ໃນຂ່າວທີ່ຜ່ານມາ, ເຕັກໂນໂລຢີຊັ້ນສູງຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ໄດ້ເຮັດໃຫ້ຫົວຂໍ້ຂ່າວ. ອຸປະກອນນະວັດຕະກໍາເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ປະຕິວັດການທໍາຄວາມສະອາດພື້ນຜິວ, ສະຫນອງການແກ້ໄຂສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາທີ່ຫລາກຫລາຍລວມທັງການດູແລສຸຂະພາບ, ເອເລັກໂຕຣນິກແລະການຜະລິດ. ມື້ນີ້, ພວກເຮົາຈະຄົ້ນຫາຫຼັກການທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫລັງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma, ເປີດເຜີຍສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ພວກມັນມີເຄື່ອງມືທໍາຄວາມສະອາດພື້ນຜິວທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ແລະເປັນຫຍັງພວກມັນຈຶ່ງດຶງດູດຄວາມສົນໃຈທົ່ວໂລກ.
ຫຼັກການທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫລັງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແມ່ນຮາກຖານຢູ່ໃນວິທະຍາສາດຂອງ plasma, ສະພາບຂອງວັດຖຸທີ່ແຕກຕ່າງຈາກຂອງແຂງ, ທາດແຫຼວ, ແລະທາດອາຍຜິດ. Plasma ມັກຈະຖືກອະທິບາຍວ່າເປັນສະຖານະທີສີ່ຂອງວັດຖຸທີ່ສາມາດຜະລິດໄດ້ໂດຍການສະຫນອງພະລັງງານໃຫ້ກັບອາຍແກັສເພື່ອ ionize ມັນ. ອາຍແກັສ ionized ນີ້ເອີ້ນວ່າ plasma ແລະປະກອບດ້ວຍອະນຸພາກຄິດຄ່າທໍານຽມ, ເອເລັກໂຕຣນິກຟຣີ, ແລະຊະນິດຂອງລັດຕື່ນເຕັ້ນຕ່າງໆ.
ດຽວນີ້, ໃຫ້ພວກເຮົາພິຈາລະນາຢ່າງລະອຽດກ່ຽວກັບວິທີການເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ເຮັດວຽກແລະວິທີການທີ່ພວກມັນໃຊ້ພະລັງງານຂອງ plasma ເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດແລະເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວ. ການເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແມ່ນອີງໃສ່ສອງກົນໄກຕົ້ນຕໍ: ປະຕິກິລິຍາເຄມີແລະການລະເບີດທາງຮ່າງກາຍ.
ປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີເກີດຂື້ນເມື່ອ plasma ເຂົ້າມາພົວພັນກັບຫນ້າດິນທີ່ຈະເຮັດຄວາມສະອາດ. ຊະນິດທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວພາຍໃນ plasma ພົວພັນກັບສິ່ງປົນເປື້ອນ, ທໍາລາຍພັນທະບັດເຄມີຂອງພວກມັນແລະປ່ຽນພວກມັນເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ມີອັນຕະລາຍ. ຂະບວນການນີ້ມີປະສິດທິພາບຫຼາຍໃນການກໍາຈັດສານອິນຊີເຊັ່ນ: ເຊື້ອແບັກທີເຣັຍ, ໄວຣັສ, ແລະຮູບແບບອື່ນໆຂອງການປົນເປື້ອນ, ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ເປັນທາງເລືອກທີ່ດີເລີດສໍາລັບຈຸດປະສົງສຸຂາພິບານ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ກົນໄກການຖິ້ມລະເບີດທາງກາຍະພາບປະກອບດ້ວຍ ion ທີ່ມີພະລັງງານສູງ ແລະອິເລັກໂທຣນິກທີ່ລະເບີດພື້ນຜິວ. ອະນຸພາກເຫຼົ່ານີ້ມີພະລັງງານພຽງພໍທີ່ຈະເອົາອອກເຖິງແມ່ນວ່າອະນຸພາກຂະຫນາດນ້ອຍສຸດທີ່ຕິດກັບຫນ້າດິນ. ການປະຕິບັດນີ້ກໍາຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອ, ຂີ້ຝຸ່ນ, ແລະວັດສະດຸທີ່ບໍ່ຕ້ອງການອື່ນໆທີ່ມັກຈະຍາກທີ່ຈະກໍາຈັດໂດຍໃຊ້ວິທີການທໍາຄວາມສະອາດແບບດັ້ງເດີມ.
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ສະເຫນີຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼາຍຢ່າງຕໍ່ກັບເຕັກໂນໂລຢີທໍາຄວາມສະອາດແບບດັ້ງເດີມ. ຫນ້າທໍາອິດ, ພວກເຂົາເຈົ້າບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງໃຊ້ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມແລະປອດໄພກວ່າສໍາລັບປະຊາຊົນປະຕິບັດອຸປະກອນ. ອັນທີສອງ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແມ່ນມີປະສິດທິພາບຫຼາຍເພາະວ່າ plasma ສາມາດບັນລຸເຖິງພື້ນທີ່ຂະຫນາດນ້ອຍແລະສະລັບສັບຊ້ອນທີ່ສຸດ, ຮັບປະກັນການເຮັດຄວາມສະອາດຢ່າງລະອຽດ. ສຸດທ້າຍ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ກໍາຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂ້າມແລະຮັບປະກັນຄວາມສະອາດແລະສຸຂະອະນາໄມສູງສຸດ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສໍາລັບເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແມ່ນມີຄວາມຫຼາກຫຼາຍແລະກວມເອົາອຸດສາຫະກໍາຫຼາຍ. ໃນການດູແລສຸຂະພາບ, ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຂ້າເຊື້ອເຄື່ອງມືທາງການແພດ, ອຸປະກອນແລະແມ້ກະທັ້ງການຜ່າຕັດ implants. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ຮັບປະກັນຄວາມສະອາດລະດັບສູງສຸດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຕິດເຊື້ອແລະປັບປຸງຄວາມປອດໄພຂອງຄົນເຈັບໂດຍລວມ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ. ວົງຈອນປະສົມປະສານ, ຊິລິໂຄນ wafers ແລະອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆຕ້ອງການຄວາມສະອາດທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ສະຫນອງວິທີການທີ່ບໍ່ມີການທໍາລາຍແລະປະສິດທິພາບທີ່ຈະເອົາອະນຸພາກທີ່ບໍ່ຕ້ອງການແລະສານຕົກຄ້າງອິນຊີອອກຈາກພື້ນຜິວທີ່ລະອຽດອ່ອນເຫຼົ່ານີ້, ປັບປຸງຄຸນນະພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ຫຼັກການທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງການເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແມ່ນມາຈາກວິທະຍາສາດຂອງ plasma ແລະຄຸນສົມບັດທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນ. ການປະສົມປະສານຂອງຕິກິຣິຍາເຄມີແລະການລະເບີດທາງກາຍະພາບເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ສາມາດບັນລຸການທໍາຄວາມສະອາດແລະການຊໍາລະລ້າງຫນ້າດິນທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນ. ດ້ວຍຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກວ້າງຂວາງແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບຈໍານວນຫລາຍ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ຍັງສືບຕໍ່ຢູ່ໃນແຖວຫນ້າຂອງເຕັກໂນໂລຢີທໍາຄວາມສະອາດພື້ນຜິວທີ່ທັນສະໄຫມ. ໃນຂະນະທີ່ໂລກຮັບຮູ້ຄວາມສໍາຄັນຂອງຄວາມສະອາດແລະສຸຂະອະນາໄມ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ຖືກກໍານົດໃຫ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາຈໍານວນຫລາຍ, ປົກປ້ອງສຸຂະພາບຂອງພວກເຮົາແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນແລະການບໍລິການທີ່ພວກເຮົາອີງໃສ່.
ເວລາປະກາດ: ກັນຍາ-25-2023
