Selelekela:
Rea u amohela hape letotong la rona la li-blog mabapi le ts'ebetso ea PVD (Physical Vapor Deposition)! Sehloohong sena, re tla teba ka botebo mehatong ea motheo e hlokahalang ho fihlela liphetho tse ntle ka ho kenngoa ha PVD. Ka ho tseba mokhoa oa ho kenngoa ha PVD hantle, u ka ntlafatsa ho tšoarella, ho hanyetsa mafome le botle ba lihlahisoa tsa hau. Ka kopo ikopanye le rona ha re ntse re hlahloba lintlha tsa bohlokoa tse tlatsetsang liphethong tse atlehileng tsa ho roala PVD.
Ho utloisisa ho fetisoa ha PVD:
Ho beoa ha PVD ke mokhoa o sebelisoang haholo bakeng sa ho sebelisa lifilimi tse tšesaane le lipehelo holim'a libaka tse fapaneng tse kang litšepe, liseramike le polasetiki. Ts'ebetso ena e kenyelletsa ho fetoha ha mouoane ha thepa e tiileng ho lateloa ke ho kolobisoa holim'a substrate, ho etsa filimi e tšesaane. Lipehelo tse hlahisoang hangata li bontša litšobotsi tse ntlafalitsoeng tse kang ho thatafala, ho hanyetsa ho khohlana le ponahalo e benyang.
Mehato ea bohlokoa ea ho ntlafatsa ho kenngoa ha PVD:
1. Ho lokisa bokaholimo: Ho lokisa bokaholimo ho bohlokoa pele ho qalwa tshebetso ya ho kenya PVD. Ho hlwekisa, ho bentsha le ho tlosa mafura ka botlalo ho substrate ho tla tlosa ditshila, ho netefatsa ho kgomarela hantle le ho thibela diphoso. Bokaholimo bo hlwekileng bo kgothaletsa ho kgomarela ho betere ha ho roala mme bo ntlafatsa boleng ba kakaretso ba depositi.
2. Kamore ea ho Beha Lintho: Tikoloho e hloekileng le e laoloang ke ea bohlokoa bakeng sa ho beha lintho ka katleho ka PVD. Kamore ea ho beha lintho e bolokoa ka khatello e tlase le mocheso o laoloang, e leng se lumellang liathomo kapa limolek'hule tse nang le mouoane ho tsamaea ka bolokolohi ntle le tšitiso. Khetho e nepahetseng ea liparamente tsa ho beha lintho tse kang khatello, mocheso le nako ea ho beha lintho e netefatsa botenya bo nepahetseng ba filimi le ho tšoana bakeng sa liphetho tse ntle.
3. Khetho ea mohloli oa mouoane: Khetho ea mohloli oa mouoane e ama haholo ts'ebetso ea ho beoa ha PVD. Thepa e khethiloeng e lokela ho ba e hloekileng haholo ho netefatsa boleng bo botle ba filimi. Mehloli e tsebahalang ea mouoane e kenyelletsa likepe tse futhumetseng tse hanelang, mehloli ea mahlaseli a elektrone, kapa li-cathode tsa magnetron sputtering, e 'ngoe le e 'ngoe e etselitsoe ho fihlela litlhoko tse itseng.
4. Tlhokomelo le taolo ea botenya ba filimi: Tlhokomelo ea nako ea sebele le taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi ke tsa bohlokoa bakeng sa ho beoa ha PVD ka mokhoa o tsitsitseng le o nepahetseng. Mahlale a sejoale-joale a kang li-microbalance tsa kristale ea quartz le litsamaiso tsa tlhokomelo ea mahlo li lumella taolo e ntlafalitsoeng le liphetoho nakong ea ts'ebetso ea ho beoa. Ho boloka botenya bo lekaneng ba filimi ho netefatsa ts'ebetso le ts'ebetso e lakatsehang.
5. Kalafo ea kamora ho beoa: Kamora hore ho beoa ha PVD ho phethehe, mehato ea kamora kalafo e ka ntlafatsa thepa ea filimi haholoanyane. Ho beoa ha annealing, ho beoa ha ion, kapa ho beoa ha ion ke mekhoa e sebelisoang haholo ho ntlafatsa ho khomarela, ho qeta bokaholimo le ho phomola khatello ea maikutlo ea lifilimi tse beiloeng. Kalafo e nepahetseng kamora ho beoa e netefatsa nako e telele le ts'ebetso ea lipeipi tsa PVD.
Nako ea poso: Phupu-24-2023