Вакуум сызыгы - өзлексез, югары үткәрүчән җитештерү мохите өчен эшләнгән алдынгы каплау системасы. Дискрет төркемнәрдә субстратларны эшкәртә торган партия каплагычларыннан аермалы буларак, эчке катламнар субстратларга каплау процессының төрле этаплары аша өзлексез хәрәкәт итәргә мөмкинлек бирә. Менә вакуум сызыкның ничек эшләве һәм аның кулланылышы турында җентекләп карау:
Төп компонентлар һәм процесс
Станцияләрне йөкләү / бушату: субстратлар системага башта йөкләнәләр һәм ахырда бушатыла. Бу үткәрүне арттыру өчен автоматлаштырылган булырга мөмкин.
Транспорт системасы: конвейер яки охшаш механизм субстратларны каплау процессының төрле этаплары аша хәрәкәт итә.
Вакуум палаталары: Котер берничә тоташтырылган вакуум камералардан тора, аларның һәрберсе каплау процессының билгеле бер өлешенә багышланган. Бу палаталар чиста һәм контрольдә тотылуны тәэмин итү өчен югары вакуум астында саклана.
Алдан дәвалау станцияләре: Пычраткыч матдәләрне чистарту һәм өслекне каплау өчен субстратлар чистарту яки чистарту станцияләре аша үтәргә мөмкин.
Спуттеринг яки парга әйләнү станцияләре: Бу станцияләр фактик каплау булган урында. Сөйләшү максатлары яки парга әйләнү чыганаклары кирәкле материалны субстратларга урнаштыру өчен кулланыла.
Суыту станцияләре: капланганнан соң, нечкә пленканың тотрыклылыгын һәм ябышуын тәэмин итү өчен субстратларны суытырга кирәк булырга мөмкин.
Инспекция һәм сыйфат контроле: Реаль вакыттагы мониторинг һәм инспекция өчен интеграль системалар каплауның кирәкле спецификацияләргә туры килүен тәэмин итә.
Уңай яклары
Thrгары үткәрү: өзлексез эшкәртү күп санлы субстратларны тиз капларга мөмкинлек бирә.
Бердәм капламалар: Чүпләү процессын төгәл контрольдә тоту бердәм һәм югары сыйфатлы нечкә пленкаларга китерә.
Масштаблылыгы: Зур производство өчен яраклы, аны сәнәгать кушымталары өчен идеаль итә.
Күпкырлылыгы: металл, оксид һәм нитридлар кертеп, бик күп материалны урнаштыру өчен кулланырга мөмкин.
Кушымталар
Ярымүткәргеч җитештерү: Төрле катламнарны интеграль схемалар җитештерүдә урнаштыру өчен кулланыла.
Фотовольтаик күзәнәкләр: аларның эффективлыгын күтәрү өчен кояш панельләре өчен материаллар белән каплау.
Оптик капламалар: Анти-рефектив капламалар, көзгеләр, линзалар җитештерү.
Пакетлау: Эластик төрү материалларына барьер каплагычларын куллану.
Дисплей технологиясе: LCD, OLED һәм башка төр дисплейларда кулланылган субстратлар каплау.
Вакуум сызыклары эзлекле сыйфатлы югары сыйфатлы нечкә фильмнар таләп итә торган тармаклар өчен бик мөһим, һәм алар хәзерге җитештерү процессларында мөһим роль уйныйлар.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 12-2024 июль