Kev siv tshuab nto, tshwj xeeb tshaj yog cov ntawv thov txheej, tau ua tiav zoo heev hauv xyoo tas los no. Lub tshuab nqus tsev plasma yog ib qho thev naus laus zis tshwj xeeb nrov heev. Cov khoom siv niaj hnub no tab tom hloov pauv txoj hauv kev uas peb txhim kho kev ua tau zoo thiab kev zoo nkauj ntawm ntau yam khoom. Hauv cov blog no, peb yuav nkag mus rau hauv cov ntsiab lus ntawm lub tshuab txiav no thiab tshawb nrhiav nws cov txiaj ntsig ntau yam.
Raws li lub npe qhia, cov tshuab plasma nqus tsev ua ke cov plasma thiab cov thev naus laus zis nqus tsev los tso cov txheej nyias nyias rau ntawm cov ntaub ntawv sib txawv. Cov txheej txheem no feem ntau hu ua plasma deposition lossis plasma-assisted chemical vapor deposition (PACVD). Lub tshuab muaj lub tshuab nqus tsev uas cov plasma raug tsim los ntawm kev qhia cov pa roj xws li argon. Qhov no tsim ib puag ncig muaj zog siab uas ua rau cov roj molecules tawg thiab tsim cov plasma.
Tam sim no, tej zaum koj yuav xav paub tias dab tsi ua rau lub tshuab nqus tsev plasma tshwj xeeb heev? Zoo, muaj ntau qhov zoo rau kev siv cov thev naus laus zis no. Ua ntej, cov tshuab no muab kev sib npaug zoo heev thiab kev ua haujlwm raug hauv kev tso cov txheej. Plasma ua kom cov txheej sib npaug ntawm qhov chaw, tshem tawm txhua qhov tsis sib xws lossis qhov tsis zoo. Qhov no yog qhov tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv kev lag luam uas qhov kev ua haujlwm raug yog qhov tseem ceeb, xws li tsheb, aerospace thiab electronics.
Qhov thib ob, lub tshuab plasma nqus tsev txheej tuaj yeem tso ntau yam txheej nrog ntau yam haujlwm sib txawv. Txawm hais tias koj xav tau cov txheej tiv thaiv kev cuam tshuam rau kev siv kho qhov muag lossis cov txheej tiv thaiv kev hnav rau cov khoom siv kho tshuab, cov tshuab no tuaj yeem ua tau raws li qhov xav tau sib txawv. Qhov ua tau ntau yam ntawm cov plasma nqus tsev txheej ua rau lawv yog qhov kev daws teeb meem xaiv rau cov lag luam uas tab tom nrhiav kev kho qhov chaw uas hloov kho tau.
Ntxiv mus, cov thev naus laus zis no muab kev sib txuas zoo heev ntawm cov txheej thiab cov substrate. Cov plasma muaj zog siab txhawb nqa kev sib txuas zoo, ua rau cov txheej tsis tshua muaj peev xwm delaminate lossis tev tawm. Qhov no yog qhov tseem ceeb kom ntseeg tau tias lub neej ntev thiab ruaj khov ntawm cov khoom coated. Txawm hais tias nws yog cov txheej txheem kho kom zoo nkauj ntawm cov hniav nyiaj hniav kub lossis cov txheej txheem tiv thaiv ntawm cov cuab yeej txiav, cov tshuab plasma nqus tsev txheej tuaj yeem txhim kho qhov kev ua tau zoo thiab qhov zoo li ntawm ntau yam khoom.
Ntxiv rau cov txiaj ntsig ntawm kev siv tshuab no, cov tshuab plasma nqus tsev kuj muaj cov txiaj ntsig ib puag ncig. Cov txheej txheem no tshwm sim hauv lub chamber kaw, txo qis kev tso tawm cov tshuaj lom neeg mus rau hauv huab cua. Tsis tas li ntawd, kev siv plasma txo qhov kub ua piv rau cov txheej txheem ib txwm muaj, yog li txo kev siv hluav taws xob thiab cov pa roj carbon. Cov yam ntxwv zoo rau ib puag ncig ntawm cov tshuab plasma nqus tsev yog ua raws li cov qauv thoob ntiaj teb txhawb kev tsim khoom ruaj khov.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Cuaj hlis-15-2023