Пӯсти дохилии вакуумӣ як навъи пешрафтаи системаи пӯшиш мебошад, ки барои муҳити истеҳсолии муттасил ва сермахсул пешбинӣ шудааст. Баръакси коаторҳои партия, ки субстратҳоро дар гурӯҳҳои дискретӣ коркард мекунанд, коатерҳои дохилӣ имкон медиҳанд, ки субстратҳо дар марҳилаҳои гуногуни раванди пӯшиш пайваста ҳаракат кунанд. Ин аст маълумоти муфассал дар бораи чӣ гуна кор кардани вакуумӣ ва татбиқи он:
Унсурҳои асосӣ ва раванд
Пойгоҳҳои боркунӣ/борфарорӣ: Субстратҳо дар аввал ба система бор карда мешаванд ва дар охир борфарорӣ карда мешаванд. Ин метавонад автоматӣ карда шавад, то қобилияти интиқолро афзоиш диҳад.
Системаи нақлиёт: Конвейер ё механизми шабеҳ субстратҳоро дар марҳилаҳои гуногуни раванди пӯшиш интиқол медиҳад.
Палатаҳои вакуумӣ: Коатер аз якчанд камераҳои вакуумӣ иборат аст, ки ҳар кадоме ба як қисми мушаххаси раванди пӯшиш бахшида шудаанд. Ин камераҳо дар зери вакууми баланд нигоҳ дошта мешаванд, то таҳшиншавии тоза ва назоратшаванда таъмин карда шаванд.
Пойгоҳҳои пеш аз коркард: Субстратҳо метавонанд аз стансияҳои тозакунӣ ё сӯзишворӣ гузаранд, то ифлоскунандаҳоро тоза кунанд ва сатҳро барои пӯшиш омода созанд.
Пойгоҳҳои пошидан ё бухоршавӣ: Ин стансияҳо дар он ҷое ҳастанд, ки пӯшиши воқеӣ рух медиҳад. Ҳадафҳои пошидан ё манбаъҳои бухоршавӣ барои гузоштани маводи дилхоҳ ба субстратҳо истифода мешаванд.
Пойгоҳҳои хунуккунӣ: Пас аз пӯшиш, субстратҳоро хунук кардан лозим аст, то устуворӣ ва пайвастшавии филми тунукро таъмин кунад.
Санҷиш ва назорати сифат: Системаҳои интегралӣ барои мониторинг ва санҷиш дар вақти воқеӣ кафолат медиҳанд, ки пӯшишҳо ба хусусиятҳои зарурӣ мувофиқат мекунанд.
Афзалиятҳо
Ҳосили баланд: Коркарди муттасил имкон медиҳад, ки миқдори зиёди субстратҳо зуд пӯшонида шаванд.
Равғанҳои якхела: Назорати дақиқ аз болои раванди таҳшинкунӣ боиси филмҳои борик ва сифати баланд мегардад.
Миқёспазирӣ: Барои истеҳсоли миқёси калон мувофиқ аст ва онро барои барномаҳои саноатӣ беҳтарин месозад.
Имконият: Барои гузоштани доираи васеи маводҳо, аз ҷумла металлҳо, оксидҳо ва нитридҳо истифода мешавад.
Барномаҳо
Истеҳсоли нимноқилҳо: Барои гузоштани қабатҳои гуногун дар истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ истифода мешавад.
Ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ: Пӯшидани маводҳо барои панелҳои офтобӣ барои баланд бардоштани самаранокии онҳо.
Рангҳои оптикӣ: Истеҳсоли рӯйпӯшҳои зидди инъикоскунанда, оинаҳо ва линзаҳо.
Бастабандӣ: Корбурди қабатҳои монеа ба маводи бастабандии чандир.
Технологияи намоиш: Пӯшидани субстратҳо, ки дар LCD, OLED ва дигар намудҳои дисплейҳо истифода мешаванд.
Плёнкаҳои дохилии вакуумӣ барои соҳаҳое муҳиманд, ки филмҳои тунуки баландсифати дорои хосиятҳои пайвастаро талаб мекунанд ва онҳо дар равандҳои муосири истеҳсолӣ нақши муҳим мебозанд.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: июл-12-2024