Wax soo saarka casriga ah, teknoolojiyada kaydinta filimada khafiifka ah ayaa si weyn looga isticmaalaa warshado kala duwan oo ay ku jiraan elektaroonigga, indhaha, baabuurta, iyo hawada sare. Xulashada habka dahaarka faakuumka ee ku habboon waa muhiim si loo hubiyo tayada badeecada, loo xoojiyo waxtarka wax soo saarka, iyo loo xakameeyo kharashyada. Iyada oo ah farsamo injineernimo dusha sare oo horumarsan, kaydinta faakuumka waxay ka kooban tahay habab kala duwan oo dahaarka ah, mid walbana wuxuu leeyahay faa'iidooyin iyo baaxado codsi.
Haddaba, sidee baad u go'aamin kartaa habka dahaadhka ugu habboon baahiyahaaga? Tilmaamahan wuxuu qeexayaa farsamooyinka dahaadhka faakuumka ee ugu badan ee la isticmaalo iyo arrimaha muhiimka ah ee la tixgelinayo marka la dooranayo habka dhigista.
Hababka Caadiga ah ee Dahaadhka Faakuumka
1. Dhigista Uumiga Jirka (PVD)
PVD waxaa loola jeedaa koox farsamooyin dahaadh faakuum ah halkaas oo walxaha si jidh ahaan loo uumi-bixiyo ka dibna loo ururiyo sidii filim khafiif ah oo dusha sare ee substrate-ka ah. Hababka caanka ah ee PVD waxaa ka mid ah:
Buufinta Magnetron, Uumi-baxa Kulaylka, Uumi-baxa Elektarooniga (E-beam)
PVD waxay bixisaa tayo sare oo filim ah, isku-dhejin aad u fiican, isku-midnimo, iyo cufnaanta filimka. Waxay ku habboon tahay noocyo badan oo biraha, dhoobada, iyo alwaaxyada.
Codsiyada Caadiga ah:
PVD waxay ku habboon tahay qaybaha elektaroonigga ah, dahaarka qurxinta, iyo dahaarka adag, gaar ahaan marka loo baahdo xoog dhejis sare iyo cimri dherer.
2. Kaydinta Uumiga Kiimikada (CVD)
CVD waa hab ay gaasaska horudhaca ah ee isbeddela si kiimiko ah uga falceliyaan meel u dhow ama dusha sare ee substrate-ka si ay u sameeyaan filim khafiif ah oo adag. Waxay u oggolaanaysaa xakamaynta saxda ah ee dhumucda filimka, halabuurka, iyo isku-midnimada.
Codsiyada Caadiga ah:
CVD waxaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha semiconductor-ka, fotovoltaics-ka qorraxda, iyo dahaarka indhaha ee saxda ah, halkaas oo filimaan saafi ah oo isku mid ah ay muhiim u yihiin.
3. Kaydinta Uumiga Kiimikada ee La Kordhiyay Balaasmaha (PECVD)
PECVD waa nooc ka mid ah CVD kaas oo adeegsada kicinta balaasmaha si kor loogu qaado falgallada kiimikada heerkulka hoose ee dhigista, taasoo suurtogalinaysa dahaarka substrate-ka xasaasiga u ah kulaylka.
Codsiyada Caadiga ah:
PECVD waxaa loo isticmaalaa unugyada qorraxda ee khafiifka ah, bandhigyada OLED, iyo microelectronics, gaar ahaan filimada shaqeynaya ee heerka elektaroonigga ah.
4. Dahaarka uumiga
Dahaarka uumi-baxa waxaa ku jira ku kululaynta walxaha adag ee ku jira faakuumka ilaa ay ka dhalaalaan ama ay ka baxaan, ka dibna ku ururaan substrate-ka si ay u sameeyaan filim khafiif ah. Hababka caadiga ah waxaa ka mid ah uumi-baxa kulaylka iyo uumi-baxa shucaaca elektarooniga ah.
Farsamadani waa mid fudud, kharash yar, oo si fiican ugu habboon codsiyada aan loo baahnayn xakameyn aad u adag oo ku saabsan sifooyinka filimka.
Codsiyada Caadiga ah:
Uumi-baxa waxaa si weyn loogu isticmaalaa dahaarka milicsiga, dhammaystirka qurxinta, iyo lakabka ilaalinta, gaar ahaan xaaladaha kaydinta ee qiimaha jaban, ee meelaha waaweyn.
5. Bixinta Lacagta
Kala-baxa waxaa ka mid ah in walxaha bartilmaameedka ah lagu duqeeyo aayoon tamar sare leh, taasoo keenta in atamka la soo saaro oo lagu shubo substrate-ka. Waxay bixisaa filimaan cufnaan sare leh, oo leh dabool wanaagsan oo ku saabsan joomatariyada substrate-ka adag.
Codsiyada Caadiga ah:
Sputtering-ka waxaa si weyn loogu isticmaalaa semiconductors-ka, filimada indhaha, warbaahinta magnetic-ga, iyo dahaarka adag, gaar ahaan meelaha ay muhiim u tahay isku-dhafka filimka sare iyo dhegdheggu.
Qodobbada Muhiimka ah ee Xulashada Habka Dahaarka Faakuumka
1. Qalabka Substrate-ka iyo Joomatari
Halabuurka iyo qaabka substrate-ka (tusaale ahaan, birta, galaaska, dhoobada, balaastikada) waxay si weyn u saameeyaan xulashada habka. Joomatariyada adag ee 3D, CVD iyo sputtering waxay bixiyaan qaab-dhismeed heer sare ah iyo isku-midnimo. Substrate-yada siman ama kuwa fudud, uumi-baxa iyo PVD ayaa ku filnaan kara.
2. Astaamaha Filimada La Rabo
Astaamaha waxqabadka bartilmaameedka ee dahaarka ayaa ah qodob muhiim ah. Tusaale ahaan:
Adkaanta sare iyo iska caabbinta xirashada, magnetron sputtering (PVD) ayaa ku habboon.
Filimada heerkulka hooseeya iyo kuwa saafiga ah, PECVD ayaa la doorbidaa.
Dahaarka bilicda ama qurxinta, uumi-baxa waa doorasho kharash-ool ah.
3. Qiimaha iyo Waxtarka Wax Soo Saarka
Hab kastaa wuu ku kala duwan yahay maalgashiga raasamaalka iyo kharashka hawlgalka:
Uumi-baxa waa mid kharash yar leh wuxuuna ku habboon yahay wax soo saarka wax-soo-saarka sare leh, laakiin leh xakameyn filim oo aan sax ahayn.
PVD iyo CVD waxay bixiyaan tayo filim oo heer sare ah laakiin waxay u baahan yihiin kharash qalab oo sarreeya iyo kakanaanta farsamada.
Go'aan-qaatayaashu waa inay isku dheelitiraan kharashka iyo waxqabadka iyadoo loo eegayo shuruudaha badeecada.
4. Shuruudaha Dhumucda Filimka iyo Isku-midnimada
Haddii codsigaagu u baahan yahay xakameyn sax ah oo dhumucda filimka ah iyo isku midnimo, hababka PVD iyo CVD ayaa si fiican ugu habboon. Dhanka kale, uumi-baxa iyo buufinta aasaasiga ah ayaa laga yaabaa inay aqbalaan dahaarka aan lahayn dulqaad dhumuc yar.
5. Tixgelinta Deegaanka iyo Badbaadada
Qaar ka mid ah hababka dhigista - gaar ahaan CVD iyo PECVD - waxay ku lug leeyihiin gaasas falgal ah ama khatar ah. Xakamaynta badbaadada saxda ah iyo nidaamyada hawo-qaadashada ayaa lagama maarmaan ah. Taas bedelkeeda, PVD guud ahaan waa mid nadiif ah oo deegaanka u fiican, taasoo ka dhigaysa doorasho ammaan ah oo loogu talagalay hawlgallo badan.
Xulashada habka saxda ah ee dahaarka faakuumka ayaa lagama maarmaan u ah gaarista waxqabadka filimka la doonayo, hagaajinta hufnaanta wax soo saarka, iyo maaraynta kharashyada. Markaad fahamto faa'iidooyinka, xaddidaadaha, iyo baaxadda codsiga ee geeddi-socod kasta, waxaad samayn kartaa go'aanno xog ogaal ah oo ku habboon baahiyahaaga gaarka ah ee badeecada.
Hadday tahay hadafkaagu inuu kor u qaado isku-dhejinta dusha sare, hagaajinta iska caabbinta xirashada, hagaajinta waxqabadka indhaha, ama yaraynta kharashyada wax soo saarka, doorashada tiknoolajiyada dahaarka saxda ah waxay si toos ah u saameyn doontaa tayada badeecadaada iyo tartanka suuqa.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumka saaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Noofambar-12-2025