кіріспе:
Жетілдірілген беттік инженерия әлемінде будың физикалық тұндыру (PVD) әртүрлі материалдардың өнімділігі мен беріктігін арттырудың негізгі әдісі ретінде пайда болады. Сіз бұл озық техниканың қалай жұмыс істейтінін ойлап көрдіңіз бе? Бүгін біз PVD күрделі механикасын зерттеп, оның жұмысы мен оның ұсынатын артықшылықтарын жан-жақты түсінеміз. PVD ішкі жұмысын және оның әртүрлі салалардағы маңыздылығын білу үшін оқыңыз.
PVD түсіну:
Будың физикалық тұндыру, әдетте PVD ретінде белгілі, атомдарды немесе молекулаларды қатты көзден бетке физикалық құралдар арқылы тасымалдауды қамтитын жұқа қабықша тұндыру әдісі. Бұл әдіс металдар, пластмассалар, керамика және т.б. сияқты әртүрлі материалдардың беткі қасиеттерін жақсарту үшін кеңінен қолданылады. PVD процесі жұқа қабықшалардың түзілуін дәл бақылауды қамтамасыз ететін вакуум жағдайында орындалады.
PVD процесі:
PVD процесін төрт негізгі кезеңге бөлуге болады: дайындау, булану, тұндыру және өсу. Әр кезеңді егжей-тегжейлі қарастырайық.
1. Дайындық:
Шөгу процесін бастамас бұрын, қапталатын материал мұқият тазалаудан өтеді. Бұл қадам беттің жабысуына кедергі болатын май, оксид қабаттары немесе бөгде бөлшектер сияқты ластаушы заттардың болмауын қамтамасыз етеді. Жоғары сапалы жабындарға және материалдың ұзақ қызмет ету мерзіміне қол жеткізу үшін таза бет өте маңызды.
2. Булану:
Бұл кезеңде бастапқы материал деп аталатын жабынды қалыптастыру үшін қолданылатын материал буланады. Бастапқы материал вакуумдық камераға орналастырылады, онда ол басқарылатын жылу немесе электронды сәулелік энергияға ұшырайды. Нәтижесінде бастапқы материалдан атомдар немесе молекулалар буланып, ағын түзеді.
3. Депозит:
Бастапқы материал буланғаннан кейін бу вакуумдық камера арқылы қозғалады және субстрат бетіне жетеді. Субстрат, көбінесе қапталатын материал, бу көзіне жақын жерде орналасады. Бұл кезде бу бөлшектері субстраттың бетіне соғылып, жұқа қабықшаның тұндыруына әкеледі.
4. Өсу:
Әрбір атом немесе молекула субстратқа түскенде, жұқа қабық бірте-бірте өседі. Бұл өсу процесінің динамикасын тұндыру уақыты, температура және қысым сияқты параметрлерді реттеу арқылы басқаруға болады. Бұл параметрлер пленканың қалыңдығын, біркелкілігін және құрамын бақылауға мүмкіндік береді, сайып келгенде, арнайы талаптарды қанағаттандыру үшін бейімделген қасиеттерге әкеледі.
Жіберу уақыты: 29 маусым-2023 ж