ຜົນກະທົບຂອງການເຄືອບສູນຍາກາດຕໍ່ການຍຶດຕິດຂອງຟິມ

ໃນຂະບວນການວາງຊັ້ນໃນສູນຍາກາດ, ການຍຶດຕິດຂອງຟິມແມ່ນໜຶ່ງໃນຕົວກໍານົດທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດທີ່ມີອິດທິພົນຕໍ່ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການເຄືອບຕົກແຕ່ງ, ຟິມທີ່ໃຊ້ງານໄດ້, ຫຼື ການນຳໃຊ້ທາງດ້ານແສງ ແລະ ເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ການຍຶດຕິດທີ່ເຂັ້ມແຂງລະຫວ່າງການເຄືອບ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນແມ່ນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ. ແຕ່ການເຄືອບສູນຍາກາດມີຜົນກະທົບຕໍ່ການຍຶດຕິດແນວໃດ? ກົນໄກພື້ນຖານ ແລະ ປັດໄຈທີ່ມີອິດທິພົນທີ່ສໍາຄັນແມ່ນຫຍັງ? ບົດຄວາມນີ້ໃຫ້ພາບລວມດ້ານວິຊາການຢ່າງເປັນລະບົບ.

1. ການຍຶດຕິດຂອງຟິມແມ່ນຫຍັງ?
ການຍຶດຕິດຂອງຟິມໝາຍເຖິງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຟິມບາງໆ ແລະ ໜ້າຜິວຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ການຍຶດຕິດທີ່ບໍ່ພຽງພໍສາມາດນໍາໄປສູ່ການແຍກອອກ, ການແຕກ, ຫຼື ການເປັນຕຸ່ມຂອງຊັ້ນເຄືອບ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ທັງຄວາມທົນທານ ແລະ ຄຸນນະພາບຄວາມງາມຂອງຜະລິດຕະພັນຫຼຸດລົງ. ໃນການວາງຊັ້ນໃນສູນຍາກາດ, ການຍຶດຕິດບໍ່ພຽງແຕ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຍຶດຕິດທາງກາຍະພາບ (ແຮງ van der Waals), ແຕ່ຍັງກ່ຽວຂ້ອງກັບການພົວພັນກັນຂອງພະລັງງານໜ້າຜິວ, ຮູບຮ່າງຂອງການໂຕ້ຕອບ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ, ແລະ ພະລັງງານວາງຊັ້ນ.

2. ກົນໄກທີ່ການເຄືອບສູນຍາກາດມີອິດທິພົນຕໍ່ການຍຶດຕິດ
2.1 ຄວາມສະອາດຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ການກະຕຸ້ນ
ສິ່ງປົນເປື້ອນໃດໆຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ - ເຊັ່ນ: ຝຸ່ນ, ອົກໄຊ, ຫຼື ສິ່ງເສດເຫຼືອອິນຊີ - ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງຟິມໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຕິດຕັ້ງດ້ວຍໂມດູນເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ ຫຼື ໂມດູນເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍລຳແສງໄອອອນ. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ການຖິ້ມລະເບີດໄອອອນພະລັງງານສູງເພື່ອກຳຈັດສິ່ງສົກກະປົກເທິງໜ້າຜິວຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ກະຕຸ້ນຊັ້ນຮອງພື້ນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດຂອງໜ້າຜິວ.

2.2 ພະລັງງານການຕົກຕະກອນ ແລະ ການເຄື່ອນໄຫວຂອງອະນຸພາກ
ພະລັງງານຈົນຂອງຊະນິດທີ່ຝາກໄວ້ແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມເຕັກນິກການຝາກ. ໃນການສະເປຣດແມກນີຕຣອນ, ອະຕອມທີ່ຖືກສະເປຣດມີພະລັງງານຈົນທີ່ຂ້ອນຂ້າງສູງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການລັອກອະຕອມ ແລະ ການຕິດກັນຂອງໜ້າຜິວ, ເຊິ່ງເສີມຂະຫຍາຍການຍຶດຕິດກົນຈັກລະຫວ່າງຟິມ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນສ້າງອະນຸພາກພະລັງງານຕ່ຳ, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະເຮັດໃຫ້ຄວາມແຮງຂອງການຍຶດຕິດຕ່ຳລົງ.

2.3 ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມຕຶງຄຽດ
ອຸນຫະພູມການວາງຊັ້ນ ແລະ ຄວາມບໍ່ກົງກັນຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຟິມ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນຍັງສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຍຶດຕິດ. ອຸນຫະພູມການວາງຊັ້ນສູງເກີນໄປ ຫຼື ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ສະສົມໄວ້ອາດຈະນໍາໄປສູ່ການແຍກສ່ວນເມື່ອເຮັດໃຫ້ເຢັນລົງ. ສິ່ງນີ້ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນໄດ້ໂດຍການປັບປຸງຂະບວນການ ຫຼື ການແນະນຳຊັ້ນບັຟເຟີທີ່ມີລະດັບເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນລະຫວ່າງໜ້າຜິວ.

2.4 ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ ແລະ ການຄວບຄຸມຂໍ້ບົກຜ່ອງ
ການເຄືອບທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ບໍ່ມີຮູເຂັມຊ່ວຍປ້ອງກັນການຊຶມເຂົ້າຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ແລະ ສານເຄມີຕ່າງໆໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງການຍຶດຕິດໃນໄລຍະຍາວ. ເຕັກນິກທີ່ກ້າວໜ້າເຊັ່ນ: ການວາງອະນຸພາກດ້ວຍໄອອອນ (IAD) ຫຼື ການສະເປຣດແມ່ເຫຼັກຕຣອນພະລັງງານສູງ (HiPIMS) ສາມາດເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ແລະ ສົ່ງເສີມຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການຍຶດຕິດທີ່ດີກວ່າ.

3. ເຕັກນິກທົ່ວໄປເພື່ອປັບປຸງການຍຶດຕິດ
ວິທີການກ່ອນການປິ່ນປົວ: ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍລັງສີໄອອອນ, ການທຳຄວາມສະອາດພລາສມາ, ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແກ່ຊັ້ນໃຕ້ດິນສຳລັບການລະບາຍອາຍແກັສ.

ການອອກແບບຊັ້ນລະຫວ່າງຊັ້ນ: ການນຳສະເໜີຊັ້ນທີ່ສົ່ງເສີມການຍຶດຕິດ (ເຊັ່ນ: Cr, Si, Ti) ລະຫວ່າງຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ຟິມທີ່ໃຊ້ງານໄດ້.

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ: ການຄວບຄຸມອັດຕາການວາງທາດ, ຄວາມດັນໃນການເຮັດວຽກ, ແລະ ແຮງດັນເປົ້າໝາຍຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma ທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ເປັນເອກະພາບ.

ວິສະວະກຳການວາງຊ້ອນກັນຫຼາຍຊັ້ນ: ການນຳໃຊ້ໂຄງສ້າງຫຼາຍຊັ້ນເພື່ອຈັດການຄວາມກົດດັນພາຍໃນ ແລະ ຄວາມເຄັ່ງຕຶງໃນການໂຕ້ຕອບລະຫວ່າງຟີມຕ່າງໆ.

4. ຂໍ້ກຳນົດການຍຶດຕິດໃນອຸດສາຫະກຳທີ່ສຳຄັນ
ການເຄືອບພາຍໃນລົດຍົນ: ຕ້ອງຜ່ານການທົດສອບທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ, ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນການຍຶດຕິດທີ່ດີເລີດ.

ການເຄືອບທາງແສງ: ເຖິງແມ່ນວ່າການແຕກອອກເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຊັດເຈນແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທາງແສງໃນຈໍສະແດງຜົນແລະອົງປະກອບເລເຊີໄດ້.

ຟິມທີ່ເຮັດວຽກດ້ວຍເອເລັກໂຕຣນິກ: ການຍຶດຕິດທີ່ດີຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ ແລະ ປະສິດທິພາບທາງໄຟຟ້າທີ່ໝັ້ນຄົງ, ປ້ອງກັນບັນຫາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຍົກຂອງຟິມ ຫຼື ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງວົງຈອນ.
ການເຄືອບສູນຍາກາດມີອິດທິພົນຢ່າງເລິກເຊິ່ງຕໍ່ປະສິດທິພາບການຍຶດຕິດຂອງຟິມບາງໆ. ກຸນແຈສຳຄັນແມ່ນຢູ່ໃນການເພີ່ມປະສິດທິພາບຮ່ວມກັນຂອງຂັ້ນຕອນການປະຕິບັດກ່ອນ, ພະລັງງານການວາງຊັ້ນ, ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງຟິມ, ແລະວິສະວະກຳການໂຕ້ຕອບ. ສຳລັບຜູ້ຜະລິດທີ່ມຸ່ງເນັ້ນໃສ່ການເຄືອບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສູງ, ແນະນຳໃຫ້ນຳໃຊ້ລະບົບການວາງຊັ້ນສູນຍາກາດທີ່ກ້າວໜ້າດ້ວຍເຕັກໂນໂລຊີຊ່ວຍເຫຼືອດ້ວຍໄອອອນ ແລະ ການຄວບຄຸມອະນຸພາກພະລັງງານສູງ, ຮັບປະກັນທັງການເຮັດວຽກຂອງຟິມ ແລະ ການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ  ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua