Mumaitiro ekuputira vacuum, tembiricha ye substrate haisi chikamu chechipiri chemaitiro. Inokanganisa zvakananga chimiro che coating, kunamira, kushushikana kwefirimu, hunhu hwe optical, morphology yepamusoro, uye pakupedzisira kugadzikana uye kuvimbika kwechigadzirwa chapera. Sezvo matekinoroji ekuputira achiramba achichinja kusvika padanho repamusoro rekuisa zvinhu, mafirimu akakora akawanda, uye ma coating anoshanda akaomarara, kudzora kukwira kwetembiricha ye substrate kwave chikamu chakakosha chekugadzirwa kwemaitiro uye dhizaini yemidziyo.
Kune masisitimu akasiyana ekuputira, tembiricha yesubstrate ine hwindo rakakodzera rekuita. Kukwira kwakanyanya kwetembiricha kunogona kukonzera kushanduka kwekupisa, kusagadzikana kwehukuru, kuchinja kweruvara rwesubstrate, zvikanganiso zvekuputira, kana kuora kwezvinhu zvinonzwa tembiricha. Kune rumwe rutivi, tembiricha yakaderera yesubstrate inogona kuderedza kufamba kweadatom pamusoro pesubstrate, zvichikonzera kusagadzikana kwemafirimu, kusabatana kwakakwana, uye kushanda kwepurasitiki kusina kugadzikana. Naizvozvo, kutonga kwakanaka kwekupisa hakusi kwekungo "chengetedza substrate ichitonhorera," asi ndeyekuchengetedza substrate iri mukati mehurefu hwakakodzera hwetembiricha mukati menguva yese yekuiswa kwayo.
Sei Kupisa Kwepasi Pevhu Kuchikwira Panguva Yekuputira Vacuum?
Panguva yekuiswa kwevacuum, substrate inosangana nesimba rakawanda. Muzviitiko zvakaita seizviaskupiswa kwemvura nekupisa, kupiswa kwemagetsi nedanda remagetsi, kupwanya kwemagnetron, uye kuiswa kwecathodic arc,substrate haigamuchire simba rinoenderana nerudzi rwekuputira rwuri kusvika chete, asiwo kupisa kwemwaranzi uye, zvichienderana nemaitiro acho, kubhomba kwezvimedu zvine simba.
Semuenzaniso, mukubuda kwemhepo inopisa uye kubuda kwemhepo kubva kumagetsi, mwaranzi inobva kunobva mvura uye zvinhu zvinopisa zviri mukati mekamuri zvinogona kubatsira zvakanyanya pakudziisa kwe substrate. Mukubuda kwemagnetron uye kuiswa kwe cathodic arc, ma energieous ions uye neutral particles zvinogadzirwa muplasma zvinogona kuendesa simba rakawedzerwa kune substrate. Sezvo nguva yekuiswa kwemhepo ichiwedzera, izvi zvinopinda mukupisa zvinoungana, zvichikonzera kuwedzera kuri kuramba kuchiitika kwekupisa kwe substrate.
Hunhu hwekupisa hwe substrate pachayo hwakakoshawo. Zvinhu zvine thermal conductivity yakasiyana, kugona kupisa kwakananga, ukobvu, geometry, uye surface emissivity zvinoratidza maitiro akasiyana ekupisa nekutonhodza. Zvikamu zvepurasitiki zvakatetepa, optical substrates, uye zvikamu zvakagadzirwa nemajekiseni zvakanyatsogadzirwa zvine hwindo rakatetepa rekupisa rinobvumidzwa kupfuura workpieces dzesimbi dzemazuva ano.
Saka, kudzora tembiricha ye substrate kunofanirwa kutariswa kubva pamaonero ehuwandu hwese hwekupisa kwe vacuum coating system, pane kuvimba nechiyero chimwe chete chekutonhodza.
Chinhu Chinokosha Pakudzora Kupisa: Kugadzirisa Kupisa Kunopinda Uye Kuparadza Kupisa
Nheyo huru yekudzora tembiricha ye substrate ndeyekusimbisa kuenzana kuri pakati pekupisa kunopinda uye kupisa kunopera.
Kubva kudivi remidziyo, danho rekutanga nderekuderedza mwaranzi yekupisa isingakoshi inosvika pasi pevhu. Marongerwo uye nzvimbo yenzvimbo yemvura inobuda, cathode inoputika, chibatiso chepasi, zvikamu zvekudzivirira, uye madziro ekamuri zvese zvinogona kukanganisa mutoro wekupisa unowanikwa nechinhu chebasa. Kureba kwakakodzera kubva panobva chinhu kuenda kune chimwe chinhu, dhizaini yekudzivirira, uye maitiro ekugadzirisa zvinogona kuderedza kupisa kwakananga uku zvichichengetedza mwero wekuisa mvura.
Panguva imwe chete, chinhu chinobatisa mvura chinoita basa rakakosha mukutarisira kupisa. Chinhu chinobatisa mvura chakagadzirwa zvakanaka chinogona kuvandudza kufambiswa kwekupisa pakati pechinhu chinobatisa mvura nechinhu chinobatisa mvura, zvichibvumira kupisa kwakaunganidzwa kutamiswa zviri nani kubva panzvimbo yebasa. Pakushandisa zvinhu zvinobatisa mvura kana zvinhu zvinobatisa mvura zvinogona kupa mamiriro ekudzivirira kupisa akasimba mukati menguva yese yekuisa mvura.
Zvisinei, kugona kutonhora chete hakuvimbisi kudzora tembiricha zvakanaka. Kutonhora kwakanyanya kunogonawo kukanganisa maitiro ekuisa zvinhu nekuchinja tembiricha yepamusoro, maitiro ekudziya kwemvura, kuumbwa kwefirimu, uye hunhu hwekukura kwefirimu. Chinangwa chinofanira kuve chekugadzira tembiricha yakadzikama uye inodzorwa pane kungowedzera kugona kutonhora.
Magadzirirwo Ezvinhu Anoonawo Mutoro Wekupisa
Kupisa kwepasi pevhu kwakabatana zvakanyanya nematanho ekuisa zvinhu pasi pevhu. Simba rekuisa zvinhu pasi pevhu, mwero wekuisa zvinhu pasi pevhu, kumanikidzwa kwekushanda kwevhu, voltage yekubiridzira, arc current, simba rekuputika, duty cycle, uye nguva yekuvhara zvese zvinogona kukanganisa huwandu hwesimba rinoendeswa kupasi pevhu.
Semuenzaniso, kuwedzera simba rekuisa zvinhu kunogona kuwedzera mwero wekuisa zvinhu, asi kunogonawo kuwedzera mutoro wekupisa pa substrate. Kuwedzera kusarura kwe substrate kunogona kuwedzera ion bombardment uye kuvandudza density yefirimu, ukuwo kuchiwedzera simba rinopinda mu substrate. Nokudaro, kugadzirisa maitiro kunoda kuenzana pakati pekushanda zvakanaka kwekuisa zvinhu, hunhu hwefirimu, uye mutoro wekupisa.
Pakuputira zvinhu zvine jira rakawanda, kuunganidzwa kwetembiricha kunofanira kutariswa zvakanyanya. Kunyangwe kana kukwira kwetembiricha panguva imwe chete yekuisa zvinhu kuri mukati mehuwandu hunogamuchirwa, kuunganidzwa kwenguva refu kwezvikamu zvakasiyana kunogona kukonzera kupisa kwakawanda. Kuunza nguva dzakakodzera dzekutonhodza, kugadzirisa kutevedzana kwezvikamu, kana kugadzirisa ma process parameters pakati pezvikamu zvakasiyana zvekuisa zvinhu kunogona kubatsira kudzivirira kuunganidzwa kwakanyanya kwetembiricha.
Mukugadzira zvinhu, nzira yakanakisisa yekugadzirisa zvinhu inowanzo gadzirwa kuburikidza nekubatanidza kutarisa tembiricha ye substrate, kudzora mwero wekuisa zvinhu, kugadzirisa ma process parameters, uye kuongorora mashandiro e coating.
Kuenzana kweTembiricha Kwakakosha Sekuenzana kweTembiricha Yepamusoro
Pakugadzirwa kwemidziyo yakawanda, kudzora tembiricha yepamusoro yemidziyo inongova chikamu chimwe chete chedambudziko. Kufanana kwetembiricha pamusoro pemidziyo yese uye pakati pezvinhu zvakasiyana zvebasa kwakakosha zvakaenzana.
Kana nzvimbo dzakasiyana dzebasa dzichisangana nemafuta akasiyana zvakanyanya, kusiyana kunoitika mumamiriro ekukura kwefirimu kunogona kutungamira mukusiyana kweukobvu hwefirimu, chimiro chidiki, mashandiro ekuona, ruvara, kuomarara, kana kushushikana kwakasara. Pamutsetse wekugadzira, kufanana kwekushisa kwakashata kunogona kuzviratidza sekuchinja kwebatch-to-batch kunyangwe kana ma parameter emaitiro asina kuchinja akaramba asina kuchinja.
Ndosaka kutenderera kwe substrate, dhizaini ye fixture, configuration ye chamber, source distribution, uye cooling-channel layout zvichifanira kutariswa se system yakabatana. Pakushandisa coating munzvimbo yakakura kana high-loading loading, thermal field iri mukati me chamber inofanira kuongororwa pamwe chete ne deposition distribution kuti iwane firm yakafanana uye tembiricha yakafanana.
Kudzora Kupisa Kunofanira Kubatanidzwa muMidziyo neMagadzirirwo Emaitiro
Nzira inoshanda yekudzora tembiricha ye substrate inofanira kutanga panguva yekugadzira michina pane kutorwa senzira yekuzogadzirisa matambudziko ekugadzira.
Kamuri rekufukidza, nzvimbo yekubuda kwemvura kana yekubuda kwemvura, chibatiso che substrate, sisitimu yekutonhodza, chimiro chekudzivirira, uye sisitimu yekudzora zvinofanirwa kushanda pamwe chete kudzora maitiro ekupisa kwe substrate. Padanho rekuita, miganho yekupisa inofanira kuiswa mukugadzirwa kwemaresipi ekuisa, uye mhinduro yekupisa ye substrate chaiyo ichishandiswa senzira yakakosha yekuona ma parameter ekuita.
Kune zvikamu zvepurasitiki zvinonzwa tembiricha, zvikamu zveoptical, zvikamu zvemagetsi, nezvimwe zvikamu zvakanyatsonaka, tembiricha inobvumirwa yezvikamu zvepasi inofanira kutsanangurwa zvichienderana nehunhu hwezvinhu uye zvinodiwa zvekupedzisira zvekushandisa. Chinangwa hachisi chekungoisa chete, asi kuve nechokwadi chekuti chikamu chepasi chinoramba chiri mukati mehwindo rayo rinobvumidzwa rekupisa uku uchichengetedza kushanda kwakakodzera kwekuputira.
Kubva pa "Kuderedza Tembiricha" kuenda pa "Kutarisira Maitiro Ekupisa"
Sezvo mashandisirwo ekuputira vacuum achiwedzera kuwanda, kudzora tembiricha yesubstrate kuri kuchinja kubva padambudziko rekutonhodza kuenda padambudziko guru rekugadzirisa maitiro ekupisa.
Maitiro ekuvhara vacuum akagadzirwa zvakanaka anofanira kufunga kuti kupisa kunobva kupi, kuti kupisa kunotamiswa sei, kuti kunoungana kupi, uye kuti kunogona kuparadzirwa sei zvinobudirira. Nekubatanidza marongero emidziyo, dhizaini yemidziyo, kugona kutonhora, maparamita ekuisa, kutenderera kwesubstrate, uye kutevedzana kwemaitiro, zvinokwanisika kugadzira nharaunda yakadzikama yekupisa yekuisa coating.
Kune vagadziri vemachira, chinangwa chikuru hachisi chekutevera tembiricha yakaderera inogoneka ye substrate, asi kuchengetedza substrate mukati mehwindo rakakodzera, rakagadzikana, uye rinodzokororwa. Izvi zvinopa hwaro hwakavimbika hwekunamatira machira, huwandu hwefirimu, mashandiro ekuona, hunhu hwemakanika, uye kugadzikana kwekugadzirwa.
Zhenhua Vacuum inoramba ichivandudza michina yekuputira vacuum uye mhinduro dzekugadzirisa zvinoenderana nezvinodiwa chaizvo pakugadzira, ichibatanidza manejimendi yekupisa mukugadzira michina nekugadzira maitiro ayo kubatsira vatengi kuwana mhando yekuputira yakagadzikana, kugara kwenguva refu kwekugadzira, uye kugadzirwa kwakawanda kunoshanda.
-Chinyorwa ichi chakabudiswa bymugadziri wemidziyo yekuputira vacuum Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Nyamavhuvhu-20-2026