танилцуулга:
Гадаргуугийн дэвшилтэт инженерчлэлийн ертөнцөд физик уурын хуримтлал (PVD) нь янз бүрийн материалын гүйцэтгэл, бат бөх чанарыг сайжруулах гол арга болж байна. Энэ хамгийн сүүлийн үеийн техник хэрхэн ажилладаг талаар та бодож байсан уу? Өнөөдөр бид PVD-ийн нарийн төвөгтэй механикийг судалж, түүний үйл ажиллагаа, түүний давуу талуудын талаар иж бүрэн ойлголт өгдөг. PVD-ийн дотоод үйл ажиллагаа болон түүний янз бүрийн салбар дахь ач холбогдлыг олж мэдэхийн тулд уншина уу.
PVD-ийн тухай ойлголт:
Физик уурын хуримтлалыг PVD гэж нэрлэдэг бөгөөд энэ нь атом эсвэл молекулыг хатуу эх үүсвэрээс гадаргуу руу физик аргаар дамжуулахыг хамарсан нимгэн хальсан хуримтлуулах арга юм. Энэ техникийг металл, хуванцар, керамик гэх мэт төрөл бүрийн материалын гадаргуугийн шинж чанарыг сайжруулахад өргөн ашигладаг. PVD процессыг вакуум нөхцөлд гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь нимгэн хальс үүсэхийг нарийн хянах боломжийг олгодог.
PVD үйл явц:
PVD-ийн үйл явцыг бэлтгэх, ууршуулах, хуримтлуулах, ургуулах гэсэн дөрвөн үндсэн үе шатанд ангилж болно. Үе шат бүрийг нарийвчлан авч үзье.
1. Бэлтгэл:
Тунаах процессыг эхлүүлэхийн өмнө бүрэх материалыг нарийн цэвэрлэгээ хийдэг. Энэ алхам нь гадаргуу нь наалдацанд саад учруулж болзошгүй тос, исэлдлийн давхарга, гадны тоосонцор гэх мэт бохирдуулагч бодисоос ангид байхыг баталгаажуулдаг. Онгон гадаргуу нь өндөр чанартай бүрэх, материалын ашиглалтын хугацааг уртасгахад маш чухал юм.
2. Ууршилт:
Энэ үе шатанд эх материал гэж нэрлэгддэг бүрээсийг бүрдүүлэхэд ашигласан материалыг ууршуулна. Эх материалыг вакуум камерт байрлуулж, хяналттай дулааны эсвэл электрон цацрагийн энергид оруулдаг. Үүний үр дүнд эх материалын атом эсвэл молекулууд ууршиж, урсгал үүсгэдэг.
3. Хадгаламж:
Эх материалыг ууршуулж дууссаны дараа уур нь вакуум танхимаар дамжиж, субстратын гадаргуу дээр хүрдэг. Субстрат, ихэвчлэн бүрэх материал нь уурын эх үүсвэртэй ойрхон байрладаг. Энэ үед уурын хэсгүүд нь субстратын гадаргуу дээр хүрч, нимгэн хальс үүсгэдэг.
4. Өсөлт:
Атом эсвэл молекул бүр субстрат дээр буух тусам нимгэн хальс аажмаар ургадаг. Энэхүү өсөлтийн үйл явцын динамикийг хуримтлуулах хугацаа, температур, даралт зэрэг параметрүүдийг тохируулах замаар удирдаж болно. Эдгээр параметрүүд нь хальсны зузаан, жигд байдал, найрлагыг хянах боломжийг олгодог бөгөөд эцсийн дүндээ тусгай шаардлагад нийцүүлэн тохируулсан шинж чанарыг бий болгодог.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 6-р сарын 29-ний хооронд

