செயற்கை நுண்ணறிவும் அறிவார்ந்த உற்பத்தியும் வெற்றிடப் பூச்சு செயல்முறைகளை எவ்வாறு மாற்றியமைக்கின்றன

1. அனுபவ அடிப்படையிலான செயல்முறைப் பொறியியலிலிருந்து தரவு அடிப்படையிலான செயல்முறைப் பொறியியலுக்கு

பாரம்பரியமாக,வெற்றிட பூச்சு செயல்முறைகள்செயல்முறைப் பொறியாளர்களின் அனுபவத்தை பெரிதும் சார்ந்திருந்தோம். செயல்முறை வரம்புகளின் வரையறை, அளவுரு நுண் சரிசெய்தல் மற்றும் சிக்கல் தீர்த்தல் ஆகியவை பெரும்பாலும் அனுபவ அறிவை அடிப்படையாகக் கொண்டிருந்தன.
குறைந்த அளவு அல்லது பல்வகைப்பட்ட உற்பத்திக்கு இந்த அணுகுமுறை போதுமானதாக இருந்தபோதிலும், தானியங்கி மின்னணுவியல், ஒளியியல் திரைகள் மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் போன்ற தொழில்துறைகள் பெரிய அளவிலான, உயர் நிலைத்தன்மை கொண்ட உற்பத்தியை நோக்கி நகர்வதால், இது பெருகிய முறையில் போதுமானதாக இல்லாத ஒன்றாகி வருகிறது.

செயற்கை நுண்ணறிவு வழிமுறைகள், மேம்பட்ட உணர்விகள் மற்றும் அறிவார்ந்த கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளின் ஒருங்கிணைப்புடன், வெற்றிடப் பூச்சுத் துறையானது தரவு சார்ந்த மற்றும் மாதிரி அடிப்படையிலான உற்பத்திப் பரிணாமத்தை நோக்கி நகர்ந்து வருகிறது.

2. வெற்றிடப் பூச்சு செயல்முறைகளில் முக்கிய செயற்கை நுண்ணறிவுப் பயன்பாடுகள்
2.1 அறிவார்ந்த செயல்முறை மாதிரியாக்கம் மற்றும் அளவுரு உகப்பாக்கம்

PVD (மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங், எவாபரேஷன்) மற்றும் CVD செயல்முறைகளில், பூச்சின் செயல்திறனானது பின்வருவன உள்ளிட்ட பல மாறிகளின் சிக்கலான இணைப்பால் நிர்வகிக்கப்படுகிறது:

செயல்பாட்டு அழுத்தம் மற்றும் செயல்முறை வாயு ஓட்டம்

இலக்கு சக்தி மற்றும் பிளாஸ்மா நிலைத்தன்மை

அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை மற்றும் சார்பு மின்னழுத்தம்

படிவு விகிதம் மற்றும் படல வளர்ச்சி நடத்தை

வரலாற்றுச் செயல்முறைத் தரவுகள் மற்றும் நிகழ்நேரக் கண்காணிப்பு சமிக்ஞைகளிலிருந்து கற்றுக்கொள்வதன் மூலம், செயற்கை நுண்ணறிவால் பின்வருவனவற்றுக்கான பன்மாறித் தொடர்பு மாதிரிகளை உருவாக்க முடியும்:

செயல்முறை சாளரங்களை தானாகவே மேம்படுத்துங்கள்

அளவுரு ஒருங்கமைவை விரைவுபடுத்துங்கள்

புதிய தயாரிப்பு அறிமுக (NPI) சுழற்சிகளை கணிசமாக குறைக்கவும்

இது முயன்று-பிழை திருத்தங்களையும், கைமுறை அளவுரு சரிசெய்தலைச் சார்ந்திருப்பதையும் குறைக்கிறது.

2.2 படலச் சீர்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையின் அறிவார்ந்த கட்டுப்பாடு

HUD அமைப்புகள், வாகனக் காட்சித்திரைகள் மற்றும் ஒளியிழை போன்ற உயர்தரப் பயன்பாடுகளுக்கு, படலத்தின் தடிமன் சீரான தன்மை, ஒளிவிலகல் குறியீட்டு நிலைத்தன்மை மற்றும் தொகுதிக்குத் தொகுதி நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் மீது மிகவும் இறுக்கமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.
செயற்கை நுண்ணறிவை மூடிய-சுற்று கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் பின்வருவனவற்றை அடையலாம்:

குவார்ட்ஸ் படிக கண்காணிப்பு சமிக்ஞைகள் மற்றும் படிவு விகிதங்களுக்கு இடையேயான நிகழ்நேர தொடர்பு

பிளாஸ்மா நிலைமைகள் மற்றும் படல அடர்த்திக்கு இடையேயான மாறும் பின்னூட்டம்

இலக்கு அரிப்பு மற்றும் செயல்முறை விலகலுக்கான முன்கணிப்பு இழப்பீடு

இதன் விளைவாக, பூச்சுக் கட்டுப்பாடு என்பது செயல்முறைக்குப் பிந்தைய ஆய்விலிருந்து, செயல்முறை நடைபெறும் இடத்திலேயே செய்யப்படும் கட்டுப்பாடாகப் பரிணமிக்கிறது.

2.3 உபகரண நிலை கண்காணிப்பு மற்றும் முன்கணிப்பு பராமரிப்பு

வெற்றிடப் பூச்சு அமைப்புகள், வெற்றிடப் பம்புகள், சிதறல் மின்வழங்கிகள், இலக்குகள், அயனி மூலங்கள் மற்றும் அடி மூலக்கூறு கையாளும் தொகுதிகள் உள்ளிட்ட பல முக்கிய துணை அமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
செயற்கை நுண்ணறிவு வழி பகுப்பாய்வு பின்வருவனவற்றைச் சாத்தியமாக்குகிறது:

இயல்புக்கு மாறான இயக்க நிலைமைகளை முன்கூட்டியே கண்டறிதல்

முக்கிய கூறுகளின் ஆயுட்கால கணிப்பு

அறிவார்ந்த பராமரிப்பு திட்டமிடல்

இது திட்டமிடப்படாத செயலிழப்பு நேரத்தைக் கணிசமாகக் குறைத்து, ஒட்டுமொத்த உபகரண செயல்திறனை (OEE) மேம்படுத்துகிறது.

3. நுண்ணறிவு பூச்சு உற்பத்தித் தொடர்களை எவ்வாறு மறுவடிவமைக்கிறது

செயற்கை நுண்ணறிவின் தாக்கம் தனிப்பட்ட செயல்முறைப் படிகளைத் தாண்டியும் விரிவடைந்து, வெற்றிடப் பூச்சு உற்பத்தி வரிசைகளை உயர் மட்ட தானியக்கம் மற்றும் அமைப்பு ஒருங்கிணைப்பை நோக்கி செலுத்துகிறது, அவற்றுள் அடங்குபவை:

தானியங்கி சமையல் குறிப்பு மேலாண்மை மற்றும் அளவுரு மீட்டெடுப்பு

பல-அறை மற்றும் பல-செயல்முறை கட்டமைப்புகளின் ஒருங்கிணைந்த கட்டுப்பாடு

முழுமையான தரவுத் தடமறிதல் மற்றும் மூடிய-சுற்று தர மேலாண்மை

வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்கள், தனித்த இயந்திரங்களிலிருந்து அறிவார்ந்த உற்பத்தி அலகுகளாகப் பரிணமித்து, தானியங்கி, நுகர்வோர் மின்னணுவியல் மற்றும் குறைக்கடத்தித் தொழில்துறைகளில் உள்ள டிஜிட்டல் தொழிற்சாலைகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கப்படுகின்றன.

4. நுண்ணறிவு வெற்றிடப் பூச்சில் எதிர்காலப் போக்குகள்

வரும் காலத்தில், செயற்கை நுண்ணறிவு மற்றும் வெற்றிடப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பத்தின் ஒருங்கிணைப்பு தொடர்ந்து ஆழமடையும், இதில் பின்வரும் முக்கிய முன்னேற்றங்கள் அடங்கும்:

பூச்சு செயல்முறைகளுக்கான டிஜிட்டல் இரட்டை மாதிரிகள்

சுயமாகக் கற்கும் மற்றும் சுயமாக உகப்பாக்கும் படிவுக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள்

பல்வேறு உபகரணங்கள் மற்றும் பல்வேறு வழித்தடங்களுக்கு இடையேயான தரவு ஒத்துழைப்பு

வெற்றிடப் பூச்சு என்பது இனி வெறும் பொருள் படியவைக்கும் நுட்பமாக இல்லாமல், மிகவும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய, முன்கணிக்கக்கூடிய மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய ஒரு துல்லியமான உற்பத்தி அமைப்பாக மாறும்.

–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் உற்பத்தியாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம்