танилцуулга:
Дэвшилтэт гадаргуугийн инженерчлэлийн ертөнцөд Физик уурын тунадасжилт (PVD) нь янз бүрийн материалын гүйцэтгэл, бат бөх чанарыг сайжруулах гол арга болж гарч ирж байна. Энэхүү дэвшилтэт техник хэрхэн ажилладаг талаар та бодож үзсэн үү? Өнөөдөр бид PVD-ийн нарийн төвөгтэй механикийг судалж, түүний үйл ажиллагаа болон түүний санал болгож буй ашиг тусын талаар цогц ойлголт өгөх болно. PVD-ийн дотоод үйл ажиллагаа болон янз бүрийн салбарт түүний ач холбогдлыг олж мэдэхийн тулд үргэлжлүүлэн уншина уу.
PVD-г ойлгох нь:
Физик уурын тунадасжилт буюу PVD нь хатуу эх үүсвэрээс гадаргуу руу физик аргаар атом эсвэл молекулуудыг шилжүүлэхийг хамарсан нимгэн хальсан тунадасжуулалтын арга юм. Энэ аргыг металл, хуванцар, керамик гэх мэт янз бүрийн материалын гадаргуугийн шинж чанарыг сайжруулахад өргөн ашигладаг. PVD процессыг вакуум нөхцөлд гүйцэтгэдэг бөгөөд нимгэн хальс үүсэхийг нарийн хянадаг.
PVD үйл явц:
PVD-ийн үйл явцыг бэлтгэх, ууршуулах, тунадасжуулах, ургуулах гэсэн дөрвөн үндсэн үе шатанд ангилж болно. Үе шат бүрийг нарийвчлан авч үзье.
1. Бэлтгэл ажил:
Тунадасжуулах процессыг эхлүүлэхийн өмнө бүрэх материалыг нямбай цэвэрлэдэг. Энэ алхам нь гадаргуу нь наалдалтыг саатуулж болзошгүй тос, исэл давхарга эсвэл гадны хэсгүүд зэрэг бохирдлоос ангид байхыг баталгаажуулдаг. Цэвэр гадаргуу нь өндөр чанартай бүрэх, материалын ашиглалтын хугацааг уртасгахад чухал үүрэгтэй.
2. Ууршилт:
Энэ үе шатанд бүрхүүл үүсгэхэд ашигласан материал буюу эх материал ууршдаг. Эх материалыг вакуум камерт байрлуулж, хяналттай дулааны эсвэл электрон цацрагийн энергид өртүүлдэг. Үүний үр дүнд эх материалын атомууд эсвэл молекулууд ууршиж, урсгал үүсгэдэг.
3. Тунхаглал:
Эх үүсвэрийг ууршуулсны дараа уур нь вакуум камераар дамжин суурь материалын гадаргуу дээр хүрдэг. Үндсэн хэсэг, ихэвчлэн бүрэх материал нь уурын эх үүсвэртэй ойрхон байрладаг. Энэ үед уурын хэсгүүд суурь материалын гадаргуу дээр цохигдож, нимгэн хальс үүсгэдэг.
4. Өсөлт:
Атом эсвэл молекул бүр субстрат дээр буух үед нимгэн хальс аажмаар ургадаг. Энэхүү өсөлтийн үйл явцын динамикийг тунадасжих хугацаа, температур, даралт зэрэг параметрүүдийг тохируулах замаар өөрчилж болно. Эдгээр параметрүүд нь хальсны зузаан, жигд байдал, найрлагыг хянах боломжийг олгодог бөгөөд эцсийн дүнд тодорхой шаардлагыг хангахын тулд тохируулсан шинж чанаруудыг бий болгодог.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 6-р сарын 29