CVD နည်းပညာသည် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုအပေါ် အခြေခံသည်။ ဓာတ်ပြုပစ္စည်းများသည် ဓာတ်ငွေ့အခြေအနေတွင်ရှိပြီး ထုတ်ကုန်တစ်ခုသည် အစိုင်အခဲအခြေအနေတွင်ရှိသော တုံ့ပြန်မှုကို CVD တုံ့ပြန်မှုဟု အများအားဖြင့် ရည်ညွှန်းသောကြောင့် ၎င်း၏ဓာတုတုံ့ပြန်မှုစနစ်သည် အောက်ပါအခြေအနေသုံးခုကို ဖြည့်ဆည်းရမည်ဖြစ်သည်။
(၁) သိုလှောင်မှု အပူချိန်တွင်၊ ဓာတ်ပြုပစ္စည်းများသည် လုံလောက်သော မြင့်မားသော အခိုးအငွေ့ဖိအားရှိရမည်။ ဓာတ်ပြုပစ္စည်းများသည် အခန်းအပူချိန်တွင် ဓာတ်ငွေ့များရှိပါက၊ ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်သည့်ကိရိယာသည် အတော်လေးရိုးရှင်းသည်၊ အခန်းအပူချိန်တွင် ဓာတ်ပြုပစ္စည်းများသည် အလွန်သေးငယ်ပါက၊ မငြိမ်မသက်ဖြစ်စေရန်အတွက် အပူပေးရန် လိုအပ်ပြီး တစ်ခါတစ်ရံ ၎င်းကို ဓာတ်ပြုခန်းသို့ပို့ဆောင်ရန် သယ်ဆောင်သည့်ဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြုရန် လိုအပ်သည်။
(2) တုံ့ပြန်မှုထုတ်ကုန်များတွင်၊ အစိုင်အခဲအခြေအနေတွင်ရှိသော လိုချင်သောသိုက်မှလွဲ၍ ဒြပ်စင်များအားလုံးသည် ဓာတ်ငွေ့အခြေအနေတွင်ရှိရမည်။
(၃) အပ်နှံထားသော ဖလင်၏ အငွေ့ဖိအားသည် အပ်နှံမှုတုံ့ပြန်မှုအတွင်း အချို့သော အစစ်ခံသည့်အပူချိန်ရှိ အလွှာတစ်ခုနှင့် ခိုင်မြဲစွာတွဲထားကြောင်း သေချာစေရန်အတွက် လုံလောက်သောနိမ့်နေသင့်သည်။ အစစ်ခံအပူချိန်တွင် အငွေ့ဖိအားသည် လုံလောက်စွာနိမ့်နေရပါမည်။
အစစ်ခံဓာတ်ပြုခြင်းကို အောက်ဖော်ပြပါ ပင်မပြည်နယ် သုံးခုတွင် ပိုင်းခြားထားသည်။
(၁) ဓာတ်ငွေ့အခြေအနေ။ မီသိန်း၊ ကာဗွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်၊ အမိုးနီးယား၊ ကလိုရင်းစသည့် အခန်းအပူချိန်တွင် ဓာတ်ငွေ့ထွက်သည့် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းများဖြစ်သည့် ဓာတုအခိုးအငွေ့များ စုပုံလာပြီး စီးဆင်းမှုနှုန်းကို လွယ်ကူစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။
(၂) အရည်။ အခန်းအပူချိန် သို့မဟုတ် အနည်းငယ်ပိုမြင့်သော အပူချိန်တွင် တုံ့ပြန်သည့်အရာအချို့၊ TiCI4၊ SiCl4၊ CH3SiCl3 ကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအခိုးအငွေ့များရှိနေသော ဓာတ်ငွေ့များ (ဥပမာ H2၊ N2၊ Ar) များကို အရည်၏မျက်နှာပြင်မှတဆင့် စီးဆင်းစေပြီး ပူဖောင်းအတွင်းရှိ အရည်များကို စတူဒီယိုထဲသို့ သယ်ဆောင်ရန် အသုံးပြုနိုင်သည်။
(၃) ခိုင်မာသောအခြေအနေ။ သင့်လျော်သောဓာတ်ငွေ့ သို့မဟုတ် အရည်အရင်းအမြစ်မရှိပါက၊ အစိုင်အခဲ-အတိတ်အစားအစာများကိုသာ အသုံးပြုနိုင်သည်။ အချို့သော ဒြပ်စင်များ သို့မဟုတ် ၎င်းတို့၏ ဒြပ်ပေါင်းများသည် ဒီဂရီရာနှင့်ချီရှိ အခိုးအငွေ့ ဖိအားများ ရှိသည်၊ ဥပမာ TaCl5၊ Nbcl5၊ ZrCl4 စသည်တို့ကို ရုပ်ရှင်အလွှာသို့ သယ်ဆောင်သည့် ဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြု၍ စတူဒီယိုထဲသို့ သယ်ဆောင်နိုင်သည်။
ဓာတ်ငွေ့-အစိုင်အခဲ သို့မဟုတ် ဓာတ်ငွေ့-အရည် တုံ့ပြန်မှုအားဖြင့် အချို့သော ဓာတ်ငွေ့နှင့် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းမှ တူညီသော အခြေအနေအမျိုးအစားမှာ၊ သင့်လျော်သောဓာတ်ငွေ့ အစိတ်အပိုင်းများကို စတူဒီယိုသို့ ပေးပို့ခြင်းဖြစ်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ HCl ဓာတ်ငွေ့နှင့် သတ္တု Ga သည် GaCl ပုံစံဖြင့် စတူဒီယိုသို့ ပို့ဆောင်သည့် ဓာတ်ငွေ့ အစိတ်အပိုင်း GaCl ကို ဖွဲ့စည်းရန် တုံ့ပြန်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
ပို့စ်အချိန်- Nov-16-2023