Tlhahisong ea sejoale-joale, mahlale a ho boloka filimi e tšesaane a sebelisoa haholo liindastering tse fapaneng ho kenyeletsoa lisebelisoa tsa elektroniki, optics, likoloi le lifofane. Ho khetha mokhoa o nepahetseng oa ho koahela ka vacuum ho bohlokoa ho netefatsa boleng ba sehlahisoa, ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso le litšenyehelo tsa taolo. Joaloka mokhoa o tsoetseng pele oa boenjiniere ba bokaholimo, ho boloka ka vacuum ho kenyelletsa mekhoa e fapaneng ea ho koahela, e 'ngoe le e 'ngoe e na le melemo e ikhethang le lisebelisoa tsa ts'ebeliso.
Kahoo, o tseba jwang hore na ke mokgwa ofe wa ho roala o loketseng ditlhoko tsa hao? Tataiso ena e hlalosa mekgwa e sebediswang haholo ya ho roala ka vacuum le dintlha tsa bohlokwa tseo o lokelang ho di nahana ha o kgetha mokgwa wa ho ntsha peterole.
Mekhoa e Tloaelehileng ea ho Koahela ka Vacuum
1. Ho Ntša Mouoane oa 'Mele (PVD)
PVD e bolela sehlopha sa mekhoa ea ho roala ka vacuum moo thepa e fetoloang mouoane 'meleng ebe e khutsufatsoa e le filimi e tšesaane holim'a substrate. Mekhoa e tsebahalang ea PVD e kenyelletsa:
Ho qhalana ha Magnetron, Mouoane oa Thermal, Mouoane oa Electron Beam (E-beam)
PVD e fana ka boleng bo holimo ba filimi, ho khomarela ho babatsehang, ho tšoana hantle, le ho ba le filimi e teteaneng. E loketse mefuta e mengata ea litšepe, liseramike le li-alloy.
Likopo tse Tloaelehileng:
PVD e loketse dikarolo tsa elektroniki, dikobo tse kgabisitsweng, le dikobo tse thata, haholoholo ha ho hlokahala matla a ho kgomarela le ho tshwarella ho hoholo.
2. Ho Ntša Mouoane ka Lik'hemik'hale (CVD)
CVD ke ts'ebetso eo ho eona likhase tse fetohang tsa pele ho lintho tse fetohang li arabelang ka lik'hemik'hale haufi le kapa holim'a bokaholimo ba substrate ho etsa filimi e tšesaane e tiileng. E lumella taolo e nepahetseng holim'a botenya ba filimi, sebopeho le ho tšoana.
Likopo tse Tloaelehileng:
CVD e sebelisoa haholo indastering ea semiconductor, li-photovoltaics tsa letsatsi, le lipente tse nepahetseng tsa optical, moo lifilimi tse hloekileng haholo le tse nang le tekano e phahameng li leng bohlokoa.
3. Ho Ntlafatsoa ha Mouoane oa Lik'hemik'hale o Ntlafalitsoeng ke Plasma (PECVD)
PECVD ke mofuta o mong oa CVD o sebelisang ho hlasimolla plasma ho ntlafatsa liketso tsa lik'hemik'hale mochesong o tlase oa ho beha, ho nolofalletsa ho koahela holim'a li-substrate tse utloang mocheso.
Likopo tse Tloaelehileng:
PECVD e sebediswa diseleng tsa letsatsi tse nang le filimi e tshesane, dipontsho tsa OLED, le di-microelectronics, haholo-holo bakeng sa difilimi tse sebetsang tsa maemo a elektroniki.
4. Sekoahelo sa mouoane
Ho koahela mouoane ho kenyelletsa ho futhumatsa thepa e tiileng ea mohloli tlas'a vacuum ho fihlela e fetoha mouoane kapa e fetoha mouoane, ebe e fetoha e teteaneng holim'a substrate ho etsa filimi e tšesaane. Mekhoa e tloaelehileng e kenyelletsa mouoane oa mocheso le mouoane oa mahlaseli a elektrone.
Mokhoa ona o bonolo haholo, o theko e tlase, 'me o loketse lits'ebetso moo ho sa hlokeheng taolo e matla haholo holim'a thepa ea filimi.
Likopo tse Tloaelehileng:
Mouoane o sebelisoa haholo bakeng sa ho roala ka ponahalo, mekhabiso e khabisitsoeng, le mealo e sireletsang, haholo-holo maemong a theko e tlase, a sebaka se seholo.
5. Ho lahla ka ho ntsha metsi
Ho ntsha matheba ho kenyeletsa ho hlasela thepa e reretsoeng ka li-ion tse nang le matla a mangata, e leng se etsang hore liathomo li ntšetsoe 'me li beoe holim'a substrate. E fana ka lifilimi tse nang le bongata bo boholo, tse nang le tšireletso e ntle ea mehato holim'a li-geometri tse rarahaneng tsa substrate.
Likopo tse Tloaelehileng:
Ho sputtering ho sebediswa haholo di-semiconductors, difiliming tsa optical, mecha ya makenete le dikoahelo tse thata, haholoholo moo ho lekana le ho kgomarela ha filimi ho leng bohlokwa.
Lintlha tsa Bohlokoa ha ho Khethoa Mokhoa oa ho Koahela ka Vacuum
1. Lisebelisoa tsa Substrate le Jeometri
Sebopeho le sebopeho sa substrate (mohlala, tšepe, khalase, ceramic, polasetiki) li susumetsa haholo khetho ea ts'ebetso. Bakeng sa li-geometri tse rarahaneng tsa 3D, CVD le ho phunya li fana ka ho lumellana le ho tšoana ho hoholo. Bakeng sa substrate tse bataletseng kapa tse bonolo, mouoane le PVD li ka lekana.
2. Matlotlo a Lakatsehang a Filimi
Litšobotsi tsa ts'ebetso ea sepheo sa ho roala ke ntlha ea bohlokoa. Mohlala:
Bakeng sa ho thatafala ho hoholo le ho hanyetsa ho tsofala, ho sputtering ha magnetron (PVD) ho loketse.
Bakeng sa lifilimi tse sebetsang mochesong o tlase le tse hloekileng haholo, PECVD e khethoa.
Bakeng sa ho roala ka botle kapa mekhabiso, ho fetoha mouoane ke khetho e theko e tlaase haholoanyane.
3. Bokgoni ba Litšenyehelo le Tlhahiso
Mokhoa o mong le o mong o fapana ho ya ka matsete a motse-moholo le ditjeo tsa tshebetso:
Ho fetoha ha mouoane ho theko e tlase mme ho loketse tlhahiso e phahameng, empa ho na le taolo e sa nepahalang ya filimi.
PVD le CVD li fana ka boleng bo holimo ba filimi empa li hloka litšenyehelo tse phahameng tsa lisebelisoa le ho rarahana ha tekheniki.
Baetsi ba liqeto ba tlameha ho leka-lekanya litšenyehelo khahlanong le ts'ebetso ho latela litlhoko tsa sehlahisoa.
4. Litlhoko tsa Botenya ba Filimi le ho Tšoana
Haeba ts'ebeliso ea hau e hloka taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi le ho tšoana, lits'ebetso tsa PVD le CVD li loketse haholoanyane. Ka lehlakoreng le leng, mouoane le ho qhalana ha lintho tsa motheo li ka amoheleha bakeng sa liphahlo tse nang le mamello e fokolang ea botenya.
5. Mehopolo ea Tikoloho le Polokeho
Mekhoa e meng ea ho tlosa lintho tse kotsi—haholo-holo CVD le PECVD—e kenyelletsa likhase tse arabelang kapa tse kotsi. Litaolo tse nepahetseng tsa polokeho le litsamaiso tsa moea lia hlokahala. Ka lehlakoreng le leng, PVD ka kakaretso e hloekile ebile e mosa haholoanyane tikolohong, e leng se etsang hore e be khetho e sireletsehileng bakeng sa mesebetsi e mengata.
Ho khetha mokhoa o nepahetseng oa ho roala ka vacuum ho bohlokoa ho fihlella ts'ebetso e lakatsehang ea filimi, ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso, le ho laola litšenyehelo. Ka ho utloisisa melemo, meeli le libaka tsa ts'ebeliso ea ts'ebetso ka 'ngoe, u ka etsa liqeto tse nang le tsebo tse lumellanang le litlhoko tsa hau tse ikhethileng tsa sehlahisoa.
Hore na sepheo sa hao ke ho ntlafatsa ho khomarela bokaholimo, ho ntlafatsa ho hanyetsa ho tsofala, ho ntlafatsa ts'ebetso ea mahlo, kapa ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso, ho khetha theknoloji e nepahetseng ea ho roala ho tla ama boleng ba sehlahisoa sa hau ka kotloloho le tlholisano ea 'maraka.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum moetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Pulungoana-12-2025