Máy phủ chân không trực tuyến là một loại hệ thống phủ tiên tiến được thiết kế cho môi trường sản xuất liên tục, thông lượng cao. Không giống như máy phủ mẻ, xử lý chất nền theo nhóm riêng biệt, máy phủ trực tuyến cho phép chất nền di chuyển liên tục qua nhiều giai đoạn khác nhau của quy trình phủ. Sau đây là cái nhìn chi tiết về cách thức hoạt động của máy phủ chân không trực tuyến và các ứng dụng của nó:
Các thành phần chính và quy trình
Trạm nạp/dỡ: Các chất nền được nạp vào hệ thống lúc đầu và dỡ ra lúc cuối. Có thể tự động hóa để tăng thông lượng.
Hệ thống vận chuyển: Băng tải hoặc cơ chế tương tự di chuyển vật liệu nền qua các giai đoạn khác nhau của quá trình phủ.
Buồng chân không: Máy tráng phủ bao gồm một số buồng chân không được kết nối, mỗi buồng dành riêng cho một phần cụ thể của quá trình tráng phủ. Các buồng này được giữ trong điều kiện chân không cao để đảm bảo lắng đọng sạch sẽ và có kiểm soát.
Trạm xử lý sơ bộ: Vật liệu nền có thể đi qua trạm làm sạch hoặc trạm khắc để loại bỏ chất gây ô nhiễm và chuẩn bị bề mặt để phủ.
Trạm phun hoặc bốc hơi: Các trạm này là nơi diễn ra quá trình phủ thực tế. Các mục tiêu phun hoặc nguồn bốc hơi được sử dụng để lắng đọng vật liệu mong muốn lên bề mặt nền.
Trạm làm mát: Sau khi phủ, chất nền có thể cần được làm mát để đảm bảo độ ổn định và độ bám dính của màng mỏng.
Kiểm tra và kiểm soát chất lượng: Hệ thống tích hợp để giám sát và kiểm tra thời gian thực đảm bảo lớp phủ đáp ứng các thông số kỹ thuật yêu cầu.
Thuận lợi
Năng suất cao: Xử lý liên tục cho phép phủ nhanh một lượng lớn chất nền.
Lớp phủ đồng nhất: Kiểm soát chính xác quá trình lắng đọng tạo ra lớp màng mỏng đồng nhất và chất lượng cao.
Khả năng mở rộng: Thích hợp cho sản xuất quy mô lớn, lý tưởng cho các ứng dụng công nghiệp.
Tính linh hoạt: Có thể sử dụng để lắng đọng nhiều loại vật liệu, bao gồm kim loại, oxit và nitrua.
Ứng dụng
Sản xuất chất bán dẫn: Được sử dụng để lắng đọng các lớp khác nhau trong quá trình sản xuất mạch tích hợp.
Tế bào quang điện: Lớp phủ vật liệu cho tấm pin mặt trời để tăng hiệu suất.
Lớp phủ quang học: Sản xuất lớp phủ chống phản xạ, gương và thấu kính.
Đóng gói: Áp dụng lớp phủ chắn cho vật liệu đóng gói linh hoạt.
Công nghệ hiển thị: Lớp phủ nền được sử dụng trong màn hình LCD, OLED và các loại màn hình khác.
Máy phủ chân không trực tiếp rất cần thiết cho các ngành công nghiệp đòi hỏi màng mỏng chất lượng cao với các đặc tính đồng nhất và đóng vai trò quan trọng trong các quy trình sản xuất hiện đại.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 12-07-2024