Pumping စနစ်တွင် ဖုန်စုပ်စက်တွင် အောက်ဖော်ပြပါ အခြေခံလိုအပ်ချက်များ ရှိပါသည်။
(1) coating vacuum system တွင် လုံလောက်သော ကြီးမားသော pumping rate ရှိသင့်ပြီး coating process အတွင်း နှင့် sputtering and ion coating process မှ ထွက်ရှိသော ဓာတ်ငွေ့များနှင့် အငွေ့ပျံသွားသော ပစ္စည်းများနှင့် လေဟာနယ်ခန်းရှိ အစိတ်အပိုင်းများကို လျင်မြန်စွာ စုပ်ထုတ်နိုင်ရုံသာမက sputtering and ion coating process မှ ထွက်ရှိသော ဓာတ်ငွေ့များကို လျင်မြန်စွာ စုပ်ထုတ်နိုင်မည်ဖြစ်သည်။
sputtering နှင့် ion coating လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဓာတ်ငွေ့ယိုစိမ့်မှုကိုလည်း လျင်မြန်စွာ ထုတ်ယူနိုင်သည်။ အပေါ်ယံစက်၏ ကုန်ထုတ်စွမ်းအားကို မြှင့်တင်ရန်အတွက်၊ ၎င်းသည် လျင်မြန်စွာ လည်ပတ်နိုင်သင့်သည်။
(၂) အပေါ်ယံစက်စုပ်စနစ်၏ အဆုံးစွန်သော ဖုန်စုပ်စက်သည် မတူညီသော ရုပ်ရှင်များ၏ လိုအပ်ချက်များနှင့်အညီ ကွဲပြားသင့်ပါသည်။ Table 7-9 သည် မတူညီသောရုပ်ရှင်များ၏ coating process အတွက် လိုအပ်သော vacuum degree အကွာအဝေးဖြစ်သည်။
(၃) oil diffusion pump တွင် main pump pumping system အနေဖြင့် pump ၏ oil return rate ကို တတ်နိုင်သမျှ သေးငယ်ရန်လိုအပ်ပြီး ပြန်ဆီငွေ့သည် workpiece ၏မျက်နှာပြင်ကို ညစ်ညမ်းစေပြီး ဖလင်၏ အရည်အသွေးကို ကျဆင်းစေသည်။ ဖလင်၏ အရည်အသွေး လိုအပ်ချက်များသည် အပေါ်ယံပိုင်း လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အထူးမြင့်မားပြီး ဆီမပါသော ပန့်တင်စနစ်ကို အသုံးပြုခြင်းသည် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။ oil diffusion pump pumping system ကိုအသုံးပြုသောအခါ၊ pump inlet adsorption trap၊ cold trap နှင့် အခြားသော components များတွင် ထားသင့်ပြီး vacuum system သည် အမြင့်ဆုံး pumping speed ကို ထိန်းသိမ်းရန် အစိတ်အပိုင်းများ၏ conductivity ကို အာရုံစိုက်သင့်သည်။
(၄) ဖုန်စုပ်ခန်းနှင့် ၎င်း၏စုပ်ထုတ်မှုစနစ်၏ ယိုစိမ့်မှုနှုန်းသည် သေးငယ်သင့်သည်၊ ဆိုလိုသည်မှာ၊ ၎င်းသည် ဓာတ်ငွေ့ယိုစိမ့်မှုဖြစ်လျှင်ပင် ဖလင်၏အရည်အသွေးကို ထိခိုက်စေမည်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ စနစ်၏တံဆိပ်ခတ်ခြင်းစွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေရန်အတွက်၊ စနစ်၏စုစုပေါင်းယိုစိမ့်မှုနှုန်းကိုခွင့်ပြုသည့်အတိုင်းအတာအထိကန့်သတ်ထားရမည်။
(၅) ဖုန်စုပ်စနစ် လည်ပတ်မှု၊ အသုံးပြုမှုနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု အဆင်ပြေမှု၊ တည်ငြိမ်ပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော စွမ်းဆောင်ရည် ဖြစ်သင့်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
စာတိုက်အချိန်- ဒီဇင်ဘာ-၁၄-၂၀၂၃