Ka ntshetsopele e tswelang pele ya mekgwa e sa hlaseleng haholo, disebediswa tsa bongaka tse ka kenngwang, disebediswa tsa ho buoa, le dikarolo tsa bongaka tse nepahetseng haholo, ditlhoko tsa tshebetso ya bokahodimo di ntse di thatafala le ho feta. Di-substrate tsa disebediswa tsa bongaka ha di a lokela ho fihlella feela ditlhoko tsa ho nepahala ha boholo le ho ikamahanya le dibopeho, empa hape di ka hloka ho ntlafala ha ho kgeloha, ho hanyetsa ho bola, ho tlotsa, ho thatafala, le botsitso ba bokahodimo ka mahlale a tswetseng pele a ho roala.
Ha ho bapisoa le lits'ebetso tsa ho roala tse khabisitsoeng, ho roala ho sebetsang bakeng sa lisebelisoa tsa bongaka ho hatisa haholo ts'ebetso ea ho roala, ho pheta-pheta ha ts'ebetso, ho lumellana ha substrate, le ho sala morao ha tlhahiso. Ka hona, ho khetha lisebelisoa tse loketseng tsa ho roala ka vacuum ha se taba feela ea ho khetha mochini o moholo kapa o sebetsang hantle. Ho hloka ho bapisa sebopeho sa lisebelisoa le thepa ea substrate, jiometri ea likarolo, sistimi ea ho roala, ts'ebetso ea sepheo, le bokhoni ba tlhahiso.
Sekoahelo sa Sesebelisoa sa Bongaka se Laoloa ke Litlhoko tse Sebetsang
Likarolo tsa lisebelisoa tsa bongaka li etsoa ka mefuta e fapaneng ea thepa, ho kenyeletsoa tšepe e sa ruseng, li-alloy tsa titanium, li-alloy tsa cobalt-chromium, polasetiki ea boenjiniere, le thepa e 'ngoe e ikhethang. Li-substrate tse fapaneng li na le litšobotsi tse fapaneng tsa mocheso, maemo a bokaholimo, le litlhoko tsa kalafo ea pele le ho khomarela ka lesela.
Bakeng sa disebediswa tsa ho buoa le dikarolo tsa bongaka tse nepahetseng, dikobo tse thata tse kang TiN, TiCN, TiAlN, le CrN di ka nahanelwa moo ho hlokahalang ho ntlafala ha ho kgeloha, ho thatafala ha bokahodimo, le botsitso ba dikhemikhale. Bakeng sa dikarolo moo ho kgohlano le tshebetso e thellang e leng tsa bohlokwa, dikobo tse tlase tse kang DLC (Diamond-Like Carbon) di ka nkuwa e le ho fokotsa kgohlano le ho ntlafatsa ho tshwarella ha bokahodimo.
Ka hona, mokhoa oa ho koahela o tlameha ho ntlafatsoa ho potoloha ts'ebeliso ea 'nete ho e-na le thepa ea ho koahela feela. Ho lokisoa ha substrate, ho hloekisoa ha plasma, ho etching ha ion, moralo oa mekhahlelo e fapaneng, ho beoa ha sekoahelo, le kalafo ea kamora kalafo kaofela li susumetsa ts'ebetso ea ho qetela ea sekoahelo.
Li-geometri tse rarahaneng li hlahisa litlhoko tse phahameng bakeng sa ho ikamahanya le maemo ha lisebelisoa
Likarolo tsa lisebelisoa tsa bongaka hangata li khetholloa ka litekanyo tse nyane, li-geometri tse rarahaneng tsa mahlakore a mararo, masoba a tebileng, li-groove tse tšesaane, mathoko a bohale, le libaka tse sebetsang tse nang le litlhoko tse fapaneng tsa ho roala. Litšobotsi tsena tsa sebopeho li ama ka kotloloho phihlello ea ho roala le kabo ea botenya.
Bakeng sa lits'ebetso tsa ho beha mola oa pono, joalo ka mouoane oa arc oa cathodic o tloaelehileng, li-geometri tse rarahaneng li ka fella ka litlamorao tsa moriti le ho koahela ka mokhoa o sa lekanang. Ka hona, khetho ea lisebelisoa e hloka ho nahana ka tlhophiso le palo ea li-cathode, ho potoloha ha substrate le mekhoa ea phetoho, moralo oa sesebelisoa, sebaka sa mohloli ho ea ho substrate, le kabo ea plasma.
Sistimi e hlophisitsoeng hantle ea ho laola substrate ea li-axis tse ngata e ka fetola tsela eo karolo ea mosebetsi e shebaneng le mohloli oa ho roala ka eona khafetsa, e ntlafatsa ho koahela ha ho roala le ho tšoana ha botenya holim'a libaka tse rarahaneng. Bakeng sa likarolo tsa bongaka tsa boleng bo holimo, moralo oa lisebelisoa o bohlokoa haholo hobane o tlameha ho eketsa katleho ea ho jara ha o ntse o netefatsa ho kopana ho tsitsitseng ha motlakase, ho pepesehela plasma ka katleho, le ho beha sebaka se ka phetoang ho tloha sehlopheng se seng ho ea ho se seng.
Kalafo ea Pele le Boenjiniere ba Sebopeho sa Sebopeho li Bohlokoa ho Khomareleng ea ho Koahela
Bakeng sa lipente tsa bongaka tse sebetsang, ho fihlella thepa e hlokahalang ea filimi ho qala ka ho fumana bokaholimo bo hloekileng le bo sebetsang ba substrate.
Pele ho tshelwa, ho hlwekisa plasma ka vacuum le ho etching ion ho ka sebediswa ho tlosa ditshila tsa bokahodimo le meedi e fokolang ya moedi ha ho ntse ho kenngwa tshebetsong bokahodimo ba substrate. Ho itshetlehile ka thepa ya substrate le sistimi ya ho roala, lera le loketseng la ho kopanya kapa sebopeho sa sebopeho se nang le maemo le sona se ka kenngwa ho ntlafatsa kgomarelo ya interfacial le ho fokotsa kgatello e setseng.
Sena se bohlokoa haholo bakeng sa lisebelisoa tsa bongaka tse jarisoang khafetsa ka mechine, khohlano, ho sterilization, kapa tikoloho e senyang. Sekoahelo se nang le thepa e ntle ea tlhaho se ntse se ka hloleha pele ho nako haeba tokisetso ea bokaholimo ba substrate le sebopeho sa sekoahelo-substrate li sa laoloe hantle.
Ka hona, sethala sa lisebelisoa bakeng sa liphahlo tse sebetsang tsa bongaka se lokela ho fana ka maemo a ts'ebetso a tsitsitseng le a laolehang bakeng sa ho hloekisa plasma, ho khetholla substrate, taolo ea khase e arabelang, le ho beha liphahlo, ho e-na le ho tsepamisa maikutlo feela mohloling oa ho beha.
Tlhophiso ea Lisebelisoa e Lokela ho Tsamaellana le Ts'ebetso ea ho Koahela
Mekhoa e fapaneng ea ho koahela e sebetsang e hloka litlhophiso tse fapaneng tsa lisebelisoa. Bakeng sa liphahlo tse thata tsa PVD, sistimi ka kakaretso e hloka ho fana ka mouoane o tsitsitseng oa arc ea cathodic kapa bokhoni ba ho phunya ha magnetron, taolo e nepahetseng ea khase e arabelang, taolo ea leeme la substrate, le motsamao o tšepahalang oa substrate.
Bakeng sa DLC le liphahlo tse ling tse tsoetseng pele tse sebetsang, lisebelisoa li ka 'na tsa hloka ho kopanya theknoloji ea PECVD, PVD, kapa ea ho kopanya liphahlo, ho latela sebopeho le ts'ebetso ea filimi e hlokahalang. Li-parameter tse kang plasma density, precursor gas flow, bias voltage, deposition thempereichara, le botenya ba filimi li hloka ho laoloa ka nepo ho fumana litšobotsi tse lakatsehang tsa ho roala.
Bakeng sa likarolo tsa bongaka tse amehang mochesong, taolo ea mocheso oa substrate ke ntho e 'ngoe ea bohlokoa eo u lokelang ho e ela hloko. Moroalo o feteletseng oa mocheso o ka baka liphetoho tsa boholo, ho senyeha ha substrate, kapa ho senyeha ha thepa ea thepa. Ka hona, lisebelisoa li lokela ho kenyelletsa sistimi e loketseng ea ho pholisa, leano la taolo ea mocheso, le bokhoni ba ho beha leihlo ts'ebetso ho boloka karolo ea mosebetsi ka har'a fensetere ea eona ea mocheso e lumelletsoeng.
Ho Tsitsisa Tlhahiso ke Tlhokahalo ea Bohlokoa bakeng sa Likopo tsa Bongaka
Ho koahela lisebelisoa tsa bongaka ha se feela taba ea ho fumana sekoahelo se tšoanelehang sampole e le 'ngoe. Bakeng sa tlhahiso ea indasteri, phephetso ea bohlokoa ka ho fetisisa ke ho boloka boleng ba sekoahelo bo ka phetoang ho pholletsa le lihlopha tse fapaneng le lipotoloho tsa tlhahiso.
Botsitso ba lisebelisoa, ts'ebetso ea sistimi ea vacuum, botsitso ba plasma, taolo ea phallo ea khase, phetisetso ea phepelo ea motlakase, motsamao oa substrate, taolo ea mocheso, le taolo ea diresepe kaofela li ka ama botsitso ba ho koahela. Ka hona, sistimi e entsoeng hantle e lokela ho fana ka taolo e tsitsitseng ea ts'ebetso le maemo a ho beha a ka ikatisang ha ka nako e ts'oanang e fokotsa phapang e itšetlehileng ka mosebelisi.
Bakeng sa bahlahisi ba lisebelisoa tsa bongaka, diresepe tsa ho roala li lokela ho ntlafatsoa le ho netefatsoa ho latela jiometri ea likarolo le litlhoko tsa ts'ebeliso. Litekanyetso tsa bohlokoa tsa ts'ebetso li lokela ho beoa leihlo le ho rekotoa nakong eohle ea tlhahiso, ho fana ka motheo o tšepahalang oa ho latela ts'ebetso le taolo ea boleng.
Ho tloha ho "Lisebelisoa tsa ho Koahela" ho ea ho Tharollo e Kopantsoeng ea ho Koahela e Sebetsang
Khetho ea lisebelisoa tsa ho koahela lisebelisoa tsa bongaka e lokela ho ipapisa le ketane e felletseng ea ts'ebetso ho fapana le theknoloji e le 'ngoe ea ho koahela. Ho tloha kalafong ea pele ho substrate le ho kenya tšebetsong plasma ho ea boenjiniere ba sebopeho, ho beha lipeipi, taolo ea mocheso le ho laola substrate, mohato o mong le o mong o ka susumetsa ts'ebetso ea ho qetela ea ho koahela.
Ka lebaka lena, leano le sebetsang la ho bapisa disebediswa le lokela ho qala ka thepa ya substrate, jiometri ya dikarolo, sistimi ya ho kwahela sepheo, thepa e hlokahalang ya tshebetso, mocheso o dumelletsweng wa tshebetso, bokgoni ba tlhahiso, le ditlhoko tsa boleng. Ho itshetlehile ka diparamente tsena, theknoloji ya ho beha, tlhophiso ya kamore, tlhophiso ya cathode kapa tlhophiso ya sepheo, sesebediswa sa substrate, sistimi ya motsamao, sistimi ya vacuum, phepelo ya motlakase, sistimi ya taolo ya kgase, le meralo ya taolo ya tshebetso di ka hlophiswa ka ho ya ka maemo.
Zhenhua Vacuum e fana ka PVD, magnetron sputtering, cathodic arc ion plating, PECVD, le disebediswa tse ding tsa ho kwahela ka vacuum le ditharollo tsa tshebetso bakeng sa ditshebediso tsa kalafo ya bokahodimo bo sebetsang. Ka ho kopanya tlhophiso ya disebediswa le ntshetsopele ya tshebetso, Zhenhua Vacuum e ikemiseditse ho fa bahlahisi ba disebediswa tsa bongaka ditsamaiso tsa ho kwahela tse tsamaellanang le substrate ka botekgeniki, tse ikamahanyang le dijiometri tse rarahaneng, tse tsitsitseng tlhahisong ya bongata, le tse kgonang ho fana ka tshebetso e tsitsitseng ya ho kwahela ka mosebetsi.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke moetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum Letsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Phato-13-2026