev Sib Txuas Lus
Cov Txheej Txheem Ua Ntej: Ion beam bombardment, plasma cleaning, substrate cua sov rau degassing.
Tsim Cov Txheej Txheem Sib Txuas: Kev Taw Qhia Txog Cov Txheej Txheem Txhawb Kev Sib Txuas (piv txwv li, Cr, Si, Ti) ntawm cov substrate thiab cov yeeb yaj kiab ua haujlwm.
Kev Txhim Kho Cov Txheej Txheem: Kev tswj hwm tus nqi tso tawm, kev ua haujlwm siab, thiab lub hom phiaj hluav taws xob kom ntseeg tau tias muaj ib puag ncig plasma ruaj khov thiab sib xws.
Kev Tsim Kho Multilayer Stack: Siv cov qauv txheej txheem los tswj kev ntxhov siab sab hauv thiab kev sib txuas ntawm cov yeeb yaj kiab sib txawv.
4. Cov Kev Cai Rau Kev Sib Txuas Lus Hauv Cov Lag Luam Tseem Ceeb
Cov Tshuaj Pleev Xim Sab Hauv Tsheb: Yuav tsum dhau qhov kev sim hnyav uas cuam tshuam nrog cov av noo siab, kev hloov pauv thermal, thiab kev hloov pauv kub, uas xav tau kev ntseeg siab zoo heev.
Cov Txheej Txheem Optical: Txawm tias qhov me me ntawm cov khoom tawg kuj tuaj yeem ua rau qhov pom tseeb thiab qhov tseeb ntawm cov khoom tso tawm thiab cov khoom siv laser tsis zoo.
Cov Yeeb Yaj Kiab Ua Haujlwm Hluav Taws Xob: Kev nplaum zoo ua kom muaj kev ruaj khov ntawm cov qauv thiab kev ua haujlwm hluav taws xob ruaj khov, tiv thaiv cov teeb meem xws li kev tsa zaj duab xis lossis kev ua haujlwm tsis ua haujlwm ntawm lub voj voog.
Kev txheej txheej nqus tsev muaj feem cuam tshuam loj heev rau kev ua tau zoo ntawm cov zaj duab xis nyias. Qhov tseem ceeb yog nyob rau hauv kev sib koom ua ke ntawm cov txheej txheem ua ntej kho, lub zog tso tawm, cov qauv zaj duab xis, thiab kev tsim kho interface. Rau cov chaw tsim khoom uas tsom mus rau cov txheej txheem zoo, muaj kev ntseeg siab, nws raug pom zoo kom siv cov txheej txheem nqus tsev siab heev nrog cov thev naus laus zis pab ion thiab kev tswj hwm cov khoom me me uas muaj zog, kom ntseeg tau tias ob qho tib si ua haujlwm ntawm zaj duab xis thiab kev nplaum ruaj khov.
— Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawm cov khoom siv nqus tsev txheejChaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Rau Hli-30-2025