ئېنېرگىيە زىچلىقى PVD جەريانلىرىدا پىلاستىنكا زىچلىقىغا قانداق تەسىر كۆرسىتىدۇ

فىزىكىلىق پارغا چۆكۈش (PVD) دا، پەردە زىچلىقى قاپلامنىڭ مېخانىكىلىق، ئوپتىكىلىق، ئېلېكترلىك ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى بەلگىلەيدىغان ئاساسلىق كۆرسەتكۈچلەرنىڭ بىرى. قاتتىق قاپلام، بېزەكچىلىك پىلاستىنكىسى، ئوپتىكىلىق قاپلام ۋە ئىقتىدارلىق نېپىز پىلاستىنكىلارغا نىسبەتەن، زىچ مىكرو قۇرۇلما ئادەتتە ياخشى يېپىشىش، يۇقىرى قاتتىقلىق، تۆۋەن تۆشۈكلۈك ۋە ئۇپراش ۋە مۇھىتنىڭ بۇزۇلۇشىغا قارشى تۇرۇشنىڭ ياخشىلىنىشى بىلەن مۇناسىۋەتلىك.

قانداقلا بولمىسۇن، پىلاستىنكىنىڭ زىچلىقى پەقەت چۆكمە كۈچى ياكى چۆكمە سۈرئىتىنىڭ ئېشىشى بىلەنلا بەلگىلەنمەيدۇ. ئۇنىڭ ئاساسىي مەزمۇنى ئۆسۈۋاتقان پىلاستىنكىغا يەتكۈزۈلگەن ئېنېرگىيە زىچلىقى بىلەن زىچ مۇناسىۋەتلىك بولۇپ، ئۇ يۈزەكى ھەرىكەتچانلىق، ئادەمتومنىڭ تارقىلىشى، يادرولىشىش ھەرىكىتى، دانچە ئۆسۈشى ۋە چۆكمە جەريانىدا نۇقسانلارنىڭ ئېۋولۇتسىيىسىنى باشقۇرىدۇ.

شۇڭا، ئېنېرگىيە كىرگۈزۈش، ئىئون بومباردىمان قىلىش، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى ۋە پىلاستىنكا مىكرو قۇرۇلمىسى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەتنى چۈشىنىش PVD جەريانلىرىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

1. PVD دىكى ئېنېرگىيە زىچلىقى نېمە؟

PVD دا، ئېنېرگىيە زىچلىقى دېگەن سۆز ئادەتتە بىرلىك كۆلەم ۋە بەلگىلەنگەن جەريان ئىچىدە ئاساسىي قاتلامغا ياكى ئۆسۈش پەردىسىگە يەتكۈزۈلگەن ئېنېرگىيە مىقدارىنى ئىپادىلەيدۇ. ئەمەلىي جەريان قۇرۇلۇشىدا، ئۇ ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئىئون ئېقىمى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى، پلازما زىچلىقى، قويۇپ بېرىش كۈچى، چۆكمە سۈرئىتى ۋە ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى قاتارلىق پارامېتىرلار بىلەن زىچ مۇناسىۋەتلىك.

ئىئونلاشتۇرۇلغان PVD جەريانلىرى، بولۇپمۇ كاتود قوس چۆكمىسى ۋە يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ماگنىترون پۈركۈش جەريانىدا، ئۆسۈش پەردىسى پەقەت نېيترال چۆكمە تۈرلىرىگە ئەمەس، بەلكى ئېنېرگىيەلىك ئىئونلارغا دۇچ كېلىدۇ. مۇۋاپىق سۇبسترات يۆنىلىشى قوللىنىلغاندا، بۇ ئىئونلار سۇبسترات يۈزىگە قاراپ تېزلىشىپ، ئېنېرگىيە ئۆسۈش پەردىسىگە يۆتكىلىدۇ.

بۇ ئېنېرگىيە كىرگۈزۈش يۈزىدىكى چۆكمە ئاتوم ۋە ئىئونلارنىڭ ھەرىكەتچانلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. يېتەرلىك ئېنېرگىيە ئادەمتوملارنىڭ يەرلىك تارقىلىش توسالغۇلىرىنى يېڭىپ، ئېنېرگىيە جەھەتتىن پايدىلىق ئورۇنغا يۆتكىلىشىگە ۋە تەرەققىي قىلىۋاتقان پەردە ئىچىدىكى مىكروسكوپ بوشلۇقلارنى تولدۇرۇشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ. نەتىجىدە، پەردە نىسبەتەن تۆشۈكلۈك قۇرۇلمىدىن زىچ، ئىخچام مىكرو قۇرۇلمىغا تەرەققىي قىلالايدۇ.

شۇڭا، ئېنېرگىيە زىچلىقى PVD جەريان پارامېتىرلىرى بىلەن ئاخىرقى پىلاستىنكا قۇرۇلمىسى ئوتتۇرىسىدىكى مۇھىم كۆۋرۈك دەپ قارىلىشى كېرەك.

2. نېمە ئۈچۈن ئېنېرگىيە كىرگۈزۈش پىلاستىنكا زىچلىقىنى بەلگىلەيدۇ؟

دەسلەپكى چۆكمە باسقۇچىدا، ئاساسىي قاتلامغا يېتىپ كەلگەن ئاتوم ياكى ئىئونلار دەرھال مۇكەممەل زىچ قەۋەت ھاسىل قىلمايدۇ. ئۇلار يۈزەدە يادرولىشىپ، كۆچۈپ، ئاستا-ئاستا ئاراللارنى شەكىللەندۈرۈپ، ئاخىرىدا ئۈزلۈكسىز پەردىگە ئايلىنىدۇ.

ئەگەر كەلگەن تۈرلەرنىڭ كىنېتىك ئېنېرگىيىسى يېتەرلىك بولمىسا، ئۇلارنىڭ يۈزەكى ھەرىكەتچانلىقى چەكلىك بولىدۇ. ئۇلار دەسلەپكى قونۇش ئورنىغا يېقىن تۇرۇشى مۇمكىن، بۇنىڭ نەتىجىسىدە يۈزەكى تارقىلىش تولۇق بولمايدۇ ۋە مىكروسكوپ بوشلۇقلار شەكىللىنىدۇ. چۆكمە داۋاملاشقاندا، بۇ بوشلۇقلار تۈۋرۈك شەكىللىك ۋە نىسبەتەن تۆشۈكلۈك مىكرو قۇرۇلمىغا ئايلىنىشى مۇمكىن.

بۇ ھادىسە بولۇپمۇ تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق چۆكمە جەريانلىرىدا ياكى ئىئون بومباردىمان قىلىش يېتەرلىك بولمىغان سىستېمىلاردا ئىنتايىن مۇھىم.

ئۆسۈۋاتقان پەردىگە يەتكۈزۈلگەن ئېنېرگىيە مۇۋاپىق سەۋىيىگە كۆتۈرۈلگەندە، يۈزەكى تارقىلىش تېخىمۇ ئاكتىپلىشىدۇ. چۆكمە تۈرلەر يۈزەكى كۆچۈپ، تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك ئورۇنلارنى ئىگىلىيەلەيدۇ، ئىئون بومباردىمان قىلىش بولسا ئاتوم قايتا تەشكىللىنىشى، نۇقسانلارنى ئازايتىش ۋە بوشلۇقلارنىڭ تاقىلىشىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ. نەتىجىدە ھاسىل بولغان پەردە ئادەتتە تېخىمۇ زىچ شەكىللىك ۋە كۈچلۈك يۈزەكى باغلىنىشنى نامايان قىلىدۇ.

مىكرو قۇرۇلما نۇقتىسىدىن قارىغاندا، مەقسەت پەقەت «ئېنېرگىيەنى ئاشۇرۇش» ئەمەس، بەلكى پىلاستىنكا ئۆسۈش جەريانىدا مۇۋاپىق ئېنېرگىيە-ئېقىم نىسبىتىنى بېكىتىشتۇر.

3. سۇبستراتنىڭ تەسىرىنىڭ رولى

مەۋجۇت PVD جەريان پارامېتىرلىرى ئىچىدە، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشچان توك بېسىمى ئىئون بومباردىمان قىلىش ئېنېرگىيەسىنى كونترول قىلىشنىڭ ئەڭ بىۋاسىتە ئۇسۇللىرىنىڭ بىرى.

ئاساسىي قاتلامغا مەنپىي يانتۇلۇقنى قوللىنىش مۇسبەت زەرەتلىك ئىئونلارنى ئاساسىي قاتلام يۈزىگە قاراپ تېزلەتكۈچى ئېلېكتر پوتېنسىيالىنى پەيدا قىلىدۇ. يانتۇلۇقنىڭ چوڭلۇقىنى ئاشۇرۇش ئادەتتە ئىئوننىڭ سوقۇلۇش ئېنېرگىيەسىنى ئاشۇرىدۇ، بۇ يۈزەكى ئاكتىپلىشىش ۋە پەردە زىچلىقىنى ئاشۇرىدۇ.

مەسىلەن، TiN، CrN، TiAlN، DLC ۋە باشقا ئىقتىدارلىق قاپلاملارنى چاپلىغاندا، مۇۋاپىق يانتۇلۇق شەرتى پىلاستىنكىنىڭ زىچلىقى، قاتتىقلىقى، يېپىشتۇرۇشچانلىقى ۋە ئۇپراشقا چىدامچانلىقىنى ياخشىلىيالايدۇ.

قانداقلا بولمىسۇن، يان تەرەپلىك توك بېسىمى بىلەن پىلاستىنكا سۈپىتى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت سىزىقلىق ئەمەس. ئەگەر ئىئون بومباردىمان قىلىش ئېنېرگىيەسى ھەددىدىن زىيادە ئېشىپ كەتسە، بىر قاتار كۆڭۈلسىز تەسىرلەر يۈز بېرىشى مۇمكىن، مەسىلەن، چىرقىراش، ئىمپلانتاتسىيە، قالدۇق بېسىمنىڭ توپلىنىشى، ئاساسىي قاتلامنىڭ قىزىشى، نۇقسانلارنىڭ پەيدا بولۇشى ۋە ھەتتا ئاساسىي قاتلامنىڭ بۇزۇلۇشى.

ھەددىدىن زىيادە ئىئون بومباردىمان قىلىش پىلاستىنكا يۈزىدىن ئىلگىرى چۆككەن ئاتوملارنى چىقىرىۋېتىپ، ساپ چۆكۈش نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىپ، قاپلاش تەركىبىنى ئۆزگەرتىشى مۇمكىن.

شۇڭا، ئەڭ ياخشى ئاساسىي قاتلام يانتۇلۇقىنى پەقەت يۇقىرى يانتۇلۇق توك بېسىمىنى قوغلىشىشنىڭ ئورنىغا، ئاساسىي قاتلام ماتېرىيالى، قاپلاش سىستېمىسى، ئىئون تۈرى، پلازما زىچلىقى، چۆكمە سۈرئىتى ۋە تەلەپ قىلىنىدىغان پىلاستىنكا خۇسۇسىيەتلىرىگە ئاساسەن بېكىتىش كېرەك.

4. ئىئون ئېقىمى ۋە ئىئون ئېنېرگىيەسىنى بىرلىكتە ئويلىشىش كېرەك

پىلاستىنكىنىڭ زىچلىشىشى پەقەت ئىئون ئېنېرگىيەسى بىلەنلا چەكلىنىپ قالمايدۇ. ئىئون ئېقىمى، يەنى بىرلىك كۆلەم ۋە ۋاقىت ئىچىدە ئاساسىي قاتلامغا يېتىپ بارىدىغان ئىئونلارنىڭ سانىمۇ ئوخشاشلا مۇھىم.

يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك ئىئون ئېقىمى ئۆسۈۋاتقان پەردىنى زور دەرىجىدە ئۆزگەرتەلەيدۇ، ئەمما ئىئون ئېقىمى بەك تۆۋەن بولسا، پەردىگە يەتكۈزۈلگەن ئومۇمىي ئېنېرگىيە يېتەرلىك بولماسلىقى مۇمكىن. ئەكسىچە، ھەددىدىن زىيادە ئېنېرگىيەدە ئىنتايىن يۇقىرى ئىئون ئېقىمى كۈچلۈك بومباردىمان ۋە كۆڭۈلسىز چىرىش ياكى ئىسسىقلىق يۈكىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

شۇڭلاشقا، ئىلغار PVD جەريانى تەرەققىياتى ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشىنى ئايرىم پارامېتىر دەپ قاراشنىڭ ئورنىغا، ئىئون ئېنېرگىيەسى بىلەن ئىئون ئېقىمى ئوتتۇرىسىدىكى بىرىكمە مۇناسىۋەتنى كونترول قىلىشقا بارغانسېرى ئەھمىيەت بېرىۋاتىدۇ.

بۇ مۇناسىۋەت كاتود قوس PVD ۋە يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئىمپۇلسلۇق ماگنىترون پۈركۈش (HiPIMS) قاتارلىق يۇقىرى ئىئونلاشتۇرۇلغان چۆكمە جەريانلىرىدا ئالاھىدە مۇھىم. چۆكمە تۈرىنىڭ ئىئونلىشىش نىسبىتىنى ئاشۇرۇش ئارقىلىق، بۇ تېخنىكىلار ئۆسۈۋاتقان پەردىگە يەتكۈزۈلىدىغان ئېنېرگىيەنى كونترول قىلىشتا تېخىمۇ چوڭ ئەركىنلىك بىلەن تەمىنلەيدۇ.

5. ئېنېرگىيە زىچلىقى ۋە مىكرو قۇرۇلما تەرەققىياتى

ئېنېرگىيە زىچلىقىنىڭ تەسىرىنى فىلىمنىڭ مىكرو قۇرۇلمىسىنىڭ تەرەققىياتى ئارقىلىقمۇ چۈشىنىشكە بولىدۇ.

نىسبەتەن تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك چۆكمە شارائىتىدا، يەر يۈزىدىكى ھەرىكەتچانلىقى چەكلىك بولسا، بولۇپمۇ ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى تۆۋەن بولغاندا ۋە چۆكمە تۈرلەرنىڭ ھەرىكەتچانلىقى يېتەرلىك بولمىغاندا، بوشلۇق ياكى تۈۋرۈك شەكىللىك ئۆسۈشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

مۇۋاپىق جەريان ئىچىدە ئېنېرگىيە كىرىش مىقدارى ئاشقانسېرى، يۈزەكى تارقىلىش ئۈنۈمى تېخىمۇ يۇقىرى بولىدۇ ۋە مىكرو قۇرۇلما تەدرىجىي ھالدا تېخىمۇ زىچلىشىدۇ. دانچە چېگرىسى ۋە تۈۋرۈكلەر ئارا بوشلۇقلارنى ئازايتقىلى بولىدۇ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا قاپلاش تېخىمۇ ئۈزلۈكسىز ۋە مېخانىكىلىق جەھەتتىن مۇقىم بولىدۇ.

قانداقلا بولمىسۇن، ئېنېرگىيە زىچلىقىنىڭ تېخىمۇ ئېشىشىغا ئەگىشىپ، بۇ جەريان كۈچلۈك ئىئون بومباردىمان قىلىش ھۆكۈمرانلىق قىلىدىغان ھالەتكە كىرىشى مۇمكىن. قايتا پارقىراش ۋە ئاتومنىڭ پىچىلىشى بارغانسېرى مۇھىم بولۇپ، يۇقىرى بېسىملىق قالدۇق بېسىمنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن. قاپلاش زىچ بولۇپ قالسىمۇ، ئارتۇقچە ئىچكى بېسىم يېپىشقاقلىقنى تۆۋەنلىتىپ، يېرىلىش ياكى پارچىلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

شۇڭلاشقا، ئادەتتە يۇقىرى ئېنېرگىيە ھەمىشە ياخشى پىلاستىنكا ھاسىل قىلىدىغان ئاددىي مۇناسىۋەت ئەمەس، بەلكى ئەڭ ياخشى ئېنېرگىيە زىچلىقى دېرىزىسى بولىدۇ.

6. ئېنېرگىيە زىچلىقى ۋە «ئاتوم قېزىش» ئۈنۈمى

ئېنېرگىيەلىك ئىئون بومباردىمان قىلىش بىلەن مۇناسىۋەتلىك مۇھىم مېخانىزملارنىڭ بىرى ئاتومنىڭ پىچىش ئېففېكتىدۇر.

ئېنېرگىيەلىك ئىئون بومباردىمان قىلىش جەريانىدا، كىرىۋاتقان ئىئونلار يۈزەكى ئاتوملارغا ئىمپۇلس ئۆتكۈزۈپ، يەرلىك ئاتوم يۆتكىلىشى ۋە قايتا تەشكىللىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ ئاتوملارنى تېخىمۇ زىچ ئورالغان شەكىللەرگە مەجبۇرلاپ، ئۆسۈۋاتقان پەردە ئىچىدىكى ئوچۇق ھەجىمنىڭ تەرەققىياتىنى توسىدۇ.

نەتىجىدە قاتتىقلىقى ۋە مېخانىكىلىق مۇقىملىقى ياخشىلانغان، زىچلىقى يۇقىرى مىكرو قۇرۇلما ھاسىل بولىدۇ.

بۇ مېخانىزم قاتتىق PVD قاپلىمىلىرىغا ئالاھىدە مۇناسىۋەتلىك. TiN، CrN، TiCN، AlTiN ۋە شۇنىڭغا ئوخشاش نىترىد قاپلىمىلىرى قاتارلىق سىستېمىلار ئۈچۈن، مۇۋاپىق ئىئون بومباردىمان قىلىش يۇقىرى پىلاستىنكا زىچلىقىغا ۋە مېخانىكىلىق ئىقتىدارنىڭ ئېشىشىغا تۆھپە قوشالايدۇ.

قانداقلا بولمىسۇن، ئاتومنىڭ ھەددىدىن زىيادە پۇختىلىنىشى زور مىقداردا بېسىم قالدۇق كۈچىنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن. شۇڭا، ئەگەر ئىچكى بېسىم ئاساسىي قاتلام/سىرلاش يۈزىنىڭ چاپلىشىش ئىقتىدارىدىن ئېشىپ كەتسە، زىچلىقى ئىنتايىن يۇقىرى بولغان سىرلاش چوقۇم ئەڭ ياخشى سىرلاش بولمايدۇ.

ئەمەلىي مەقسەت پىلاستىنكا زىچلىقى، قالغان بېسىم، يېپىشقاقلىق، قاتتىقلىق ۋە چۆكۈش نىسبىتى ئوتتۇرىسىدا تەڭپۇڭلۇققا ئېرىشىشتىن ئىبارەت.

7. چۆكمە نىسبىتى ئېنېرگىيە تەڭپۇڭلۇقىنىمۇ ئۆزگەرتىدۇ

ئېنېرگىيە زىچلىقىنى چۆكمە سۈرئىتىدىن مۇستەقىل ھالدا باھالىغىلى بولمايدۇ.

ئەگەر ئىئون بومباردىمان قىلىش شارائىتى ئۆزگەرمىگەن ئەھۋالدا چۆكمە سۈرئىتى زور دەرىجىدە ئاشسا، ئېنېرگىيەلىك ئىئون بومباردىمان قىلىشنىڭ كىرىش چۆكمە ئېقىمىغا بولغان نىسبىتى تۆۋەنلىشى مۇمكىن. باشقىچە قىلىپ ئېيتقاندا، يۈزەكى تارقىلىش ۋە قۇرۇلمىنىڭ قايتا تەشكىللىنىشىنى ئىلگىرى سۈرۈش ئۈچۈن ئېنېرگىيەنىڭ ماس ھالدا ئېشىشىسىز تېخىمۇ كۆپ ماتېرىيال چۆكمە قىلىنىدۇ.

بۇ، زىچلىقى تۆۋەنرەك مىكرو قۇرۇلمىغا قاراپ ئۆزگىرىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

ئەكسىچە، مۇۋاپىق ئىئون-نېيترال ئېقىم نىسبىتىنى ساقلاش، چۆكمە سۈرئىتىدىكى ئۆزگىرىشلەرنى تولۇقلاشقا ۋە مۇقىم پەردە قۇرۇلمىسىنى ساقلاشقا ياردەم بېرەلەيدۇ.

شۇڭلاشقا سانائەت PVD جەريانىنى تەرەققىي قىلدۇرۇشتا پەقەت قۇۋۋەت ۋە چۆكمە سۈرئىتىگىلا ئەمەس، بەلكى ئىئون ئېقىمى زىچلىقى، ئىئون ئېنېرگىيەسى، چۆكمە ئېقىمى ۋە ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەتكىمۇ دىققەت قىلىش كېرەك.

8. ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى ۋە ئىئون بومباردىمانىنىڭ بىرلىكتە ئىشلىشى

ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى پەردە زىچلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان يەنە بىر مۇھىم ئامىل.

ئىسسىقلىق ئېنېرگىيەسى قويۇپ قويۇلغان ئاتوملارنىڭ ھەرىكەتچانلىقىنى تەمىنلەيدۇ، ئىئون بومباردىمان قىلىش بولسا قوشۇمچە ھەرىكەت ئېنېرگىيەسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ ئىككى مېخانىزم يۈزەكى تارقىلىش ۋە قۇرۇلمىنىڭ قايتا تەشكىللىنىشىنى ئىلگىرى سۈرەلەيدۇ.

قۇرۇلۇش سۇلياۋلىرى، ئوپتىكىلىق زاپچاسلار ۋە بەزى ئېلېكترونلۇق ماتېرىياللار قاتارلىق تېمپېراتۇرىغا سەزگۈر ئاساسىي ماتېرىياللار ئۈچۈن، ئاساسىي ماتېرىيالنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى ئۆستۈرۈش مۇمكىن بولماسلىقى مۇمكىن. بۇ خىل ئەھۋاللاردا، كونترول قىلىنىدىغان ئىئون بومباردىمان قىلىش ئالاھىدە قىممەتكە ئىگە، چۈنكى ئۇ پەقەت ئىسسىقلىق قىزىتىشقا تايانماي تۇرۇپلا ئۆسۈۋاتقان پىلاستىنكىغا قوشۇمچە ئېنېرگىيە بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ.

بۇ ئىئون ياردەملىك PVD جەريانلىرىنىڭ مۇھىم ئەۋزەللىكلىرىنىڭ بىرى: نىسبەتەن تۆۋەن ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسىنى ساقلاپ تۇرۇپ، ئېنېرگىيىلىك زەررىچە بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق پىلاستىنكا زىچلىقىنى ئاشۇرغىلى بولىدۇ.

شۇنداقتىمۇ، ئىئون بومباردىمان قىلىش ئۆزى ئىسسىقلىق ھاسىل قىلىدۇ. شۇڭا، تېمپېراتۇرىغا سەزگۈر ماتېرىياللارنىڭ ئىسسىقلىق دېفورماتسىيەسى ياكى پارچىلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، ئاساسىي قاتلامنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى چۆكمە جەريانىدا نازارەت قىلىش كېرەك.

9. ئېنېرگىيە زىچلىقى قاپلاش سىستېمىسىغا ماس كېلىشى كېرەك

ھەر خىل قاپلاش ماتېرىياللىرىنىڭ ئىئون بومباردىمان قىلىش ۋە ئېنېرگىيە كىرگۈزۈش تەلىپى ئوخشىمايدۇ.

قاتتىق نىترىد قاپلىمىلىرى ئۈچۈن، نىسبەتەن ئېنېرگىيەلىك ئىئون بومباردىمان قىلىش كۆپىنچە يۇقىرى زىچلىق، يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە كۈچلۈك يېپىشقاقلىققا ئېرىشىشتە پايدىلىق. ئوپتىكىلىق قاپلىمىلار ئۈچۈن، ھەددىدىن زىيادە بومباردىمان قىلىش بېسىم پەيدا قىلىشى ياكى سىنىش كۆرسەتكۈچىنىڭ بىردەكلىكىنى ئۆزگەرتىشى مۇمكىن. مېتال بېزەكلىك قاپلىمىلار ئۈچۈن، ھەددىدىن زىيادە ئىئون ئېنېرگىيەسى يۈزەكى شەكىل، پارقىراقلىق، رەڭ ۋە قالدۇق بېسىمغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن.

DLC ۋە باشقا كاربون ئاساسلىق قاپلاملار ئىئون ئېنېرگىيەسى بىلەن چۆكمە شارائىتى ئوتتۇرىسىدىكى تەڭپۇڭلۇققا تېخىمۇ سەزگۈر، چۈنكى ئىئون ئېنېرگىيەسى باغلىنىش شەكلىگە ۋە شۇڭا sp² بىلەن sp³ باغلىنىش نىسبىتىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

شۇڭا، ھەر بىر PVD قاپلىمىسىغا ماس كېلىدىغان ئومۇميۈزلۈك «ئەڭ ياخشى ئېنېرگىيە زىچلىقى» يوق. ماتېرىيال سىستېمىسى، ئاساسىي قەۋەت، پەردە قېلىنلىقى، چۆكمە سۈرئىتى، تەلەپ قىلىنىدىغان مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر، ئوپتىكىلىق تەلەپلەر ۋە ئىسسىقلىق چەكلىمىسىگە ئاساسەن مۇۋاپىق جەريان كۆزنىكى بېكىتىلىشى كېرەك.

10. جەريان پارامېتىرلىرىدىن فىلىم ئىقتىدارىغىچە

سانائەت PVD ئىشلەپچىقىرىشتا، ئېنېرگىيە زىچلىقى ئاخىرىدا پەقەت جەريان پارامېتىرلىرى ئارقىلىق ئەمەس، بەلكى ئۆلچىگىلى بولىدىغان پىلاستىنكا خۇسۇسىيىتى ئارقىلىق باھالىنىشى كېرەك.

مۇۋاپىق ئەلالاشتۇرۇلغان ئېنېرگىيە كىرگۈزۈش ھالىتى قوللىنىش تۈرىگە ئاساسەن، پىلاستىنكا زىچلىقى، قاتتىقلىقى، يېپىشقاقلىقى، ئۇپراشقا چىدامچانلىقى، چىرىشكە چىدامچانلىقى، ئوپتىكىلىق مۇقىملىقى ۋە توساق ئىقتىدارىنى ياخشىلاشقا تۆھپە قوشۇشى كېرەك.

كېسىشمە SEM، XRD، نانوئىندىنتاتسىيە، تىرناق سىنىقى، قالدۇق بېسىمنى ئۆلچەش، يۈزەكى پۇچۇقلۇق ئانالىزى ۋە پەردە قېلىنلىقى خەرىتىسىنى ياساش قاتارلىق خاراكتېر بەلگىلەش ئۇسۇللىرى جەريان پارامېتىرلىرى بىلەن قاپلاش ئىقتىدارى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەتنى بېكىتىشتە ئىشلىتىلىدۇ.

بۇ PVD جەريانىنىڭ ئاددىي پارامېتىر تەڭشەشتىن تېخىمۇ سىستېمىلىق جەريان كۆزنىكى ۋە مىكرو قۇرۇلمىنى كونترول قىلىش ئىستراتېگىيىسىگە يۆتكىلىشىگە يول قويىدۇ.

خۇلاسە

PVD دا، ئېنېرگىيە زىچلىقى بوش يىغىلغان چۆكمە قۇرۇلمىسىدىن زىچ ۋە مېخانىكىلىق جەھەتتىن مۇقىم پەردىلەرگە ئۆتۈشنى بەلگىلەيدىغان ئاساسلىق ئامىللارنىڭ بىرى. مۇۋاپىق ئىئون ئېنېرگىيەسى ۋە ئىئون ئېقىمى يۈزەكى تارقىلىشنى كۈچەيتىپ، ئاتوم قايتا تەشكىللىنىشىنى ئىلگىرى سۈرۈپ، بوشلۇق شەكىللىنىشىنى ئازايتىپ، پەردىنىڭ زىچلىقىنى ياخشىلىيالايدۇ.

قانداقلا بولمىسۇن، يۇقىرى ئېنېرگىيە ئاپتوماتىك ھالدا قاپلاش ئۈنۈمىنىڭ ياخشىلىنىشىنى بىلدۈرمەيدۇ. ئارتۇقچە ئىئون بومباردىمان قىلىش چىرىش، ئاساسىي قاتلامنىڭ قىزىشى، يۇقىرى بېسىملىق قالدۇق بېسىم ۋە يۈز يۈزىنىڭ بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. مۇھىمى ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئىئون ئېقىمى، چۆكمە سۈرئىتى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى، پلازما زىچلىقى ۋە ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى ئوتتۇرىسىدا ئەڭ ياخشى تەڭپۇڭلۇقنى ئورنىتىش.

شۇڭا، زامانىۋى PVD ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن، ئېنېرگىيە كىرگۈزۈشنى كونترول قىلىش ئىقتىدارى پەقەت چۆكمە ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇشنىڭ ۋاسىتىسىلا ئەمەس، بەلكى پىلاستىنكا مىكرو قۇرۇلمىسىنى لايىھىلەش ۋە مۇقىم، قايتا ئىشلەتكىلى بولىدىغان قاپلاش ئۈنۈمىگە ئېرىشىشنىڭ ئاساسىي ئىقتىدارى.

-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچى جېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى