ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන අංශයේ, සෙරමික් ධාරිත්රක සහ ප්රතිරෝධකවල සන්නායකතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය නිෂ්පාදන ආයු කාලය තීරණය කරන තීරණාත්මක සාධක වේ. සාම්ප්රදායිකව, කර්මාන්තය 20μm ඝන රිදී තට්ටුවක් ගොඩනැගීම සඳහා විද්යුත් ආලේපන රිදී හෝ රිදී පේස්ට් තිර මුද්රණය මත විශ්වාසය තබා ඇති අතර එමඟින් සන්නායකතාවය, කල්පැවැත්ම සහ සල්ෆරීකරණ ප්රතිරෝධය සහතික කෙරේ. කෙසේ වෙතත්, රිදී මිල අඛණ්ඩව ඉහළ යාමත් සමඟ, මෙම "ඝන-ස්ථර" ප්රවේශය නිෂ්පාදකයින් සඳහා සැලකිය යුතු පිරිවැය බරක් බවට පත්ව ඇත - රිදීවල එක් එක් අතිරේක මයික්රෝනය ඒකකයකට පිරිවැය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි. ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයේ යුගයේ, කාර්ය සාධනයට හානි නොකර රිදී පරිභෝජනය දැඩි ලෙස අඩු කරන්නේ කෙසේද යන්න අභියෝගයකි.
“ඝන ආලේපනයේ” සිට “නිරවද්ය ආලේපනය” දක්වා, ෂෙන්හුවා වැකුම් හි ස්පුටරින් තාක්ෂණය තාක්ෂණික දියුණුවක් ලබා දෙයි.
මෙම අභියෝගයට මුහුණ දීම සඳහා, Zhenhua Technology විසින් සෙරමික් ධාරිත්රක සහ ප්රතිරෝධක සඳහා කැපවූ අඛණ්ඩ රික්ත ආලේපන රේඛාවක් සංවර්ධනය කර ඇති අතර, එය මූලික වශයෙන් වෙනස් විසඳුමක් සපයයි: සාම්ප්රදායික ක්රියාවලීන් හිමිකාර රික්තක ස්පුටරින් තාක්ෂණය සමඟ ප්රතිස්ථාපනය කිරීම. ඉහළ රික්තක පරිසරයක මැග්නට්රෝන ස්පුටරින් භාවිතා කරමින්, රිදී පරමාණු අධි ශක්ති අංශු ලෙස තැන්පත් කර, උපස්ථර මතුපිට ඝන, සිදුරු රහිත ආලේපන සාදයි.
මෙම ප්රවේශයේ මූලික වාසිය වන්නේ නිරවද්යතාවය සහ ඝනත්වයයි. 500nm සහ 2μm අතර රිදී ස්ථර ඝණකම පාලනය කිරීමෙන්, නිෂ්පාදන රේඛාව මූලාශ්රයේදී රිදී පරිභෝජනය 60% කට වඩා අඩු කරයි, පිරිවැය සීමාවන් සෘජුවම ආමන්ත්රණය කරයි. විද්යුත් ආලේපිත රිදීවල රළු ව්යුහයන් හෝ රිදී පේස්ට් මුද්රණයේ ඝණකම විචලනය හා සසඳන විට, රික්ත-ස්පුටර් කරන ලද ස්ථර අවම ඝණකම අපගමනය පෙන්නුම් කරයි, මිනිත්තු තුනක් තරම් වේගවත් නිෂ්පාදන චක්රයක් ඇත. අතිරේකව, මෙම ස්ථර උසස් සල්ෆරීකරණ ප්රතිරෝධය පෙන්නුම් කරයි, මූලික වශයෙන් රිදී අයන සංක්රමණය හේතුවෙන් අසාර්ථක වීමේ අවදානම ඉවත් කරමින්, "අඩු ද්රව්ය, ශක්තිමත් කාර්ය සාධනය" පිළිබඳ තාක්ෂණික පිම්මක් අත්කර ගනී.
තාක්ෂණික නවෝත්පාදනයෙන් ඔබ්බට, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වෘත්තීය විශේෂඥතාව මත රඳා පවතී. රික්ත ආලේපනයේදී, දක්ෂ පිරිස් හිඟය තිරසාර කර්මාන්ත සංවර්ධනය සඳහා බාධකයක් ලෙස පවතී. රික්ත ආලේපන අංශයේ වසර 30 ක පළපුරුද්ද උපයෝගී කරගනිමින්, ෂෙන්හුවා තාක්ෂණය නිෂ්පාදන ජීවන චක්රය පුරා පුළුල් තාක්ෂණික සහාය ලබා දෙයි. සෙරමික් ධාරිත්රක සහ ප්රතිරෝධක සඳහා අඛණ්ඩ රික්ත ආලේපන රේඛාව ජාතික මට්ටමේ ක්රියාවලි රසායනාගාරයක් සහ ජ්යෙෂ්ඨ ඉංජිනේරුවන් කණ්ඩායමක් විසින් සහාය දක්වනු ලබන අතර, PVD, PECVD සහ ALD ඇතුළු මූලික ක්රියාවලීන් ප්රගුණ කරයි. පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන සත්යාපනයේ සිට මහා පරිමාණ නිෂ්පාදන අධීක්ෂණය දක්වා, පද්ධතිය සෑම අදියරකදීම ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහ වෘත්තීය සහාය සහතික කරයි, සාම්පල මූලාකෘතිකරණයේ සිට පූර්ණ පරිමාණ නිෂ්පාදනය දක්වා සේවාදායකයින්ගේ අවශ්යතා ආවරණය කරයි.
නිෂ්පාදන රේඛාව බහු හිමිකාර පේටන්ට් බලපත්ර ද ඇතුළත් කර ඇති අතර, එකම රික්ත චක්රය තුළ ද්විත්ව ඒකපාර්ශ්වික සමමුහුර්ත තැන්පත් කිරීම සහ තනි ධාවනයකදී ලෝහ ස්ථර දෙකේ සිට තුන දක්වා අනුක්රමික තැන්පත් කිරීම සක්රීය කරයි. එහි මොඩියුලර් සැලසුම මඟින් ක්රියාකාරී කුටි නම්යශීලී ලෙස සකස් කිරීමට ඉඩ සලසයි, රසායනාගාර පරිමාණ පර්යේෂණ සහ මහා පරිමාණ කාර්මික නිෂ්පාදනය යන දෙකටම අනුවර්තනය වෙමින්, ඉහළ නිරවද්යතාවයකින්, ස්ථාවර ඉලෙක්ට්රෝඩ තැන්පත් වීම සහතික කරයි.
කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන අතරම පිරිවැය අඩු කිරීමෙන්, මෙම තාක්ෂණය ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ තිරසාර සංවර්ධනයට සහාය වේ. Zhihua හි පාරිභෝගික-නැඹුරු ප්රවේශය මඟින් උපකරණ පරාමිතීන් සහ ක්රියාවලි මාර්ග නම්යශීලී ලෙස සකස් කිරීමට, බහුකාර්ය අවශ්යතා සපුරා ගැනීම සඳහා බහු ආලේපන ශිල්පීය ක්රම ඒකාබද්ධ කිරීමට හැකියාව ලැබේ. බුද්ධිමය දේපළ සහ තාක්ෂණික දත්ත සංවර්ධන ජීවන චක්රය පුරාවටම සම්පූර්ණයෙන්ම ආරක්ෂා කර ඇති අතර, ආරක්ෂිත සහ විශ්වාසදායක සහයෝගීතා පරිසර පද්ධතියක් සපයයි.
මෙම අඛණ්ඩ රික්ත ආලේපන රේඛාව තාක්ෂණික නවෝත්පාදනය සහ කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කිරීම හරහා රිදී පිරිවැය උභතෝකෝටිකය විසඳා ඇත. එය ජංගම උපාංග, මෝටර් රථ සහ අර්ධ සන්නායක වැනි අංශ හරහා සෙරමික් ධාරිත්රක, විචල්යතා, තාපක, තුනී පටල ප්රතිරෝධක සහ අනෙකුත් ඉලෙක්ට්රොනික සංරචක සඳහා සාර්ථකව යොදවා ඇත. පද්ධතිය ඉහළ සංඛ්යාත සංඥා සම්ප්රේෂණය, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ අඩු පාඩුව ඇතුළු දැඩි කාර්ය සාධන අවශ්යතා සපුරාලන අතර විවිධ සෙරමික් නිෂ්පාදන ප්රමාණ සමඟ අනුකූල වන අතර එය බහුකාර්ය හරස් කර්මාන්ත විසඳුමක් බවට පත් කරයි. එහි පුළුල් අදාළත්වය සහ තාක්ෂණික ජීව ශක්තිය කර්මාන්තය සඳහා නව වර්ධන මාර්ග විවෘත කරයි. පිරිවැය අඩු කිරීම, ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සහ කාර්යක්ෂමතාව වැඩිදියුණු කිරීමේ තිරසාර මාවතක් මතුවෙමින් පවතින අතර, කාර්මික පරිවර්තනයේ සහ අනාගත තරඟකාරිත්වයේ ප්රමුඛස්ථානයේ මුල් කාලීනව භාවිතා කරන්නන් ස්ථානගත කරයි.
-මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කරන ලද්දේරික්තක ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදකයා ෂෙන්හුවා රික්තකය
පළ කිරීමේ කාලය: 2026 මාර්තු-24