Оптикалық әйнек, дисплей панельдері және автомобиль компоненттері сияқты салаларда үлкен аумақты беттік өңдеуге деген сұраныс тез артып келеді. Дәстүрлі бүріккіш жабынмен салыстырғанда, вакуумдық жабын технологиясы тек жоғары пленка тығыздығы мен біркелкілігін қамтамасыз етіп қана қоймай, сонымен қатар әртүрлі функционалды қабаттарды жасауға мүмкіндік береді. Сонымен, вакуумдық жабынды үлкен аумақтарға жағуға бола ма? Жауап - иә.
I. Үлкен аумақты шөгінділердің қиындықтары
Тұнбаны ұлғайту тек негіздің өлшемін үлкейтумен шектелмейді. Негізгі техникалық қиындықтарға мыналар жатады:
Қабықшаның біркелкілігі: Негіз неғұрлым үлкен болса, бөлшектердің таралуындағы айырмашылықтар соғұрлым маңызды болады, бұл қалыңдықтың өзгеруіне әкеледі.
Тұндыру жылдамдығы: Үлкен аумақты негіздерге өнімділікті сақтау үшін жоғары шашырату немесе булану тиімділігі қажет.
Кернеу және адгезия: Беткі ауданы артқан сайын ішкі кернеу концентрациясы қабықшалардың жарылуына немесе қабыршақтануына бейім болады.
Жылуды басқару: Үлкен негіздер жергілікті қызып кетуге бейім, бұл пленка сапасына әсер етеді.
II. Үлкен аумақты вакуумдық жабынмен жабу принциптері
Бүгінгі таңда магнетронды шашырату үлкен аумақты жабудың негізгі процесі болып табылады, ол дәл қозғалыспен және процесті басқарумен қамтамасыз етіліп, біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Катод массивінің дизайны
Параллель орналастырылған бірнеше бүріккіш нысаналар тұндыру жабынын кеңейтеді және қалыңдықтың біркелкілігін жақсартады.
Субстратты басқару және қозғалысты басқару
Өзара қозғалыс немесе айналмалы арматура сияқты әдістер жергілікті тұнба ауытқуларын өтейді.
Ірі көлемді шыны жабын желілерінде орамнан орамға немесе жалпақ пластиналы желілік тасымалдау режимдері кеңінен қолданылады.
Жоғары вакуумдық және технологиялық газды басқару
Тұрақты вакуум деңгейлері және газ ағынын дәл реттеу үлкен негіздер үшін реактивті тозаңдату кезінде қайталануды қамтамасыз етеді.
Жылулық бақылау және салқындату жүйелері
Артқы тақтадағы суды салқындату және аймақтық температураны бақылау тұндыру кезінде жылу тепе-теңдігін сақтайды.
III. Қолдану сценарийлері және өнеркәсіптік құндылығы
Дисплей панельдері: Үлкен LCD және OLED жабынды әйнектері ITO мөлдір өткізгіш пленкаларын және шағылыстырмайтын жабындарды қажет етеді.
Автокөлік өнеркәсібі: HUD алдыңғы әйнектері, ақылды айналар және орталық консоль сенсорлық панельдері үлкен аумақты шашырататын сызықтарға негізделген.
Фотоэлектрлік техника: Шағылыстыруға қарсы жабындары бар күн әйнегі жарықты сіңіру және түрлендіру тиімділігін арттырады.
Тұрмыстық техника және сәулеттік әйнек: Тоңазытқыш есіктері мен сәулеттік қасбеттерге арналған функционалды жабындар үлкен аумақтағы шөгінділерге байланысты.
Қорытынды
Вакуумдық жабын тек үлкен аумақты тұндыруға ғана емес, сонымен қатар дисплей, автомобиль, фотоэлектрлік және сәулеттік шыны өнеркәсібіндегі негізгі шешімге айналды. Негізгі мүмкіндік беретін факторлар - нысаналы массивтерді жобалау, субстрат қозғалысын басқару және тұрақты вакуумдық орта. Магнетронды шашырату технологиясының үздіксіз дамуымен үлкен аумақты жабындар жылдамырақ, біркелкі және үнемді болады, бұл жоғары деңгейлі өндіріс үшін кең мүмкіндіктерді ашады.
— Бұл мақаланы жариялаған вакуумдық жабын жабдықтарыөндіруші Zhenhua шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 13 қыркүйек