広東振華SOMシリーズ装置の概要と応用

振華が開発したSOMシリーズ装置は、従来の電子ビーム蒸着光学装置に取って代わるもので、大容量、高速生産速度、高安定性、高自動化を実現しています。複雑な膜系への成膜が可能で、膜強度も従来の電子ビーム蒸着成膜よりも優れています。

SOMシリーズの装置は、主に携帯電話業界、自動車業界、太陽光発電業界などで使用されています。ARフィルム、AS/AFフィルム、高反射フィルム、その他の高精度多層光学フィルムなど、あらゆる種類の光学フィルムに適しています。

SOMシリーズ機器の特徴
1. 標準で24個のキャリアを備え、有効コーティング面積は約8m2に達し、従来の電子ビーム蒸着光学装置と比較して、生産能力は約50%増加し、エネルギー消費は約20%削減されます。
2. 独立したコーティングチャンバーを備え、コーティングチャンバーの真空状態を常に維持することで、コーティングの品質を確保し、真空引き時間を節約し、エネルギー消費を削減します。
3. スパッタリング成膜＋高速回転フレーム方式により、正確な膜厚、低応力、優れた再現性を実現します。
4. 分離可能な入出庫チャンバーを備えており、入出庫材料は全自動運転が可能で、供給と排出が同時に行われ、生産効率が向上し、人件費が削減されます。