ວິທີແກ້ໄຂການຈັບຄູ່ອຸປະກອນສຳລັບການເຄືອບທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ເທິງໜ້າຜິວອຸປະກອນການແພດ

ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງຂັ້ນຕອນການຮຸກຮານໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ອຸປະກອນການແພດທີ່ສາມາດຝັງໄດ້, ເຄື່ອງມືຜ່າຕັດ, ແລະ ອົງປະກອບທາງການແພດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບປະສິດທິພາບຂອງພື້ນຜິວກໍາລັງມີຄວາມເຂັ້ມງວດເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ວັດສະດຸຮອງພື້ນອຸປະກອນການແພດຕ້ອງບໍ່ພຽງແຕ່ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິ ແລະ ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງຊີວະພາບເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ອາດຈະຕ້ອງການຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ຄວາມຫຼໍ່ລື່ນ, ຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພື້ນຜິວທີ່ດີຂຶ້ນໂດຍຜ່ານເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບທີ່ທັນສະໄໝ.

ເມື່ອປຽບທຽບກັບການເຄືອບຕົກແຕ່ງ, ການເຄືອບທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ສຳລັບອຸປະກອນການແພດເນັ້ນໜັກໃສ່ປະສິດທິພາບການເຄືອບ, ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຂອງຂະບວນການ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຊັ້ນວາງ, ແລະ ການຕິດຕາມການຜະລິດ. ດັ່ງນັ້ນ, ການເລືອກອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ເໝາະສົມບໍ່ແມ່ນພຽງແຕ່ການເລືອກເຄື່ອງຈັກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ຫຼື ສູງກວ່າເທົ່ານັ້ນ. ມັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຈັບຄູ່ການຕັ້ງຄ່າອຸປະກອນກັບວັດສະດຸຊັ້ນວາງ, ຮູບຮ່າງຂອງອົງປະກອບ, ລະບົບເຄືອບ, ປະສິດທິພາບເປົ້າໝາຍ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ.

ການເຄືອບອຸປະກອນການແພດແມ່ນຂັບເຄື່ອນໂດຍຄວາມຕ້ອງການດ້ານໜ້າທີ່

ສ່ວນປະກອບອຸປະກອນການແພດແມ່ນຜະລິດຈາກວັດສະດຸຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ລວມທັງເຫຼັກສະແຕນເລດ, ໂລຫະປະສົມໄທທານຽມ, ໂລຫະປະສົມໂຄໂບລ-ໂຄຣມຽມ, ພາດສະຕິກວິສະວະກຳ, ແລະ ວັດສະດຸພິເສດອື່ນໆ. ຊັ້ນຮອງທີ່ແຕກຕ່າງກັນມີລັກສະນະຄວາມຮ້ອນ, ສະພາບພື້ນຜິວ, ແລະ ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບການປະຕິບັດກ່ອນ ແລະ ການຍຶດຕິດຂອງການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ສຳລັບເຄື່ອງມືຜ່າຕັດ ແລະ ອົງປະກອບທາງການແພດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ການເຄືອບແຂງເຊັ່ນ TiN, TiCN, TiAlN, ແລະ CrN ສາມາດພິຈາລະນາໄດ້ໃນບ່ອນທີ່ຕ້ອງການການປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ. ສຳລັບອົງປະກອບທີ່ການສຽດທານ ແລະ ປະສິດທິພາບການເລື່ອນແມ່ນສຳຄັນ, ການເຄືອບທີ່ມີແຮງສຽດທານຕ່ຳເຊັ່ນ DLC (ຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ) ອາດຈະຖືກພິຈາລະນາເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນແຮງສຽດທານ ແລະ ປັບປຸງຄວາມທົນທານຂອງພື້ນຜິວ.

ດັ່ງນັ້ນ, ຂະບວນການເຄືອບຕ້ອງໄດ້ຮັບການພັດທະນາໂດຍອ້ອມຮອບການນຳໃຊ້ຕົວຈິງແທນທີ່ຈະເປັນວັດສະດຸເຄືອບພຽງຢ່າງດຽວ. ການກະກຽມພື້ນຜິວ, ການທຳຄວາມສະອາດພລາສມາ, ການແກະສະຫຼັກໄອອອນ, ການອອກແບບຊັ້ນລະຫວ່າງຊັ້ນ, ການວາງຊັ້ນເຄືອບ, ແລະ ຫຼັງການປະຕິບັດ ລ້ວນແຕ່ມີອິດທິພົນຕໍ່ປະສິດທິພາບການເຄືອບສຸດທ້າຍ.

ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນສ້າງຄວາມຕ້ອງການທີ່ສູງຂຶ້ນສຳລັບຄວາມສາມາດໃນການປັບຕົວຂອງອຸປະກອນ

ອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນການແພດມັກຈະມີລັກສະນະຂະໜາດນ້ອຍ, ຮູບຊົງສາມມິຕິທີ່ສັບສົນ, ຮູເລິກ, ຮ່ອງແຄບ, ຂອບແຫຼມ, ແລະ ພື້ນຜິວທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ມີຄວາມຕ້ອງການການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ລັກສະນະໂຄງສ້າງເຫຼົ່ານີ້ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການເຂົ້າເຖິງການເຄືອບ ແລະ ການແຈກຢາຍຄວາມໜາ.

ສຳລັບຂະບວນການວາງຊັ້ນໃນສາຍຕາ, ເຊັ່ນ: ການລະເຫີຍຂອງກາໂຕດແບບທຳມະດາ, ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຜົນກະທົບຂອງເງົາ ແລະ ການປົກຄຸມຊັ້ນເຄືອບທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບ. ດັ່ງນັ້ນ, ການເລືອກອຸປະກອນຈຶ່ງຈຳເປັນຕ້ອງພິຈາລະນາເຖິງການຈັດລຽງ ແລະ ຈຳນວນຂອງກາໂຕດ, ກົນໄກການໝູນວຽນ ແລະ ການປະຕິວັດຂອງຊັ້ນວາງ, ການອອກແບບອຸປະກອນ, ໄລຍະຫ່າງຈາກແຫຼ່ງທີ່ມາຫາຊັ້ນວາງ, ແລະ ການແຈກຢາຍຂອງພລາສມາ.

ລະບົບການຈັດການຊັ້ນຮອງພື້ນຫຼາຍແກນທີ່ຖືກຕັ້ງຄ່າຢ່າງຖືກຕ້ອງສາມາດປ່ຽນທິດທາງຂອງຊິ້ນວຽກໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງທຽບກັບແຫຼ່ງເຄືອບ, ປັບປຸງການປົກຄຸມເຄືອບ ແລະ ຄວາມສະເໝີພາບຂອງຄວາມໜາໃນພື້ນຜິວທີ່ສັບສົນ. ສຳລັບອົງປະກອບທາງການແພດທີ່ມີມູນຄ່າສູງ, ການອອກແບບອຸປະກອນແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນເປັນພິເສດເພາະມັນຕ້ອງເພີ່ມປະສິດທິພາບການໂຫຼດໃຫ້ສູງສຸດ ໃນຂະນະທີ່ຮັບປະກັນການຕິດຕໍ່ທາງໄຟຟ້າທີ່ໝັ້ນຄົງ, ການສຳຜັດກັບພລາສມາທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ແລະ ຕຳແໜ່ງທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ຈາກຊຸດໜຶ່ງຫາອີກຊຸດໜຶ່ງ.

ການປະຕິບັດກ່ອນ ແລະ ວິສະວະກຳການໂຕ້ຕອບແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຕໍ່ການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນເຄືອບ

ສຳລັບການເຄືອບທາງການແພດທີ່ເຮັດວຽກໄດ້, ການບັນລຸຄຸນສົມບັດຂອງຟິມທີ່ຕ້ອງການເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍການໄດ້ຮັບໜ້າດິນທີ່ສະອາດ ແລະ ເປີດໃຊ້ງານ.

ກ່ອນການວາງຊັ້ນ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍພລາສມາສູນຍາກາດ ແລະ ການແກະສະຫຼັກໄອອອນສາມາດໃຊ້ເພື່ອກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນພື້ນຜິວ ແລະ ຊັ້ນຂອບເຂດທີ່ອ່ອນແອ ໃນຂະນະທີ່ກະຕຸ້ນພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ອີງຕາມວັດສະດຸຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ລະບົບການເຄືອບ, ຊັ້ນຍຶດທີ່ເໝາະສົມ ຫຼື ໂຄງສ້າງຊັ້ນຕໍ່ທີ່ຖືກຈັດລະດັບອາດຈະຖືກນຳສະເໜີເພື່ອປັບປຸງການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອ.

ສິ່ງນີ້ມີຄວາມສຳຄັນໂດຍສະເພາະສຳລັບອຸປະກອນການແພດທີ່ຕ້ອງຮັບການໂຫຼດທາງກົນຈັກຊ້ຳໆ, ການສຽດສີ, ການຂ້າເຊື້ອ, ຫຼື ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນ. ການເຄືອບທີ່ມີຄຸນສົມບັດພາຍໃນທີ່ດີເລີດຍັງສາມາດລົ້ມເຫຼວກ່ອນໄວອັນຄວນໄດ້ ຖ້າການກະກຽມພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ ແລະ ການໂຕ້ຕອບຂອງຊັ້ນເຄືອບ-ຊັ້ນໃຕ້ດິນບໍ່ໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງຖືກຕ້ອງ.

ດັ່ງນັ້ນ, ແພລດຟອມອຸປະກອນສຳລັບການເຄືອບທີ່ເຮັດວຽກທາງການແພດຄວນໃຫ້ເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດພລາສມາ, ການໃຫ້ຄວາມລຳອຽງຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ການຄວບຄຸມອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ແລະ ການວາງຊັ້ນເຄືອບ, ແທນທີ່ຈະສຸມໃສ່ພຽງແຕ່ແຫຼ່ງວາງຊັ້ນເຄືອບເທົ່ານັ້ນ.

ການຕັ້ງຄ່າອຸປະກອນຄວນກົງກັບຂະບວນການເຄືອບ

ລະບົບການເຄືອບທີ່ເຮັດວຽກແຕກຕ່າງກັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຕັ້ງຄ່າອຸປະກອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ສຳລັບການເຄືອບແຂງ PVD, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວລະບົບຈະຕ້ອງໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການລະເຫີຍຂອງກາໂຕດ ຫຼື ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນທີ່ໝັ້ນຄົງ, ການຄວບຄຸມອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາທີ່ຖືກຕ້ອງ, ການຄວບຄຸມຄວາມລຳອຽງຂອງຊັ້ນວາງ, ແລະ ການເຄື່ອນທີ່ຂອງຊັ້ນວາງທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື.

ສຳລັບ DLC ແລະ ການເຄືອບທີ່ມີປະໂຫຍດຂັ້ນສູງອື່ນໆ, ອຸປະກອນອາດຈະຕ້ອງລວມເອົາເຕັກໂນໂລຊີ PECVD, PVD, ຫຼື ໄຮບຣິດໂຄຣໂມຊັນ, ຂຶ້ນກັບໂຄງສ້າງຟິມ ແລະ ປະສິດທິພາບທີ່ຕ້ອງການ. ພາລາມິເຕີຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາ, ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສກ່ອນ, ແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິ, ອຸນຫະພູມການເຄືອບ, ແລະ ຄວາມໜາຂອງຟິມຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງແນ່ນອນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ລັກສະນະການເຄືອບທີ່ຕ້ອງການ.

ສຳລັບອົງປະກອບທາງການແພດທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ອຸນຫະພູມ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນວາງແມ່ນການພິຈາລະນາທີ່ສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງ. ການໂຫຼດຄວາມຮ້ອນຫຼາຍເກີນໄປອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງຂອງມິຕິ, ການເສື່ອມສະພາບຂອງຊັ້ນວາງ, ຫຼື ການເສື່ອມສະພາບຂອງຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸ. ດັ່ງນັ້ນ, ອຸປະກອນຄວນປະກອບມີລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ເໝາະສົມ, ຍຸດທະສາດການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຕິດຕາມກວດກາຂະບວນການເພື່ອຮັກສາຊິ້ນວຽກໃຫ້ຢູ່ພາຍໃນປ່ອງຢ້ຽມອຸນຫະພູມທີ່ອະນຸຍາດ.

ຄວາມສອດຄ່ອງໃນການຜະລິດແມ່ນຄວາມຕ້ອງການຫຼັກສຳລັບການນຳໃຊ້ທາງການແພດ

ການເຄືອບອຸປະກອນການແພດບໍ່ພຽງແຕ່ກ່ຽວກັບການບັນລຸການເຄືອບທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນຕົວຢ່າງດຽວເທົ່ານັ້ນ. ສຳລັບການຜະລິດທາງອຸດສາຫະກຳ, ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສຳຄັນກວ່ານັ້ນແມ່ນການຮັກສາຄຸນນະພາບການເຄືອບທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ໃນຂະບວນການ ແລະ ວົງຈອນການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນ, ປະສິດທິພາບຂອງລະບົບສູນຍາກາດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພລາສມາ, ການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ຄວາມສາມາດໃນການຊ້ຳຄືນຂອງການສະໜອງພະລັງງານ, ການເຄື່ອນທີ່ຂອງຊັ້ນວາງ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ແລະ ການຄຸ້ມຄອງສູດສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນເຄືອບ. ດັ່ງນັ້ນ, ລະບົບທີ່ອອກແບບໄດ້ດີຄວນໃຫ້ການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ເງື່ອນໄຂການວາງຊັ້ນທີ່ສາມາດຜະລິດຊ້ຳໄດ້ ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງທີ່ຂຶ້ນກັບຜູ້ປະຕິບັດງານ.

ສຳລັບຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນການແພດ, ສູດການເຄືອບຄວນໄດ້ຮັບການພັດທະນາ ແລະ ກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຕາມຮູບຮ່າງຂອງສ່ວນປະກອບຕົວຈິງ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການການນຳໃຊ້. ຕົວກຳນົດຂະບວນການທີ່ສຳຄັນຄວນໄດ້ຮັບການຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ບັນທຶກໄວ້ຕະຫຼອດການຜະລິດ, ເຊິ່ງເປັນພື້ນຖານທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືສຳລັບການຕິດຕາມຂະບວນການ ແລະ ການຄຸ້ມຄອງຄຸນນະພາບ.

ຈາກ “ອຸປະກອນເຄືອບ” ໄປສູ່ວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບທີ່ມີປະໂຫຍດປະສົມປະສານ

ການເລືອກອຸປະກອນເຄືອບອຸປະກອນການແພດຄວນອີງໃສ່ລະບົບຕ່ອງໂສ້ຂະບວນການທີ່ສົມບູນແທນທີ່ຈະເປັນເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບດຽວ. ຕັ້ງແຕ່ການປຸງແຕ່ງກ່ອນຊັ້ນວາງ ແລະ ການກະຕຸ້ນພລາສມາ ຈົນເຖິງວິສະວະກຳການໂຕ້ຕອບ, ການວາງຊັ້ນເຄືອບ, ການຄຸ້ມຄອງອຸນຫະພູມ, ແລະ ການຈັດການຊັ້ນວາງ, ທຸກໆຂັ້ນຕອນສາມາດມີອິດທິພົນຕໍ່ປະສິດທິພາບການເຮັດວຽກສຸດທ້າຍຂອງການເຄືອບ.

ດ້ວຍເຫດຜົນນີ້, ຍຸດທະສາດການຈັບຄູ່ອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດທິພາບຄວນເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍວັດສະດຸພື້ນຖານ, ຮູບຮ່າງຂອງອົງປະກອບ, ລະບົບການເຄືອບເປົ້າໝາຍ, ຄຸນສົມບັດການເຮັດວຽກທີ່ຕ້ອງການ, ອຸນຫະພູມຂະບວນການທີ່ອະນຸຍາດ, ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ, ແລະ ຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄຸນນະພາບ. ໂດຍອີງໃສ່ພາລາມິເຕີເຫຼົ່ານີ້, ເຕັກໂນໂລຊີການວາງຊັ້ນ, ການຕັ້ງຄ່າຫ້ອງ, ການຈັດລຽງແຄໂທດ ຫຼື ເປົ້າໝາຍ, ອຸປະກອນພື້ນຖານ, ລະບົບການເຄື່ອນໄຫວ, ລະບົບສູນຍາກາດ, ການສະໜອງພະລັງງານ, ລະບົບຄວບຄຸມອາຍແກັສ, ແລະ ສະຖາປັດຕະຍະກຳການຄວບຄຸມຂະບວນການສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ຕາມຄວາມເໝາະສົມ.

ບໍລິສັດ Zhenhua Vacuum ໃຫ້ບໍລິການເຄືອບ PVD, magnetron sputtering, cathodic arc ion plating, PECVD, ແລະ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດອື່ນໆ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂຂະບວນການ ສຳລັບການນຳໃຊ້ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວທີ່ມີປະໂຫຍດ. ໂດຍການລວມເອົາການຕັ້ງຄ່າອຸປະກອນເຂົ້າກັບການພັດທະນາຂະບວນການ, ບໍລິສັດ Zhenhua Vacuum ມີຈຸດປະສົງເພື່ອໃຫ້ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນການແພດມີລະບົບເຄືອບທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ທາງດ້ານເຕັກນິກກັບວັດສະດຸ, ສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ມີຄວາມໝັ້ນຄົງໃນການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍ, ແລະ ມີຄວາມສາມາດໃນການໃຫ້ປະສິດທິພາບການເຄືອບທີ່ສອດຄ່ອງກັນ.

- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ  ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua