ເຄື່ອງປັ່ນປ່ວນແມ່ເຫຼັກສູນຍາກາດແມ່ນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບການເຄືອບ reactive deposition. ໃນຄວາມເປັນຈິງ, ຂະບວນການນີ້ສາມາດຝາກຮູບເງົາບາງໆຂອງວັດສະດຸ oxide, carbide, ແລະ nitride. ນອກຈາກນັ້ນ, ຂະບວນການຍັງເປັນສະເພາະແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການຝາກຂອງໂຄງສ້າງຮູບເງົາ multilayer, ລວມທັງ opti ...
ອ່ານເພີ່ມເຕີມ