Nyob rau hauv cov xov xwm tsis ntev los no, cov thev naus laus zis zoo tshaj plaws ntawm cov tshuab ntxuav plasma tau ua rau muaj xov xwm tseem ceeb. Cov khoom siv tshiab no tau hloov pauv kev ntxuav qhov chaw, muab cov kev daws teeb meem rau ntau yam lag luam suav nrog kev kho mob, khoom siv hluav taws xob thiab kev tsim khoom. Niaj hnub no, peb yuav tshawb nrhiav cov ntsiab cai tom qab cov tshuab ntxuav plasma, nrhiav pom dab tsi ua rau lawv cov cuab yeej ntxuav qhov chaw zoo, thiab vim li cas lawv thiaj li nyiam thoob ntiaj teb.
Cov ntsiab cai tom qab cov tshuaj ntxuav plasma yog lub hauv paus ntawm kev tshawb fawb ntawm plasma, lub xeev ntawm cov khoom uas txawv ntawm cov khoom khov, kua, thiab roj. Plasma feem ntau piav qhia tias yog lub xeev thib plaub ntawm cov khoom uas tuaj yeem tsim los ntawm kev muab lub zog rau cov roj kom ionize nws. Cov roj ionized no hu ua plasma thiab yog tsim los ntawm cov khoom me me, cov electrons dawb, thiab ntau yam hom xeev excited.
Tam sim no, cia peb los saib ze dua seb cov tshuaj ntxuav plasma ua haujlwm li cas thiab lawv siv lub zog ntawm plasma los ntxuav thiab ua kom huv ntawm cov chaw li cas. Kev ntxuav plasma vam khom ob txoj hauv kev tseem ceeb: kev tshuaj lom neeg thiab kev foob pob lub cev.
Thaum cov plasma kov qhov chaw uas yuav tsum tau ntxuav, muaj kev tshuaj lom neeg tshwm sim. Cov tsiaj txhu uas nyob hauv cov plasma sib cuam tshuam nrog cov khoom tsis huv, rhuav tshem lawv cov tshuaj lom neeg thiab hloov lawv mus ua cov khoom tsis muaj teeb meem. Cov txheej txheem no zoo heev rau kev tshem tawm cov organic xws li cov kab mob, cov kab mob, thiab lwm yam khoom tsis huv, ua rau cov tshuaj ntxuav plasma yog qhov kev xaiv zoo heev rau kev ntxuav.
Tsis tas li ntawd xwb, cov txheej txheem foob pob lub cev muaj cov ions muaj zog siab thiab cov hluav taws xob foob pob rau saum npoo. Cov khoom me me no muaj zog txaus los tshem tawm txawm tias cov khoom me me uas txuas rau saum npoo. Qhov kev ua no tshem tawm cov khib nyiab, hmoov av, thiab lwm yam khoom tsis xav tau uas feem ntau nyuaj rau tshem tawm siv cov txheej txheem ntxuav ib txwm muaj.
Cov tshuaj ntxuav plasma muaj ntau qhov zoo dua li cov thev naus laus zis ntxuav ib txwm muaj. Ua ntej, lawv tsis tas yuav siv cov tshuaj lom neeg hnyav, ua rau lawv zoo rau ib puag ncig thiab muaj kev nyab xeeb dua rau cov neeg siv khoom siv. Qhov thib ob, cov tshuab ntxuav plasma muaj txiaj ntsig zoo vim tias cov plasma tuaj yeem ncav cuag txawm tias qhov me tshaj plaws thiab nyuaj tshaj plaws, lav qhov kev ntxuav kom huv si. Thaum kawg, cov tshuaj ntxuav plasma tshem tawm ntau yam khoom qias neeg, txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev sib kis thiab ua kom huv si thiab huv si.
Cov ntawv thov rau cov tshuaj ntxuav plasma muaj ntau yam thiab siv tau rau ntau yam lag luam. Hauv kev kho mob, cov khoom siv no yog siv los tua cov cuab yeej kho mob, cov khoom siv thiab txawm tias cov khoom phais. Cov tshuab ntxuav plasma ua kom muaj kev huv si siab tshaj plaws hauv cov chaw rhiab heev, txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev kis kab mob thiab txhim kho kev nyab xeeb ntawm tus neeg mob.
Tsis tas li ntawd xwb, cov tshuaj ntxuav plasma siv dav hauv kev lag luam hluav taws xob. Cov voj voog sib xyaw, cov wafers silicon thiab lwm yam khoom siv hluav taws xob xav tau kev huv si zoo meej rau kev ua haujlwm zoo tshaj plaws. Cov tshuaj ntxuav plasma muab txoj hauv kev tsis ua puas tsuaj thiab zoo rau kev tshem tawm cov khoom tsis xav tau thiab cov organic residues ntawm cov chaw mos no, txhim kho qhov zoo thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv hluav taws xob.
Xaus lus, cov ntsiab cai tom qab cov tshuaj ntxuav plasma yog los ntawm kev tshawb fawb ntawm plasma thiab nws cov khoom zoo kawg nkaus. Kev sib xyaw ua ke ntawm cov tshuaj lom neeg thiab kev tawm tsam lub cev tso cai rau cov khoom siv no kom ua tiav kev ntxuav thiab kev ntxuav qhov chaw tsis muaj qhov sib piv. Nrog lawv cov kev siv dav dav thiab ntau yam zoo, cov tshuab ntxuav plasma tseem nyob rau pem hauv ntej ntawm cov thev naus laus zis niaj hnub ntxuav qhov chaw. Raws li lub ntiaj teb lees paub qhov tseem ceeb ntawm kev huv thiab kev tu cev, cov tshuab ntxuav plasma tau teeb tsa los ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv ntau yam lag luam, tiv thaiv peb txoj kev noj qab haus huv thiab txhim kho qhov zoo ntawm cov khoom thiab cov kev pabcuam uas peb vam khom.
Lub sijhawm tshaj tawm: Cuaj hlis-25-2023